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公开(公告)号：KR100590881B1
公开(公告)日：2006-06-19
申请号：KR1020040034430
申请日：2004-05-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C08L63/00
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , G03F7/0043 , G03F7/0048
Abstract: 광경화성 수지 조성물 및 그의 패터닝 방법이 제공된다. 상기 광경화성 수지 조성물은 60 중량비의 에폭시 화합물, 광개시제로써 제공되는 2 내지 10 중량비의 광촉매 및 10 내지 40 중량비의 비광반응성 용매를 포함한다. 상기 광촉매는 광에너지에 의하여 전자-정공 쌍을 생성시키는 반도체 물질인 것이 바람직하다. 이러한 반도체 물질은 TiO
2 , CdS, Si, SrTiO
3 , WO, ZnO, SnO
2 , CdSe, 또는 CdTe일 수 있다. 상기 에폭시 화합물은 이작용성 에폭시 화합물 및 다작용성 에폭시 화합물을 포함할 수 있다. 상기 비광반응성 용매로는 감마 부티로락톤, 싸이클로펜타논, C
1-6 아세테이트, 테트라 하이드로 푸란, 크실렌(xylene) 또는 이들의 혼합물일 수 있다.
광경화성, 에폭시, 광촉매-
公开(公告)号：KR1020060027746A
公开(公告)日：2006-03-28
申请号：KR1020040076670
申请日：2004-09-23
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/1603 , B41J2/1626 , B41J2/1632 , B41J2/1645
Abstract: 잉크젯 프린트 헤드의 제조방법을 제공한다. 상기 제조방법은 기판 상에 잉크 토출을 위한 에너지 발생 요소를 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판 상에 챔버층 및 상기 에너지 발생 요소에 대응하는 노즐을 구비하는 노즐층을 형성하되, 상기 챔버층 및 상기 노즐층 중 적어도 한 층은 광염기 발생제(photobase generator), 에폭시 레진 및 비광반응성 용매를 함유하는 광경화성 수지 조성물을 사용하여 형성한다.
챔버층, 노즐층, 광경화성 수지 조성물, 광염기 발생제, 에폭시 레진-
公开(公告)号：KR1020050123334A
公开(公告)日：2005-12-29
申请号：KR1020040047894
申请日：2004-06-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/1628 , B41J2/1629
Abstract: 본 발명은 소수성 막을 갖는 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 히터 및 배선이 형성된 기판상에 채널 및 노즐을 위한 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층의 상부에 수지를 도포하여 노즐층을 형성하는 단계; 상기 노즐층의 윗면을 희생층 중 노즐에 대응되는 부분의 상단부가 드러날 때까지 연마하는 단계; 연마된 상기 노즐층 및 희생층의 상부면에 소수성 물질을 도포하고, 베이킹하는 단계; 상기 기판의 배면에 습식 또는 건식 식각에 의해 피드홀을 형성하는 단계; 상기 피드홀을 통해서 상기 희생층 및 상기 노즐 부분의 상부에 잔류하는 소수성 막을 제거하는 단계; 및 상기 소수성 막을 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소수성 막을 갖는 잉크젯 프린트 헤드의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 의하면, 별도의 금속막을 형성하는 등의 공정이 불필요해지므로 종래에 비해서 단순화된 공정으로 소수성 막을 잉크젯 프린트 헤드에 형성할 수 있어 제조단가를 절감할 수 있는 효과를 제공한다. 또한, 노즐의 내부 및 노즐의 개구부를 제외한 헤드의 표면에 균일하게 소수성 막을 형성할 수 있으므로 프린트 성능을 향상시키게 된다.-
公开(公告)号：KR1020050121137A
公开(公告)日：2005-12-26
申请号：KR1020040046300
申请日：2004-06-21
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1631
Abstract: 일체식 잉크젯 헤드의 제조방법을 제공한다. 이 방법은 기판 상에 잉크 토출을 위한 압력을 생성하는 발열 저항기를 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판 상에 잉크 유로가 형성될 영역을 덮는 희생 몰드층을 형성한다. 상기 희생 몰드층을 갖는 기판 상의 전면에, 상기 희생 몰드층을 덮도록 챔버 물질층을 형성한다. 상기 희생 몰드층의 상부면이 노출되도록 상기 챔버 물질층을 평탄화하여 챔버벽을 형성한다. 상기 희생 몰드층 및 상기 챔버벽 상에 상기 발열저항기 상부의 상기 희생 몰드층을 노출시키는 노즐을 갖는 노즐층을 형성한다.
