폐쇄형반도체습식열산화장치

    公开(公告)号:KR100363158B1

    公开(公告)日:2003-01-24

    申请号:KR1019980042176

    申请日:1998-10-09

    CPC classification number: H01L21/67098 C30B33/005

    Abstract: A compound semiconductor wet thermal oxidation apparatus includes a chamber unit (30) having an inside tube (32) containing water (101) and supporting a specimen (100) and an outside tube (31) encompassing the inside tube (32) forming a seal, and a heating unit (20) having a furnace (21, 22) for heating the specimen (100) and the water (101).

    Abstract translation: 一种化合物半导体湿式热氧化装置包括:具有容纳水(101)并支撑样本(100)的内管(32)和包围内管(32)的外管(31)的腔室单元(30),形成密封 和具有用于加热试样(100)和水(101)的炉(21,22)的加热单元(20)。 <图像>

    마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저
    2.
    发明公开
    마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저 失效
    垂直孔表面发射激光

    公开(公告)号:KR1020020031002A

    公开(公告)日:2002-04-26

    申请号:KR1020000061983

    申请日:2000-10-20

    Inventor: 이정관 이재훈

    Abstract: PURPOSE: A vertical cavity surface emitting laser is provided to reduce fabricating costs of an optical system by simplifying a structure of optical axis alignment. CONSTITUTION: A substrate(100) is formed with a semiconductor material such as GaAs, AlGaAs, InAs, InP, GaP, InGaP, InGaAs, or GaP of n type. A lower reflection base layer(110) and an upper reflection base layer(140) are formed by laminating semiconductor compounds having different refractive indexes. The lower reflection base layer(110) has the refractive index higher than the refractive index of the upper reflection base layer(140). An active layer(120) has a structure of super lattice. The active layer(120) is formed with GaAs, AlGaAs, InGaAs, InGaP, or AlGaAsP. A lens layer(150) is formed on the upper reflection base layer(140). A micro lens(155) is formed on a window region(180) of the lens layer(150). An upper electrode(160) is formed on the remaining region except for the window region(180) of the upper reflection base layer(140). A lower electrode(170) is formed on a lower face of the substrate(100).

    Abstract translation: 目的:提供垂直腔表面发射激光器,以通过简化光轴对准的结构来降低光学系统的制造成本。 构成:衬底(100)由诸如GaAs,AlGaAs,InAs,InP,GaP,InGaP,InGaAs或n型的GaP的半导体材料形成。 通过层叠具有不同折射率的半导体化合物形成下部反射基底层(110)和上部反射基底层(140)。 下反射基底层(110)的折射率高于上反射基底层(140)的折射率。 有源层(120)具有超晶格结构。 有源层(120)由GaAs,AlGaAs,InGaAs,InGaP或AlGaAsP形成。 在上反射基底层(140)上形成透镜层(150)。 微透镜(155)形成在透镜层(150)的窗口区域(180)上。 除了上部反射基底层(140)的窗口区域(180)之外的剩余区域上形成有上部电极(160)。 在基板(100)的下表面上形成下电极(170)。

    마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저 및 그 제조방법
    3.
    发明公开
    마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저 및 그 제조방법 失效
    包括微透镜的表面发射激光及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020010077595A

    公开(公告)日:2001-08-20

    申请号:KR1020000005485

    申请日:2000-02-03

    Abstract: PURPOSE: A surface emitting laser including a micro lens and a method for manufacturing the same are provided to reduce an optical axis alignment process by forming a micro lens and a surface emitting laser with one body at direction of emitting a laser beam. CONSTITUTION: A lower reflective layer(110) of high reflexibility is laminated on a substrate(100). An active layer(120) is formed on the lower reflective layer(110) in order to generate light by combining electrons with holes. An upper reflective layer(140) of low reflexibility is laminated on the active layer(120). A lens layer(150) is formed on the upper reflective layer(140). A curved surface of a micro lens is formed on a window region(180) of the lens layer(150) for emitting laser beam. An upper electrode(160) is formed on the remaining region except for the window region(180). A lower electrode(170) is formed on a bottom face of the substrate(100).

