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公开(公告)号:KR1020010036211A
公开(公告)日:2001-05-07
申请号:KR1019990043121
申请日:1999-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C03C17/06
CPC classification number: C03C3/04 , C03C2201/31 , C03C2203/26 , C03C2203/32
Abstract: PURPOSE: Provided is a process for producing a metal dopped silica glass, which is improved in optical property of optical fiber and prevents cracks from taking place by dopping uniformly metal particles such as germanium in the silica glass. CONSTITUTION: The process comprises the steps of: i) hydrolyzing a metal alkoxide; ii) mixing deionized water and more fumed silica than the metal alkoxide to be in a molar ratio of 1:0.1 or less; iii) mixing the hydrolyzed metal alkoxide with the mixture to form sol; iv) injecting the sol into the mold to gel; v) demolding the gel and drying it; and then vi) sintering the dried gel to vitrificate.
Abstract translation: 目的:提供一种金属掺杂石英玻璃的制造方法,其改善了光纤的光学特性,并且通过在石英玻璃中均匀掺杂诸如锗的金属颗粒来防止发生裂纹。 构成:该方法包括以下步骤:i)水解金属醇盐; ii)将去离子水和更多的热解法二氧化硅与金属醇盐混合至摩尔比为1:0.1或更小; iii)将水解的金属醇盐与混合物混合以形成溶胶; iv)将溶胶注入模具中以凝胶化; v)将凝胶脱模并干燥; 然后vi)将干燥的凝胶烧结以进行玻璃化。
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公开(公告)号:KR1020010027999A
公开(公告)日:2001-04-06
申请号:KR1019990040033
申请日:1999-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C03C3/06
CPC classification number: C03C1/006 , C03C3/06 , C03C2203/22 , C03C2203/30 , C03C2203/52
Abstract: PURPOSE: A silica glass composition used for sol-gel process to make silica glass is provided which minimizes the adverse effect on the environment and produces silica glass more efficiently by using polyethylene imide, and minimizes the amount of the gelling agent. CONSTITUTION: A silica glass composition used for a sol-gel process is characterized by comprising silica particles, dispersing agent, deionized water, polyethylene imide as a main gelling agent, and sub-gelling agent; wherein the content of the main gelling agent, polyethylene imide, having a molecular weight of 1000000 or less is 0.1-12.5 pts.wt% based on the total weight of the silica particles, and the sub-gelling agent is selected from a group consisting of methyl formic acid and ethyl lactic acid.
Abstract translation: 目的:提供用于溶胶 - 凝胶法制备石英玻璃的二氧化硅玻璃组合物,其最小化对环境的不利影响,并通过使用聚乙烯酰亚胺更有效地生产二氧化硅玻璃,并使胶凝剂的量最小化。 构成:用于溶胶 - 凝胶法的二氧化硅玻璃组合物的特征在于包括二氧化硅颗粒,分散剂,去离子水,聚乙烯亚胺作为主要胶凝剂,和次胶凝剂; 其中分子量为1000000以下的主胶凝剂聚乙烯亚胺的含量相对于二氧化硅粒子的总重量为0.1〜12.5重量%,亚胶凝剂选自 的甲基甲酸和乙基乳酸。
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公开(公告)号:KR1019990013379A
公开(公告)日:1999-02-25
申请号:KR1019980019262
申请日:1998-05-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C03B20/00
Abstract: 본 발명은 실리카 글래스의 제조방법에 관한 것으로서, 아크릴수지 형성용 단량체 및 가교제를 증류수에 용해한 프리믹스(premix) 용액에 실리카와 분산제를 첨가하고, 혼합 및 분산한 다음, pH를 조절하여 졸을 형성하는 단계; 상기 졸내의 기포를 제거한 다음, 숙성하는 단계; 상기 결과물에 중합개시제 및 촉매를 부가하고 반응 혼합물의 pH를 조절하는 단계; 상기 반응 혼합물을 몰드에 부어 겔화시키는 단계; 얻어진 겔을 소정시간동안 숙성하는 단계; 숙성된 겔을 몰드로부터 분리하여 건조시키는 단계; 건조된 겔을 열처리하여 겔내의 유기물을 제거하는 단계; 및 유기물이 제거된 겔에 대해 수산기 제거반응과 소결반응을 실시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 건조후 균열이 거의 발생되지 않고 소결후 수축율이 현저하게 낮아진 고순도의 실리카 글래스 튜브를 제조할 수 있다. 그리고 대형의 실리카 글래스 튜브를 제조하는 것도 가능해진다.
