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公开(公告)号：KR1020060091492A
公开(公告)日：2006-08-21
申请号：KR1020050012390
申请日：2005-02-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81B3/00
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: 부유체를 지지하는 스프링 구조체 및 그것을 구비한 소형 구조물이 개시된다. 스프링 구조체는 기판에 고정된 적어도 하나의 지지포스트부; 및 지지포스트부에 연결되고, 지지포스트부에서부터 선결된 한 방향으로 뻗어있는 제1스프링부재, 부유체와 연결되고, 부유체에서부터 제1스프링부재와 동일한 방향으로 뻗어있는 제2스프링부재, 및 제1 및 제2스프링부재에 대해 직각으로 배치되고, 제1 및 제2스프링부재의 연장단부를 서로 연결하는 연결부재를 구비하는 적어도 하나의 스프링체;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 지지포스트부에 연결된 제1스프링부재와 부유체를 지지하는 제2스프링부재가 온도변화시 부유체와 함께 팽창 또는 축소될 수 있게 하는 구조를 가짐으로써, 온도변화에 따라 부유체가 팽창 또는 축소되더라도 제1 및 제2스프링부재가 부유체로부터 부유체와의 열팽창율 차이로 인한 응력을 받지 않게 되며, 그에 따라 스프링 구조체 및 그것을 사용하는 소형 구조물의 구동성능 및 구동신뢰성을 확보할 수 있다.
부유체, 스위치, 스프링, 열팽창, 응력, 변형, 방지-
公开(公告)号：KR1020060068914A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：KR1020040107857
申请日：2004-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81B7/02
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: 개시된 마이크로스위치는 기판과, 기판상에 형성되며 스위칭접점부를 갖는 복수의 신호라인과, 기판상에 형성되되 신호라인들의 사이에 형성된 복수의 고정전극과, 기판상에 소정의 높이로 돌출되게 마련된 복수의 앵커와, 앵커에 지지되어 상하 유동가능하게 설치되되 동일 평면상에 설치되는 적어도 두개의 작동빔과, 작동빔들을 연결하는 연결유닛과, 연결유닛을 지지하도록 기판에 마련된 지지유닛 및 작동빔의 저면에 설치되어 스위칭접점부와 접촉하는 접촉부재를 포함한다. 이러한 구성을 통해 스틱션 페일이 발생되는 것을 효과적으로 해소함과 아울러서 저전압 구동이 가능하다.
마이크로 스위치, MEMS, 스틱션, RF, 전극, 신호라인Abstract translation: 微型开关包括：基板;形成在基板上并具有开关接触部的多个信号线;形成在基板上并形成在信号线之间的多个固定电极;以及多个 至少两个由锚固件支撑以便可垂直移动并安装在同一平面上的操作梁，用于连接操作梁的连接单元，设置在基底上用于支撑连接单元的支撑单元， 并且接触构件设置在底表面上并且与开关接触部分接触。 这种配置有效地消除了静摩擦故障的发生并且能够实现低电压驱动。
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公开(公告)号：KR100513696B1
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：KR1020030037285
申请日：2003-06-10
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01P1/127 , H01H59/0009 , H01H2059/0054
Abstract: 구동전압을 저감할 수 있는 시이소오형 RF용 MEMS 스위치가 개시된다. RF용 MEMS 스위치는 반도체 기판 상부에 회로 개방(open)을 위한 갭(gap)을 갖도록 형성된 신호전송선로와, 기판 상부로부터 소정 높이로 이격 형성되며, 회동축을 중심으로 시이소오 운동을 통해 전송선로의 갭 양단부를 단속(斷續)하도록 형성된 단속부, 및 외부구동신호에 따라 단속부의 시이소오 운동을 구동하는 구동부를 갖는다. 구동부는 기판상에 공통전극을 중심으로 양측에 형성된 하부전극들과, 단속부 양측에 하부전극들을 가로질러 형성된 상부전극들, 그리고 회동축으로부터 상부전극들의 양단부 각각에 형성된 스페이서를 통해 상부전극들을 연결하는 크로스바를 갖는다. RF용 MEMS 스위치는 하부전극들에 선택적으로 인가된 구동신호에 따라 상부전극과 하부전극 사이에 발생된 정전인력에 의해 상부전극 및 크로스바가 기울면서 크로스바가 단속부를 신호전송선로의 갭 양단부와 접촉될 수 있도록 강하시킨다. 이와 같은 시이소오형 RF용 MEMS 스위치는 전극의 면적 확장 및 전극간의 거리 인자를 조절하여 스위칭을 할 수 있게 되므로 구동전압을 현저하게 저감할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：KR100486707B1
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020010062078
申请日：2001-10-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: G02B7/18
CPC classification number: H04N9/3108 , G02B26/0841
Abstract: 각각 구동축의 방향이 다른 복수개의 마이크로미러에 의해 칼라빔을 선택적으로 반사시킴으로써 칼라휠 없이 칼라 구현이 가능하도록 된 가동 미러 장치 및 이를 채용한 프로젝터가 개시되어 있다.