    Abstract translation: 目的:提供包括微透镜的表面发射激光器及其制造方法,以通过在发射激光束的方向上形成具有一个主体的微透镜和表面发射激光器来减少光轴对准过程。 构成:将高反射性的下反射层(110)层叠在基板(100)上。 在下反射层(110)上形成有源层(120),以便通过将电子与空穴结合来产生光。 在活性层(120)上层叠具有低反射性的上反射层(140)。 在上反射层(140)上形成透镜层(150)。 微透镜的曲面形成在用于发射激光束的透镜层(150)的窗口区域(180)上。 在除了窗口区域(180)之外的剩余区域上形成有上部电极(160)。 下部电极(170)形成在基板(100)的底面上。

    마그네트를이용한비디오카메라의손떨림보정장치
    4.
    实用新型
    마그네트를이용한비디오카메라의손떨림보정장치 失效
    通过磁铁校正手镯的装置

    公开(公告)号:KR200187391Y1

    公开(公告)日:2000-07-01

    申请号:KR2019970028185

    申请日:1997-10-10

    Abstract: 마그네트를 이용한 비디오 카메라의 손떨림 보정장치에 관한 것으로서, 미러부가 부착된 보빈의 하면에는 착자홈을 갖는 접촉부가 일체로 형성되고, 상기 배럴에 돌출된 보스의 중공부에는 포스트가 나사결합되며, 상기 보빈과 포스트에는 상기 보빈의 구동시 원주방향으로 회전되는 것을 자력으로 구속하기 위한 회전구속수단이 착자됨으로써, 보빈과 보스 사이의 갭 및 보빈의 중심점을 자력으로 일정하게 유지시킬 수 있고, 손떨림 보정을 위한 보빈을 보다 원활하게 구동시킴은 물론 보정장치의 구조가 간단하여 떨림보상효율을 향상시킬 수 있다.

    미러유동방지장치를구비한비디오카메라
    5.
    发明公开
    미러유동방지장치를구비한비디오카메라 失效
    配备镜流防护装置的摄像机

    公开(公告)号:KR1019990036573A

    公开(公告)日:1999-05-25

    申请号:KR1019980029837

    申请日:1998-07-24

    Abstract: 미러유동방지장치를 구비한 비디오카메라가 개시된다. 손떨림에 의한 미러의 흔들림은 미러구동장치에 의해 보정되며, 미러구동장치의 작동 중단 중에는 미러유동방지장치에 의해 미러가 록킹된다. 상기 미러유동방지장치는 미러 및 하우징에 각각 고정된 한 쌍의 마그네트, 이 마그네트 사이에 유동가능하게 설치된 록킹부재, 및 록킹부재를 마그네트에 선택적으로 접촉시키는 자력발생부를 포함한다. 미러구동장치를 사용하지 않는 경우 미러가 록킹되므로 미러의 흔들림에 기인한 소음 및 비디오카메라의 고장이 방지된다. 또한 손떨림 보정 기능을 사용하지 않은 상태로 촬영을 할 경우에도 미러의 흔들림에 의한 촬영의 정밀도 저하가 발생하지 않게 된다.

    볼트 자동 정렬 장치
    6.
    实用新型
    볼트 자동 정렬 장치 失效
    自动螺栓拆除装置

    公开(公告)号:KR200131579Y1

    公开(公告)日:1998-12-15

    申请号:KR2019930017444

    申请日:1993-08-31

    Inventor: 이정관

    Abstract: 본 고안은 볼트 자동 정렬 장치에 관한 것이다.
    본 고안은 정렬홈이 마련된 볼트 정렬판과, 이 볼트 정렬판과 연결되어 볼트 정렬판을 진동시키는 진동장치와, 볼트 정렬판과 진동장치를 장착시키고 지지하는 베이스를 구비하고 있어, 손으로 볼트 정렬판을 흔드는 작업을 대신하여 기계적 진동으로 볼트 정렬판을 진동시켜 볼트들을 자동으로 정렬시킬 수 있고, 정렬된 볼트들을 조립작업에 편리하게 사용할 수 있어, 조립 시간을 단축시킬 뿐만 아니라 작업동작의 편리성도 제공할 수 있는 이점을 가진다.

    광학픽업 대물렌즈의 구동장치
    7.
    发明授权
    광학픽업 대물렌즈의 구동장치 失效
    光学拾取物镜的驱动装置

    公开(公告)号:KR1019940004584B1

    公开(公告)日:1994-05-25

    申请号:KR1019910018533

    申请日:1991-10-21

    Inventor: 이정관

    Abstract: The apparatus for driving an optical pickup object lens includes at least 2 spring members having one end fixed to the inner side of a supporting member and the other end fixed to a braid member. The spring members of "U"-shape support the braid member wound by a focussing coil and a tracking coil and has conductivity, thereby preventing noise and rolling phenomena of a disk player.