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公开(公告)号：KR100517515B1
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：KR1020040004429
申请日：2004-01-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
Abstract: 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은, 기판 상에 히터와 전극을 형성하는 단계; 히터와 전극이 형성된 기판 상에 잉크 유로를 한정하는 유로형성층을 형성하는 단계; 기판 상에 유로형성층을 덮도록 희생층을 형성하는 단계; 화학적 기계적 연마(CMP) 공정을 통하여 유로형성층과 희생층의 상면을 평탄화하는 단계; 상기 유로형성층과 희생층 위에 노즐층을 형성하는 단계; 기판에 잉크 공급구를 형성하는 단계; 및 희생층을 제거하는 단계;를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050072356A
公开(公告)日：2005-07-11
申请号：KR1020040000754
申请日：2004-01-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/1635 , B41J2/1433 , B41J2/1626 , B41J2/1639 , H01L21/52
Abstract: 잉크젯 프린트 헤드칩들을 갖는 반도체 웨이퍼 및 그것을 제조하는 방법이 개시된다. 상기 반도체 웨이퍼는 스크라이브 레인 및 상기 스크라이브 레인에 의해 이격된 프린트 헤드칩 영역들을 갖는 반도체기판을 구비한다. 상기 프린트 헤드칩 영역들 각각의 상에 잉크 챔버들이 위치하고, 상기 잉크 챔버들 각각의 상에 노즐이 위치한다. 한편, 금속패드들이 상기 잉크 챔버들과 이격되어 상기 스크라이브 레인의 일영역을 사이에 두고 서로 마주보도록 상기 프린트 헤드칩 영역들의 가장자리 상에 위치한다. 상기 서로 마주보는 금속패드들 사이의 상기 스크라이브 레인의 일영역 상에는 버퍼층 패턴이 위치한다. 상기 버퍼층 패턴은 상기 스크라이브 레인의 일영역의 전면을 덮거나, 임계길이 이하로 이격된 서브 버퍼층 패턴들을 갖는다. 이에 따라, 상기 반도체기판과 FPC(flexible printed circuit) 케이블의 리드선 사이의 전기적 단락이 방지된다.
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公开(公告)号：KR1020040097848A
公开(公告)日：2004-11-18
申请号：KR1020030030364
申请日：2003-05-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing a monolithic ink jet print head is provided to improve an ink exhaust performance by uniformly forming a fluid path. CONSTITUTION: A heater layer is formed, and then, the heater layer remains only in a part in which an ink chamber is formed by patterning with respect to the heater layer. After forming a negative photo-resist layer on the substrate(110), a patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a fluid path plate. After forming a positive photo-resist layer on the fluid path plate(130), the patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a first sacrificial layer. After forming a positive photo-resist layer on the first sacrificial layer, the patterning process is performed with respect to a result structure, thereby forming a second sacrificial layer. A nozzle plate is formed on the second sacrificial layer and the fluid path plate. A nozzle(106) is formed on the nozzle plate.
Abstract translation: 目的：提供一种制造单片喷墨打印头的方法，以通过均匀地形成流体路径来改善排墨性能。 构成：形成加热器层，然后，通过相对于加热器层进行图案化，加热器层仅保留在其中形成墨室的部分中。 在基板（110）上形成负光致抗蚀剂层后，对结果结构进行图案化处理，从而形成流体通路板。 在流体路径板（130）上形成正光致抗蚀剂层之后，对结果结构进行构图处理，从而形成第一牺牲层。 在第一牺牲层上形成正光致抗蚀剂层之后，对结果结构进行构图处理，从而形成第二牺牲层。 喷嘴板形成在第二牺牲层和流体路径板上。 在喷嘴板上形成喷嘴（106）。
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公开(公告)号：KR100438711B1
公开(公告)日：2004-07-05
申请号：KR1020020000319
申请日：2002-01-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
Abstract: PURPOSE: An ink jet print head and a method for fabricating the same are provided to effectively prevent thermal accumulation on a nozzle plate and in ink and to effectively prevent an ink absorption at an inner portion of the nozzle plate. CONSTITUTION: An ink jet print head(100) includes a plurality of nozzles(180) arranged on a nozzle plate(120). The nozzle plate(120) is a membrane formed on a substrate(110). A plurality of pad is aligned along long-sides of the print head(100) in series with a predetermined interval. The pad is a terminal for applying an electric signal to heaters(130). A switching device is provided between the pad and heaters(130). The switching device is positioned between the substrate(110) and the nozzle plate(120). A half-spherical chamber(140) is formed at the center of the substrate(110). A rectangular channel type manifold(170) is formed at a lower portion of the half-spherical chamber(140).
