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公开(公告)号：CN116783449A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202180091886.3
申请日：2021-11-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明的膜厚测定装置是测定制造工序中的样品的膜的厚度的膜厚测定装置，具备：透镜，其将在制造工序中产生且在样品的一面反射的光(等离子体光)聚光；倾斜分色镜，其在规定的波长域透过率及反射率根据波长而变化，并且将由透镜聚光的光通过透过及反射来进行分离；区域传感器，其对通过倾斜分色镜而分离的光进行拍摄；以及控制装置，其基于来自拍摄了光的区域传感器的信号而推定样品的膜厚，求出样品的一面的膜厚分布，在样品反射的光包含：倾斜分色镜的规定的波长域中包含的波长的光。
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公开(公告)号：CN113396317A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201980089626.5
申请日：2019-12-20
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/36
Abstract: 本发明的分光测定装置(1)具备光学系统(10)、光检测器(20)及解析部(30)。光学系统(10)将来自对象物(S)的被测定光朝光检测器(20)的受光面引导，且在光检测器(20)的受光面上形成被测定光的分光像。光检测器(20)具有在多行排列有多个像素的受光面。光检测器(20)通过在受光面上的第1区域的排列于1行或多行的多个像素，而遍及第1曝光时间受光分光像并输出被测定光的第1光谱数据。光检测器(20)通过在受光面上的第2区域的排列于1行或多行的多个像素，而遍及第2曝光时间受光分光像并输出被测定光的第2光谱数据。第2曝光时间比第1曝光时间长。由此，可实现能够使用一个光检测器取得高动态范围的光光谱的分光测定装置及分光测定方法。
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公开(公告)号：CN107003243B
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN201580065391.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
Abstract: 分光测定装置(1)具备光源(10)、积分器(20)、分光检测器(40)及解析部(50)。积分器(20)具有：内部空间(21)，其配置有测定对象物；光输入部(22)，其将光输入到内部空间(21)；光输出部(23)，其自内部空间(21)输出光；试样安装部(24)，其安装测定对象物；及滤波器安装部(25)，其安装滤波器部。滤波器部具有相对于激发光的衰减率大于相对于上转换光的衰减率的透过光谱，且使自光输出部(23)输出的光衰减。解析部(50)基于通过分光检测器(40)取得的分光光谱数据及透过光谱数据而解析测定对象物的发光效率。由此，实现了可容易地测定上转换光发生效率的分光测定装置及分光测定方法。
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公开(公告)号：CN111630372A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201880087229.X
申请日：2018-10-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光测定装置(1)中，控制部(22)以在第1期间(T1)维持向内部空间(11)输入激发光且在第2期间(T2)停止向内部空间(11)输入激发光的方式控制光源(2)，解析部(21)基于长余辉发光材料(S)的吸收光子数及长余辉发光材料(S)的发光光子数算出长余辉发光材料(S)的发光量子产率，上述长余辉发光材料(S)的吸收光子数基于第1期间(T1)中的激发光光谱数据而求出，上述长余辉发光材料(S)的发光光子数基于第1期间(T1)、第2期间(T2)、及第1期间与第2期间的合计期间(T1+2)的任一期间中的发光光谱数据而求出。
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公开(公告)号：CN110621967A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201880032081.X
申请日：2018-04-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，具备：积分球，其具有内壁面及安装孔；接合器，其具有引导被测定光的引导孔，且配置于积分球；板，其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及第2面，且使被测定光透过；保持器，其具有载置板的凹部，且安装于安装孔；及分光检测器，其检测被测定光。凹部包含：与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面。底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107003183B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201580065427.2
申请日：2015-11-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/0254 , G01J3/4406 , G01N21/64 , G01N21/645 , G01N2021/6421 , G01N2021/6469 , G01N2021/6484 , G01N2201/065