이 개시된 가동 미러 장치는, 복수개의 마이크로미러를 각각 독립적으로 제어할 수 있는 가동 미러 장치에 있어서, 각각의 구동축이 소정 각도로 다르게 위치하도록 배치된 복수개의 마이크로미러가 하나의 세트로 구성된 마이크로미러 유닛들이 반복적으로 배열되어 입사광을 각각 다른 방향으로 반사하도록 된 것을 특징으로 한다.
이 개시된 가동 미러 장치를 채용한 프로젝터는, 광을 조사하는 광원과; 상기 광원으로부터의 광을 파장영역에 따라 분기시켜 서로 다른 각도로 반사 및/또는 투과시키는 광분기유닛과; 각각의 구동축이 소정 각도로 다르게 위치하도록 배치된 복수개의 마이크로미러가 하나의 세트로 구성된 마이크로미러 유닛들이 반복적으로 배열되어 상기 광분기유닛을 경유한 입사광을 선택적으로 소정의 방향 및 각도로 반사시킴으로써 화상을 형성하는 가동 미러 장치와; 상기 가동 미러 장치로부터 입사되는 광이 스크린으로 향하도록 확대투과시키는 투사렌즈유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020030045496A
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：KR1020010076235
申请日：2001-12-04
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00269 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L24/48 , H01L24/97 , H01L2224/16225 , H01L2224/45099 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/85399 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/01049 , H01L2924/01051 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/09701 , H01L2924/12042 , H01L2924/15153 , H01L2924/15165 , H01L2924/15312 , H01L2924/16152 , H01L2924/16195 , H01L2924/163 , Y10T29/49002 , Y10T29/4913 , Y10T29/49144 , Y10T29/49146 , Y10T29/49789 , Y10T29/49794 , H01L2924/00 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: PURPOSE: A heretic sealing method is provided to improve a reliability of an MEMS device by preventing wet from penetrating into the MEMS device and preventing the MEMS device from being oxidized. CONSTITUTION: A heretic sealing method includes the steps of forming a package base(1) having a die(3) formed with a device(4), forming a lead(15) on an upper surface of the package base(1), and sealing the package base(1) and the lead(15). The lead(15) forms a cavity(11). The lead(15) has a solder layer(7), which is melted at a sealing temperature so as to seal between two layers formed at both sides thereof. After depositing a bonding layer(5) and a wetting layer(6) on a lead frame(2), a first protecting layer(8) is sequentially deposited in order to prevent the solder layer(7) from being oxidized.
Abstract translation: 目的：提供一种异质密封方法，以通过防止湿气渗透到MEMS器件中并防止MEMS器件被氧化来提高MEMS器件的可靠性。 构成：本发明的密封方法包括形成具有由器件（4）形成的管芯（3）的封装基座（1）的步骤，在封装基座（1）的上表面上形成引线（15），以及 密封包装基座（1）和导线（15）。 引线（15）形成空腔（11）。 引线（15）具有焊接层（7），其在密封温度下熔化，以便密封形成在其两侧的两层之间。 在引线框架（2）上沉积结合层（5）和润湿层（6）之后，顺序地沉积第一保护层（8），以防止焊料层（7）被氧化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020030030225A
公开(公告)日：2003-04-18
申请号：KR1020010062077
申请日：2001-10-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: G02B7/18
CPC classification number: G02B26/0841 , G03B21/28
Abstract: PURPOSE: A movable mirror apparatus is provided to realize a color image without a color wheel by making a micro mirror sloped on the center of a plurality of rotatory shafts. CONSTITUTION: A bias electrode(10) makes a micro mirror sloped on the center of a plurality of rotatory shafts by a mutual operation with address electrodes(20) provided on a substrate. A support substrate(30) has a center portion for supporting the second post for supporting the micro mirror and at least one spring hinge transformed when the micro mirror is sloped, and is supported by the first posts formed on the bias electrode. The address electrodes are disposed opposite to each corner of the micro mirror, and the spring hinge is disposed in a diagonal direction of the micro mirror.
