热式流量计
    42.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107255494B

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201710407417.3

    申请日:2013-05-29

    Abstract: 本发明提供减少用于将电路封装(400)保持固定于壳体(302)的固定部(3721)对电路封装(400)造成的应力,可靠性高的热式流量计(300)。本发明的热式流量计,由第1树脂模塑工序形成内置流量测量电路的电路封装(400),由第2树脂模塑工序与壳体(302)一同形成固定部(3721),由固定部(3721)包围电路封装(400),由此将电路封装(400)保持固定于壳体(302)。为了减少基于固定部(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的影响,由厚壁部(4714)和薄壁部(4710)构成固定部(3721)。薄壁部(4710)的树脂厚度较薄,因此产生的应力小,能够减少施加于电路封装(400)的力。

    热式流量传感器
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105518420B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201480048418.8

    申请日:2014-02-03

    Abstract: 本发明为了提供一种提高计测精度的热式流量传感器,采用以下构成:该热式流量传感器具有:空气流量检测元件,该空气流量检测元件具有在半导体基板上具备薄膜部的隔膜;以及修正电路部,其在所述隔膜上具有至少一个发热电阻,且在所述发热电阻的上游侧和下游侧至少形成有检测一个个温度的测温电阻,该修正电路部至少根据上游侧和下游侧的两个所述测温电阻的温度差信息处理所述空气流量检测元件的输出信号,其中,所述修正电路部所处理的输出信号的波形是在波形的峰值超过某个任意的规定值时输出所述规定值从而将形成峰值的波峰或波谷的一部分切成所述规定值的波形。

    热式流量计
    46.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104395705B

    公开(公告)日:2017-12-19

    申请号:CN201380031579.1

    申请日:2013-05-29

    CPC classification number: G01F1/6842 G01F1/684 G01F1/696 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内,副通路构成为,被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387),电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700),基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。

    热式空气流量传感器
    49.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104395708B

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201380034261.9

    申请日:2013-06-10

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6845 G01F5/00 G01P5/12

    Abstract: 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的,本发明的热式流量传感器包括:流量检测元件,其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体;支承部件,其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件,所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔,所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。

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