반사방지막 제조 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법

    公开(公告)号:KR1019950009969A

    公开(公告)日:1995-04-26

    申请号:KR1019930018016

    申请日:1993-09-08

    Abstract: 반사방지막 제조용 조성물, 이를 사용한 반사방지막 및 이를 사용한 반도체장치의 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 반사방지막은 주성분으로서 페놀계 수지, 아크릴 수지 및 수용성 수지로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 폴리머 용액을 소정의 기판 상부에 도포하고, 고온 베이크하여 제조한다. 제조가 용이하고 노광 광에 대하여 우수한 반사방지 특성을 가지며 양품의 수율이 높다.

    영상 투사 장치, 그의 영상 투사 방법 및 비일시적 컴퓨터 판독가능 기록매체
    42.
    发明公开
    영상 투사 장치, 그의 영상 투사 방법 및 비일시적 컴퓨터 판독가능 기록매체 审中-实审
    图像投影装置,其图像投影方法以及非暂时性计算机可读记录介质

    公开(公告)号:KR1020170044383A

    公开(公告)日:2017-04-25

    申请号:KR1020150143998

    申请日:2015-10-15

    CPC classification number: G03B21/14 H04N5/74

    Abstract: 영상투사장치, 그의영상투사방법및비일시적컴퓨터판독가능기록매체가제공된다. 본발명의일 실시예에따른영상투사장치는, 영상투사장치가배치된배치면으로부터연장된표면방향으로영상을투사하기위한광학모듈, 광학모듈을움직일수 있는가동모듈, 영상이투사된투사면에서의영상의크기및 형태중 적어도하나를감지하기위한센서모듈및 센서모듈의감지결과에기초하여광학모듈을움직이도록가동모듈을제어하여, 영상을보정하는프로세서를포함할수 있다.

    Abstract translation: 提供了一种图像投影设备,其图像投影方法以及非暂时性计算机可读记录介质。 根据本发明实施例的图像投影装置包括:光学模块,用于在从其上设置图像投影装置的放置表面延伸的表面方向上投影图像;可移动模块,能够移动光学模块; 以及处理器,用于基于传感器模块的检测结果控制可移动模块移动光学模块并校正图像。

    전자기기 및 전자기기의 동작 방법
    43.
    发明公开
    전자기기 및 전자기기의 동작 방법 审中-实审
    电子设备的电子设备和操作方法

    公开(公告)号:KR1020170011407A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:KR1020150103997

    申请日:2015-07-22

    CPC classification number: H04N5/63 H04N9/3173

    Abstract: 실시예들에따라프로젝터를포함하는전자기기및 프로젝터를포함하는전자기기에서의동작방법및 상기동작방법을수행하는프로그램이기록된컴퓨터판독가능기록매체가개시된다. 일실시예에따른전자기기는, 데이터를외부기기로부터또는상기외부기기로송수신하는통신모듈, 광을투사하는프로젝션모듈, 상기전자기기와상기전자기기가설치되는설치면과의근접도를측정하는센서, 및상기센서에서측정된상기근접도에기반해서상기통신모듈및 상기프로젝션모듈중 적어도하나를제어하는제어부를포함한다.

    Abstract translation: 电子设备包括投影仪,包括投影仪的电子设备的操作方法以及在其上记录了用于执行操作方法的指令的非暂时性计算机可读记录介质。 电子设备包括配置成与外部设备交换数据的通信器,配置成投射光的投影仪; 传感器,其被配置为测量电子设备与要安装电子设备的安装表面之间的接近度;以及控制器,其被配置为基于由传感器测量的接近程度来控制通信器和/或投影仪 。

    포인터 제어 방법 및 그 전자 장치
    44.
    发明公开
    포인터 제어 방법 및 그 전자 장치 审中-实审
    控制指针及其电子设备的方法

    公开(公告)号:KR1020140064372A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:KR1020120131641