Abstract translation: 目的：提供可移动镜装置，通过使微镜在多个旋转轴的中心上倾斜来实现没有色轮的彩色图像。 构成：偏置电极（10）通过与设置在基板上的寻址电极（20）的相互操作使微反射镜在多个旋转轴的中心倾斜。 支撑基板（30）具有用于支撑微反射镜的第二柱的中心部分和当微反射镜倾斜时变形的至少一个弹簧铰链，并且由形成在偏置电极上的第一柱支撑。 寻址电极与微反射镜的每个角相对设置，并且弹簧铰链设置在微反射镜的对角线方向上。
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公开(公告)号：KR1019990079950A
公开(公告)日：1999-11-05
申请号：KR1019980012865
申请日：1998-04-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B27/18
Abstract: 회동에 의해 미러를 가동할 수 있도록 된 화상표시장치용 마이크로미러 디바이스가 개시되어 있다.
이 개시된 디바이스는 기판과; 상호 소정 간격 이격된 채로 기판의 상면에 돌출 형성된 한쌍의 제1포스트와; 기판 상에 형성된 전극과; 제1포스트에 의해 지지되며, 제1포스트에 지지되는 부분을 힌지점으로 하여 회동가능하게 배치된 지지보과; 지지보 상에 돌출 형성된 제2포스트와; 제2포스트에 의해 지지되며, 그 일면에 입사된 광을 반사시키는 미러;를 포함하여 상기 전극과 상기 미러 사이의 정전인력에 의해 상기 미러의 기울기를 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020160006494A
公开(公告)日：2016-01-19
申请号：KR1020140086155
申请日：2014-07-09
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: A61B8/4444 , A61B2562/166 , B06B1/0292 , H01L2224/48091 , H01L2224/4824 , H01L2224/49433 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
Abstract: 와이어본딩을이용한정전용량미세가공초음파변환기프로브가개시된다. 개시된프로브는제1면상에서마주보는양측에형성된복수의제1 전극패드를포함하는정전용량미세가공초음파변환기(CMUT) 칩과, 상기 CMUT 칩의상기제1면상에배치되며상기복수의제1 전극패드를노출시키는인쇄회로기판과, 상기인쇄회로기판상에서상기복수의제1 전극패드와대응되게형성된복수의제2 전극패드와, 서로대응되는상기제1 전극패드와상기제2 전극패드를연결시킨복수의와이어를포함한다.
Abstract translation: 提供使用引线接合的电容微加工超声波换能器（CMUT）探针。 CMUT探针包括CMUT芯片，其包括设置在其第一表面的两个相对侧上的多个第一电极焊盘，布置在CMUT芯片的第一表面上并被配置的印刷电路板（PCB） 露出多个第一电极焊盘，多个第二电极焊盘，其布置在PCB上并且对应于多个第一电极焊盘中的相应的第一电极焊盘;以及多个焊丝，其连接多个第一电极焊盘中的每个第一电极焊盘， 电极焊盘连接到多个第二电极焊盘中的对应的一个。
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公开(公告)号：KR100788644B1
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：KR1020010010917
申请日：2001-03-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B26/02
Abstract: 마이크로미러의 공진주파수와 진폭을 동시에 제어하고 적은 전압으로 회동각을 크게 할 수 있는 마이크로미러 구동장치가 개시되어 있다.
개시된 마이크로미러 구동장치는, 적어도 하나의 전극 수용홈을 가지는 마이크로미러; 상기 마이크로미러가 회동되도록 지지하는 탄성체; 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전력을 발생시킴으로써 마이크로미러를 회동시키는 적어도 하나의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
정전력을 이용하여 마이크로미러를 구동함에 있어서, 마이크로미러에서 필요로 되는 유효면적 즉, 광의 반사경로을 유지하면서 정전력을 인가할 수 있는 구동부 면적을 넓혀 작은 전압에서도 큰 구동력 및 큰 회동각을 얻을 수 있다.-
公开(公告)号：KR100661347B1
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：KR1020040086056
申请日：2004-10-27
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H1/0036
Abstract: 미소 박막 구조물 및 이를 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 스위치 그리고 그것들을 제조하기 위한 방법이 개시된다. 개시된 미소 박막 구조물은 물질 특성이 서로 다른 적어도 2종의 박막이 차례로 적층되어 상,하부층을 이루되 상,하부층의 접촉면을 적어도 두 방향으로 형성하여 변형률을 줄이도록 한 것이다. 그 미소 박막 구조물을 MEMS 스위치의 가동전극에 적용하여 MEMS 스위치가 안정적으로 신호라인에 접촉되도록 한다. 이러한 미소 박막 구조물은 하부층에 관통홀을 형성하고, 관통홀에 상부층이 끼워진 형태로 증착하거나 또는, 하부층에 요철부를 형성하고, 그 요철부를 갖는 하부층 상면에 소정 두께로 상부층을 증착하는 방법으로 제조된다. 또한, 이러한 미소 박막 구조물 제조방법을 MEMS 스위치의 가동전극 제조 방법에 적용한다.
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