Abstract: 分光测定装置(1)具备光源(10)、积分器(20)、第1分光检测器(41)、第2分光检测器(42)及解析部(50)。积分器(20)包含：内部空间(21)，其配置有测定对象物；光输入部(22)，其将光输入到内部空间(21)；光输出部(23)，其将光自内部空间(21)输出；及试样安装部(24)，其安装测定对象物。第1分光检测器(41)接收自积分器(20)输出的光，对该光中的第1波段的光进行分光而取得第1光谱数据。第2分光检测器(42)接收自积分器(20)输出的光，对该光中的第2波段的光进行分光而取得第2光谱数据。第1波段与第2波段包含一部分重叠的波段。由此，实现了可分光测定更宽的波段的被测定光的分光测定装置及分光测定方法。
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公开(公告)号：CN104969061B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201380072255.2
申请日：2013-09-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/645 , G01J3/021 , G01J3/0254 , G01J3/0291 , G01J3/4406 , G01N21/01 , G01N21/6489 , G01N2021/6469 , G01N2021/6482 , G01N2021/6484 , G01N2201/065
Abstract: 一种对作为测定对象的试样照射激发光而检测被测定光的分光测定装置，包含：光源，其产生激发光；积分器，其具有入射激发光的入射开口部、及射出被测定光的射出开口部；收纳部，其配置于积分器内，且收纳试样；入射光学系统，其使激发光入射至试样；光检测器，其检测自射出开口部射出的被测定光；及解析单元，其基于由光检测器检测出的检测值，计算试样的量子产率；激发光以包含(内包)试样的方式被照射于该试样。
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公开(公告)号：CN106461463A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580025951.7
申请日：2015-04-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/64 , G01J3/0254 , G01J3/443 , G01N2201/12753
Abstract: 光测量装置向配置有试样的积分球内输入激发光，使激发光以规定的光束截面照射至试样，并利用光检测器检测来自积分球的测量光而取得试样的强度数据。光测量装置包括：存储部，其存储有修正数据；及光特性计算部，其基于试样的强度数据及修正数据，计算出试样的光特性。修正数据基于对第1光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第1修正用强度数据、以及对第2光吸收构件以规定的光束截面照射激发光而检测出的第2修正用强度数据而计算出。规定的光束截面被第1光吸收构件覆盖并且覆盖第2光吸收构件。
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公开(公告)号：CN103323405B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310211688.3
申请日：2009-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/15 , G01J1/04 , G01J3/02 , G01J3/0254 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01N21/0332 , G01N21/255 , G01N21/474 , G01N21/645 , G01N2021/158 , G01N2021/6419 , G01N2021/6471 , G01N2021/6484 , G01N2201/065 , G01N2201/0833
Abstract: 本发明提供的一种光谱测定装置，具备将测定对象的试料（S）配置在内部而观测从试料（S）产生的被测定光的积分球（20），以及用于保持对试料（S）进行冷却的冷媒（R），并且以至少一部分面对所述积分球（20）内的方式定位的杜瓦瓶（50）。通过起到气体导入通路作用的规定间隙（G1～G6）和在支撑台（61）形成的多个连通路（64），将从冷媒（R）产生的气体导入到积分球（20）内。导入到积分球（20）内的气体吸收积分球（20）内的水分并降低积分球（20）内的温度，防止在杜瓦瓶（50）的第2容器部（50b）中的从积分球（20）内露出的部分出现结露。由此，即使在对冷却到所需温度的状态的试料（S）进行测定的情况下，也可以防止结露的出现。
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公开(公告)号：CN102265132B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200980152415.8
申请日：2009-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/0332 , G01J3/0254 , G01J3/0286 , G01J3/0291 , G01N21/255 , G01N21/645 , G01N2201/065
Abstract: 本发明的光谱测定装置(1A)具备用于观测从测定对象试料(S)发出的被测定光的积分球(20)、以覆盖试料(S)的形式保持用于调节试料(S)温度的介质(R)，并且以第2容器部(50b)面对积分球(20)内部的形式进行定位的杜瓦瓶(50)。通过使用以覆盖试料(S)的形式保持介质(R)的杜瓦瓶(50)，从而就能够简便地将试料(S)调节至所希望的温度。通过以第2容器部(50b)面对积分球(20)内部的形式进行定位，从而就能够抑制来自于积分球(20)外部环境的对试料(S)的影响，并由介质(R)来调节试料(S)的温度。因此，就能够有效地将试料(S)调节至所希望的温度。
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