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公开(公告)号:KR1019980072945A
公开(公告)日:1998-11-05
申请号:KR1019970007976
申请日:1997-03-10
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C03B19/06
Abstract: 본 발명은 솔-젤법을 이용하여 광섬유 제조용 대형 유리튜브를 제조하기 위하여 크게 4부분으로 구성된 몰드를 사용한다, 상기 몰드는 서로 크기가 다른 원통부를 가지고 중심에 제1고정구멍이 형성된 상부몰드와, 중심에 제2고정구멍을 가지고 상기 젤화 과정 또는 상기 건조 과정시에 발생하는 응력을 최소화하기 위해 중심방향으로 소정의 각도로 경사지게 형성된 제1하부원통부와 상기 건조 과정시에 진공에 의한 응력을 방지하기 위한 진공제거 구멍을 가지는 제2하부원통부로 형성된 하부몰드와, 상기 상부몰드와 하부몰드 사이에 설치되어 상기 솔 과정과 젤화 과정 및 건조 과정이 진행되는 실린더 형태의 외부몰드와, 상기 외부몰드의 중심축에 설치되어 상기 건조 후에 튜브형상이 성형될 수 있도록 로드 모양의 중심지지대로 구성된다. 그리고 본 발명의 몰드는 균열이 없고 고순도의 광섬유 제조용 유리튜브를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号:KR1019980072943A
公开(公告)日:1998-11-05
申请号:KR1019970007974
申请日:1997-03-10
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: C03B19/06
Abstract: 본 발명은 발연 실리카 분말 100중량부와 100 - 300 중량부의 탈이온수를 혼합하여 1차 솔을 만들고, 이를 젤화, 건조, 분말 제조 및 열처리한 다음, 이를 100 - 200 중량부의 탈이온수와 혼합하여 2차 솔을 형성하고, 이를 다시 분산, 젤화 및 건조한 후 소결하여 고순도 실리카 유리를 제조하는 방법에 있어서, 2차 솔의 분산시 열처리되지 않은 원분말 발연 실리카 20 - 50 중량부를 첨가하는 것을 특징으로 하는 고순도 실리카 유리의 제조방법이 제공된다. 그리고, 1차 열처리된 분말과 원분말을 적당한 비율로 혼합함으로써 열처리 후 입자 성장에 의한 공극의 확대로 건조시 균열 방지의 효과를 얻을 수 잇을 뿐만 아니라 동시에 원분말의 첨가로 충진률이 향상되며 및 이로 인하여 수축률이 저하된다.
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公开(公告)号:KR1020050081236A
公开(公告)日:2005-08-18
申请号:KR1020040009394
申请日:2004-02-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B6/00
CPC classification number: C03C13/04 , C03B37/016 , C03B2203/14 , C03B2203/23 , C03B2203/42 , C03C11/007 , G02B6/02333 , G02B6/02357 , G02B1/005
Abstract: A porous optical fiber provided with air holes and a method for manufacturing the same are disclosed. The porous optical fiber includes a core (103) having a first refractivity extended in a longitudinal direction, an external cladding layer (101) having a second refractivity surrounding the core, and an internal cladding layer (102) having a third refractivity formed between the core and the external cladding layer and provided with a plurality of air holes scattered therethrough.
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公开(公告)号:KR1020050080879A
公开(公告)日:2005-08-18
申请号:KR1020040009044
申请日:2004-02-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C03B37/012
CPC classification number: C03C13/045 , C03B37/016 , C03B2203/14 , C03B2203/42 , C03C1/006 , C03C11/00 , C04B35/14 , C04B2235/6023 , C04B2235/612 , C04B2235/658 , C04B2235/6581 , C04B2235/94
Abstract: 본 발명은 공기구멍을 갖는 다공 광섬유용 모재의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 (a) 다수의 공기구멍 형성용 핀이 예정된 배열로 배치된 튜브형의 몰드를 준비하는 과정과; (b) 단량체와 이량체가 혼합된 실리카 슬러리(slurry)를 상기 몰드에 주입하고 젤화시켜 성형하는 과정과; (c) 상기 성형 젤을 상기 공기구멍 형성용 핀 및 몰드로부터 분리하는 과정과; (d) 상기 공기구멍이 형성된 성형 젤을 건조 및 소결하는 과정을 포함함을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 공기구멍의 크기 및 배열 등의 조절이 용이하며, 공정 중 오염의 우려가 없는 대형화된 모재의 제조가 가능하다.-
公开(公告)号:KR100446512B1
公开(公告)日:2004-09-04
申请号:KR1020010070583
申请日:2001-11-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C03B19/12
CPC classification number: C03B19/12
Abstract: The present invention discloses a method for fabricating silica glass using a sol-gel process, which includes a sol forming step for forming a sol by mixing a starting material, deionized water and an additive together; gelation step for gelatinizing the sol after filling a mold with the gel produced; gel drying step for separating the gel from the circular mold and drying the gel; setting step for placing the gel inside of a heat chamber and injecting helium gas into the heat chamber; and low heat treatment step for pressurizing and depressurizing an internal pressure of the heat chamber repeatedly for several times
Abstract translation: 本发明公开了一种使用溶胶 - 凝胶法制造二氧化硅玻璃的方法,其包括通过将原料,去离子水和添加剂混合在一起来形成溶胶的溶胶形成步骤; 凝胶化步骤,用于在用所产生的凝胶填充模具后使溶胶凝胶化; 凝胶干燥步骤,用于从圆形模具分离凝胶并干燥凝胶; 设置步骤,用于将凝胶放置在加热室内并将氦气注入加热室; 以及用于将加热室的内部压力加压和减压数次的低热处理步骤。
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公开(公告)号:KR1020040024895A
公开(公告)日:2004-03-24
申请号:KR1020020056623
申请日:2002-09-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 백영민
IPC: H01L21/3065
Abstract: PURPOSE: A semiconductor fabrication system is provided to sense easily the generation of arc by installing an optical sensor at a storage tank using helium gas as a cooling gas. CONSTITUTION: A semiconductor fabrication system includes a chamber(100), a cathode electrode body, an anode electrode body(130), and a helium gas input/output unit(150). The cathode electrode body is formed in the inside of the chamber(100). A wafer is loaded into the chamber(100). The anode electrode body(130) is installed at a predetermined position apart from a bottom electrode in order to supply the reaction gas to the wafer. The helium gas input/output unit(150) is installed at a lower part of the outside of the chamber(100) and includes a storage tank. A plurality of sensors(153a) are installed at the storage tank in order to sense the generation of arc.