Abstract translation: 目的：提供一种喷墨打印头及其制造方法，以有效地防止喷嘴板和油墨上的热积聚，并有效地防止喷嘴板内部的油墨吸收。 构成：喷墨打印头（100）包括布置在喷嘴板（120）上的多个喷嘴（180）。 喷嘴板（120）是形成在基板（110）上的膜。 多个垫沿着打印头（100）的长边以预定间隔串联排列。 该垫是用于向加热器（130）施加电信号的端子。 开关装置设置在垫和加热器（130）之间。 开关装置位于基板（110）和喷嘴板（120）之间。 半球形腔室（140）形成在基板（110）的中央。 矩形通道型歧管（170）形成在半球形室（140）的下部。
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公开(公告)号：KR100425306B1
公开(公告)日：2004-03-30
申请号：KR1020010062947
申请日：2001-10-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/14129 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645
Abstract: A bubble-jet type ink-jet printhead has a structure in which a base plate, a barrier wall, and a nozzle plate are stacked. The base plate includes a substrate on which a recess is formed to a predetermined depth, an adiabatic layer formed on the substrate, a heater which is formed on the adiabatic layer and generates a thermal energy, and a passivation layer which is formed on the heater and passivates the heater. The barrier wall is stacked on the base plate, defines an ink chamber, which is disposed on the recess and has a recessed bottom surface, and defines an ink passage which communicates with the ink chamber. The nozzle plate is stacked on the barrier wall, has nozzles through which ink is ejected, and is formed at a location corresponding to a center of the ink chamber. Since a height of the barrier wall surrounding the ink chamber is reduced by the recess, delamination caused by ink soaked into the barrier wall can be prevented, and print performances such as a traveling property in a straight direction of ink droplets and ejection velocity of ink droplets, are improved.
Abstract translation: 气泡喷射式喷墨打印头具有其中基板，阻挡壁和喷嘴板堆叠的结构。 该基板包括：基板，其上形成预定深度的凹槽;绝热层，形成在基板上;加热器，形成在绝热层上并产生热能;以及钝化层，形成在加热器上 并钝化加热器。 阻挡壁堆叠在基板上，限定墨腔室，该墨腔室设置在凹槽中并具有凹入的底表面，并且限定与墨腔室连通的墨通道。 喷嘴板堆叠在阻挡壁上，具有通过其喷射墨的喷嘴，并形成在与墨室的中心相对应的位置处。 由于围绕墨水腔室的隔离壁的高度被凹槽减小，因此可以防止由浸入隔离壁中的墨水引起的分层，并且可以实现打印性能，例如墨滴的直线方向上的行进特性和墨水的喷射速度 液滴，都有所改善。
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公开(公告)号：KR1020030082261A
公开(公告)日：2003-10-22
申请号：KR1020020020912
申请日：2002-04-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14137 , B41J2/1601 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/1437
Abstract: PURPOSE: An ink jet printer head and a method for manufacturing the same are provided to improve exhausting speed and straightness of an ink droplet by effectively designing a hydrophobic coating layer. CONSTITUTION: A semi-spherical ink chamber(140) is formed at an upper center portion of a substrate(110). A rectangular channel shaped manifold(170) is formed at a lower portion of the semi-spherical ink chamber(140). Ink is fed from a manifold(170) to the semi-spherical ink chamber(140) through a fluid path formed at a bottom of the semi-spherical ink chamber(140). A multi-layered nozzle plate(120) is provided on an upper surface of the substrate(110). A nozzle(180) is provided in the nozzle plate(120). The nozzle(180) includes a cylindrical bubble guide(181). The nozzle(180) has an ink droplet exhausting section formed on a hydrophobic coating layer(190).
Abstract translation: 目的：提供一种喷墨打印机头及其制造方法，通过有效地设计疏水涂层来提高墨滴的排气速度和平直度。 构成：在基板（110）的上中心部分处形成半球形墨水室（140）。 矩形通道形状的歧管（170）形成在半球形墨水室（140）的下部。 油墨通过形成在半球状墨水室（140）的底部的流体路径从歧管（170）进给到半球形墨水室（140）。 多层喷嘴板（120）设置在基板（110）的上表面上。 喷嘴板（120）中设有喷嘴（180）。 喷嘴（180）包括圆柱形气泡引导件（181）。 喷嘴（180）具有在疏水性涂层（190）上形成的墨滴排出部。
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