    Abstract translation: 用于驱动光学拾取物镜的装置包括至少两个弹簧构件,其一端固定到支撑构件的内侧,另一端固定到编织构件。 “U”形的弹簧构件支撑由聚焦线圈和跟踪线圈缠绕的编织构件,并且具有导电性,从而防止盘播放器的噪音和滚动现象。

    광학픽업 대물렌즈의 구동장치

    公开(公告)号:KR1019930008748A

    公开(公告)日:1993-05-21

    申请号:KR1019910018533

    申请日:1991-10-21

    Inventor: 이정관

    Abstract: 본 발명은 디스크플레이어의 광학 픽업 대물렌즈의 구동장치에 관한 것으로, 특히 브레이드부재의 전·후면으로부터 소정의 간격을 두고 상기 베이스부재의 상부면에 돌설형성된 지지부재와, 상기 지지부재의 내측면에 일단부가 고착되게 타단부가 고착되어서 상기 브레이드부재를 지지하는 스프링부재로 이루어진 광학픽업 대물렌즈의 구동장치에 관한 것으로 브레이드부재에 배설된 대물렌즈가 레이저 광원으로부터 발사되는 레이저광을 디스크의 트랙에 편심됨이 없이 투사시켜 디스크플레이어의 노이즈 현상 및 로울링 현상등을 방지할 수 있다는 효과가 있다.

    마이크로미러 구동장치 및 그 제어 방법
    9.
    发明授权
    마이크로미러 구동장치 및 그 제어 방법 失效
    一种微镜驱动装置及其控制方法

    公开(公告)号:KR100765737B1

    公开(公告)日:2007-10-15

    申请号:KR1020010010916

    申请日:2001-03-02

    Inventor: 민영훈 이정관

    Abstract: 마이크로미러의 공진주파수와 진폭을 독립적으로 제어할 수 있도록 된 마이크로미러 구동장치 및 그 제어 방법이 개시되어 있다.
    이 마이크로미러 구동장치는, 마이크로미러; 상기 마이크로미러가 회동되도록 지지하는 탄성체; 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전력을 발생시킴으로써 마이크로미러를 회동시키고, 초기 전압 V
    0 와 임의의 계수 α에 대해 V
    2 = V
    0 + αθ의 전압을 인가하는 적어도 하나의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
    또한, 이 마이크로미러 제어 방법은, 마이크로미러, 상기 마이크로미러를 지지하는 탄성체 및 상기 마이크로미러를 회동시키는 적어도 하나의 전극을 포함하는 마이크로미러 구동장치 제어방법으로서, (a) 상기 마이크로미러와 적어도 하나의 전극 사이에 정전력을 발생시키는 단계; (b) 상기 마이크로미러의 회동각도를 θ라 할 때, 초기 전압 V
    0 와 임의의 계수 α에 대해 상기 적어도 하나의 전극을 V
    2 = V
    0 + αθ로 설정하는 단계; (c) 상기 (b) 단계에서 V
    0 및/또는 α를 변화시켜 마이크로미러의 주파수 및/또는 진폭을 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

    표면광 레이저 및 그 제조방법
    10.
    发明授权
    표면광 레이저 및 그 제조방법 失效
    表面光激光器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100327227B1

    公开(公告)日:2002-06-20

    申请号:KR1019980042548

    申请日:1998-10-12

    Inventor: 이금희 이정관

    Abstract: 선택적 산화법에 의하여 전류의 흐름을 가이드하는 고저항부가 형성되는 표면광 레이저 및 그 제조방법이 개시되어 있다.
    개시된 표면광 레이저는 인가된 전원에 의해 레이저 광을 생성 조사하는 포스트와; 포스트 주위의 상부반사기층과, 활성층 및 하부반사기층의 적어도 일부분에 걸쳐 인입 형성된 트렌치와; 트렌치에 의해 소정 간격 이격된 채로 포스트를 감싸도록 형성된 블록과; 윈도우 및 그 주위를 제외한 포스트 상면 일부와, 트렌치 및, 블록 상에 형성된 절연막과; 절연막 상부에 형성되며, 윈도우 주변에서는 포스트 상면에 직접 형성된 상부전극과; 기판 하면에 형성된 하부전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
    또한, 그 제조방법으로 인입된 트렌치를 형성하여, 트렌치를 경계로 포스트와, 포스트를 감싸도록 된 블록으로 구분하는 단계와; 소정 시간동안 수증기 분위기에서 산화에 의해 고저항부를 형성하는 단계와; 절연막을 형성하는 단계와; 상부전극을 형성하는 단계와; 기판을 소정 두께로 래핑하고, 그 래핑면에 하부전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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