Abstract translation: 目的:提供一种半导体制造系统,通过使用氦气作为冷却气体将光学传感器安装在储罐上来容易地感测电弧的产生。 构成:半导体制造系统包括室(100),阴极电极体,阳极电极体(130)和氦气输入/输出单元(150)。 阴极电极体形成在室(100)的内部。 将晶片装载到室(100)中。 阳极电极体(130)安装在与底部电极隔开的预定位置处,以将反应气体供应到晶片。 氦气输入/输出单元(150)安装在室(100)的外部的下部,并且包括储存罐。 多个传感器(153a)安装在储存箱中以感测电弧的产生。
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公开(公告)号:KR1020040019685A
公开(公告)日:2004-03-06
申请号:KR1020020051360
申请日:2002-08-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C03B37/016
CPC classification number: C03B19/12 , C03B37/01211 , C03B37/016 , Y02P40/57
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of large-diameter optical fiber preform, a secondary preform, by sol-gel process is provided, which is characterized by inserting a primary preform into the inner diameter of tube-shaped gel before sintering. Accordingly, the method decreases loss of gel tubes and diameter difference between the upper and lower sides of tubes. CONSTITUTION: The sintering equipment comprises the parts of: a hollow tube(310) for sintering a tube-shaped gel(gel tube, 300); an upper cap(320) for sealing the hollow tube; a ceramic rod(331) for delivering rotating force to the gel tube; a heating furnace(320), positioned in the part where the gel tube adjoins the primary preform, for sintering gel tube for binding gel tube to the outer wall of the primary preform; a dummy rod(340) for connecting the ceramic rod to the primary preform; a pin(350) for joining the upper side of gel tube to the dummy rod; a vacuum device(360). The secondary optical fiber preform is manufactured by the following steps of: preparing a homogeneous gel by mixing fumed silica with deionized water and adding dispersant, binder, plasticizer, etc.; molding the homogeneous gel by pouring silica sol into a mold, vacuuming under pressure of 10-3torr, and rotating at a high-rate of 20000rpm and then low-rate of 0.1rpm for gelling and aging; de-molding it to obtain a tube-shaped gel; drying it at the thermohygrostat to form porous structure; removing moisture, organic materials, alkali metals, hydroxyl groups from the gel; inserting a primary preform with the same length as gel tube into the inner diameter of the tube-shaped gel for minimizing deviation between upper diameter and lower diameter of the gel tube; loading the gel tube in a sintering equipment and sintering under vacuum for overcladding.
Abstract translation: 目的:提供通过溶胶 - 凝胶法制备大直径光纤预制棒,二次预制件的方法,其特征在于在烧结之前将初级预制件插入管状凝胶的内径。 因此,该方法减少了凝胶管的损失和管的上侧和下侧之间的直径差异。 构成:烧结设备包括:用于烧结管状凝胶(凝胶管,300)的中空管(310); 用于密封中空管的上盖(320); 陶瓷棒(331),用于向凝胶管输送旋转力; 加热炉(320),位于凝胶管邻接初级预制件的部分,用于烧结凝胶管,用于将凝胶管结合到初级预制件的外壁上; 用于将陶瓷棒连接到初级预制件的虚拟棒(340) 用于将凝胶管的上侧连接到虚拟棒的销(350); 真空装置(360)。 第二光纤预制棒通过以下步骤制造:通过将热解法二氧化硅与去离子水混合并加入分散剂,粘合剂,增塑剂等制备均匀的凝胶; 通过将硅溶胶倒入模具中,在10-3torr的压力下进行真空成型,并以20000rpm的高速率,然后以0.1rpm的低速旋转进行胶凝和老化; 脱模以获得管状凝胶; 在恒温恒湿器下干燥以形成多孔结构; 从凝胶中除去水分,有机物,碱金属,羟基; 将具有与凝胶管相同长度的初级预型件插入管状凝胶的内径中,以最小化凝胶管的上部直径和下部直径之间的偏差; 将凝胶管装入烧结设备中并在真空下烧结以进行外包装。
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