    申请日:2012-11-20

    Inventor: 박정철 진영태

    CPC classification number: G06F3/0416 G06F3/04883 G06F2203/04808

    Abstract: The present invention relates to a device and a method for controlling a pointer in an electronic device. The method for controlling the pointer of an electronic device includes the steps of: detecting a multi-touch; determining the coordinates of the pointer based on the multi-touched points; and displaying the pointer on the determined coordinates.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制电子设备中的指针的装置和方法。 用于控制电子设备的指针的方法包括以下步骤:检测多点触摸; 基于多点触摸点确定指针的坐标; 并在所确定的坐标上显示指针。

    프로그램 정보 표시 방법 및 장치
    45.
    发明公开
    프로그램 정보 표시 방법 및 장치 无效
    显示程序信息的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020090079010A

    公开(公告)日:2009-07-21

    申请号:KR1020080004911

    申请日:2008-01-16

    Abstract: A program information displaying method and an apparatus thereof are provided to enable a viewer to select contents as easily enjoying a video by supplying program information by reproducing a representative image according to time. A program information displaying apparatus(200) comprises a representative video generator(230), a supplementary information extractor(240), and a program information generator(250). The representative video generator generates at least one representative video by extracting a part of video data of contents. The supplementary information extractor extracts one or more supplementary information, related to the contents, from the contents. The program information generator produces program information.

    Abstract translation: 提供节目信息显示方法及其装置,使得观众能够通过根据时间再现代表图像来提供节目信息来选择容易地欣赏视频的内容。 节目信息显示装置(200)包括代表性视频发生器(230),辅助信息提取器(240)和节目信息发生器(250)。 代表性视频发生器通过提取内容的视频数据的一部分来生成至少一个代表性视频。 补充信息提取器从内容中提取与内容相关的一个或多个补充信息。 程序信息生成器生成程序信息。

    멀티미디어 컨텐츠 리스트 제공방법 및 이를 적용한멀티미디어 기기
    46.
    发明公开
    멀티미디어 컨텐츠 리스트 제공방법 및 이를 적용한멀티미디어 기기 有权
    提供多媒体内容列表的方法和使用该方法的装置

    公开(公告)号:KR1020090077477A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:KR1020080003458

    申请日:2008-01-11

    Abstract: A method for providing a multimedia contents list and an apparatus using the same are provided to supply a multimedia contents list independent from contents except contents relate to a keyword, thereby enabling a user to conveniently use multimedia contents. An input unit receives a keyword from a user. A controller(170) produces a multimedia contents list. The controller control to display the list independent from the second contents except the first contents related to the keyword. The controller displays an icon related to the keyword on the list. The list in which the first contents and the second contents are divided is displayed through an icon related to the keyword.

    Abstract translation: 提供一种用于提供多媒体内容列表的方法和使用该多媒体内容列表的装置,以提供独立于与关键字相关的内容以外的内容的多媒体内容列表,从而使得用户能够方便地使用多媒体内容。 输入单元从用户接收关键字。 控制器(170)产生多媒体内容列表。 控制器控制显示独立于第二个内容的列表,但与关键字相关的第一个内容除外。 控制器在列表中显示与该关键字相关的图标。 通过与关键字相关的图标来显示第一内容和第二内容被划分的列表。

    반도체 제조장치의 스테퍼의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴과 이 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법
    47.
    发明授权
    반도체 제조장치의 스테퍼의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴과 이 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법 失效
    用于测量步进器的焦点的掩模图案和使用其来测量聚焦的方法

    公开(公告)号:KR100234364B1

    公开(公告)日:1999-12-15

    申请号:KR1019970002679

    申请日:1997-01-29

    Inventor: 박정철

    CPC classification number: G03F7/70 G03F9/70

    Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치의 스테퍼(stepper)의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴, 상기 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법에 관해 개시한다.
    본 발명은 스테퍼의 분해능을 능가하는 따라서 스테퍼에 의해 마스크 형태대로 형성되지 못하는 제1 패턴군과 제2 패턴군이 형성되어 있고 상기 제1 및 제2 패턴군은 상기 스테퍼의 분해능보다 큰 따라서 그 간격의 형성이 가능한 제1 간격을 갖는 마스크 패턴를 사용하여 상기 제1 간격을 측정하여 상기 스테퍼의 촛점을 측정한다. 이러한 측정시에 노광량을 실제 반도체장치의 제조공정에서 사용되는 정도의 광량을 사용하므로 실제 공정과의 높은 정합성을 이룰 수 있다. 더욱이 종래 기술에서 처럼 PSM을 사용하지 하고 노말 마스크 패턴을 사용함으로써 마스크 제작을 위한 별도의 추가공정이 필요치않는 등 스테퍼의 촛점측정이 편리하고 공정이 간단해지는 잇점이 있다.

    반도체 제조장치의 스테퍼의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴과 이 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법
    48.
    发明公开
    반도체 제조장치의 스테퍼의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴과 이 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법 失效
    用于测量半导体制造设备的步进器的焦点的掩模图案以及使用掩模图案测量步进器的焦点的方法

    公开(公告)号:KR1019980066904A

    公开(公告)日:1998-10-15

    申请号:KR1019970002679

    申请日:1997-01-29

    Inventor: 박정철

    Abstract: 본 발명은 반도체 제조장치의 스테퍼(stepper)의 촛점측정에 사용하는 마스크 패턴, 상기 마스크 패턴을 이용한 스테퍼의 촛점측정방법에 관해 개시한다.
    본 발명은 스테퍼의 분해능을 능가하는 따라서 스테퍼에 의해 마스크 형태대로 형성되지 못하는 제1 패턴군과 제2 패턴군이 형성되어 있고 상기 제1 및 제2 패턴군은 상기 스테퍼의 분해능보다 큰 따라서 그 간격의 형성이 가능한 제1 간격을 갖는 마스크 패턴를 사용하여 상기 제1 간격을 측정하여 상기 스테퍼의 촛점을 측정한다. 이러한 측정시에 노광량을 실제 반도체장치의 제조공정에서 사용되는 정도의 광량을 사용하므로 실제 공정과의 높은 정합성을 이룰 수 있다. 더욱이 종래 기술에서 처럼 PSM을 사용하지 하고 노말 마스크 패턴을 사용함으로써 마스크 제작을 위한 별도의 추가공정이 필요치않는 등 스테퍼의 촛점측정이 편리하고 공정이 간단해지는 잇점이 있다.

    미세패턴의 형성방법
    49.
    发明授权
    미세패턴의 형성방법 失效
    形成分钟图案的方法

    公开(公告)号:KR1019950007570B1

    公开(公告)日:1995-07-12

    申请号:KR1019920025353

    申请日:1992-12-24

    Inventor: 박정철

    Abstract: The method includes the steps of applying a chemical-amplified positive photoresist (2) of 1.0 micro m thickness on a silicon wafer (3), exposing the wafer using a mask (1) and an excimer laser, baking the wafer for one minute at 60 deg.C., acid-treating the photoresist layer using an acetic acid solution for 1.5 minutes to change the resist layer portion of 600 angstrome into a soluble layer (5), and developing the wafer to obtain a line pattern, thereby forming micropatterns of exact sizes.

    Abstract translation: 该方法包括以下步骤:在硅晶片(3)上涂覆1.0微米厚度的化学放大的正性光致抗蚀剂(2),使用掩模(1)和准分子激光器曝光晶片,将晶片烘烤1分钟 60℃,使用乙酸溶液对光致抗蚀剂层进行酸处理1.5分钟,将600埃的抗蚀剂层部分改变为可溶层(5),并显影晶片以获得线图案,从而形成微图案 精确尺寸。

    미세패턴의 형성방법
    50.
    发明公开

    公开(公告)号:KR1019940015668A

    公开(公告)日:1994-07-21

    申请号:KR1019920025353

    申请日:1992-12-24

    Inventor: 박정철

    Abstract: 프로파일을 향상시킬 수 있는 미세패턴의 형성방법이 개시되어 있다. 화학 증폭형 포토레지스트를 도포한 후, 마스크를 사용하여 노광한다. 다음에 베이크하고 레지스트 표면을 산처리하거나, 마스크를 사용하여 노광 공정전, 또는 후에 전면노광을 수행한다. 현상하여 레지스트 패턴을 수득한다. 단면이 수직형인 레지스트 패턴이 얻어지게 된다.

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