Abstract:
프록시를 이용한 모바일 프라이버시 보호 시스템, 프록시 디바이스 및 모바일 프라이버시 보호 방법을 개시한다. 모바일 프라이버시 보호 시스템은 기선정된(predetermined) 태그 정보를 저장하는 적어도 하나의 전자 태그, 상기 전자 태그의 프라이버시 레벨(privacy level)을 조절하는 프록시 디바이스(proxy device) 및 상기 프록시 디바이스의 요청에 따라 상기 프라이버시 레벨의 조절에 이용되는 새로운 태그 정보를 생성하는 홈 서버를 포함한다. RFID(Radio Frequency Identification), 프록시(proxy), PAN(Personal Area Network), 보안, EPCIS(Electronic Product Code Information Service)
Abstract:
A mobile privacy protection system using proxy, proxy device and mobile privacy protection method are provided to prevent an exposure of private information by controlling privacy level through a proxy device. One or more electronic tag(301) stores the tag information which is predetermined. A proxy device(302) controls a piracy level of an electronic tag. According to the request of the proxy device, a home server(303) produces the new tag information using to the adjustment of the piracy level.
Abstract:
본 발명은 플라즈마 처리 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 플라즈마 처리 장치는 하우징, 상기 하우징 내부 하측에 배치되며 기판이 안착되는 하부 전극, 상기 하우징 내부 상측에 배치되며 기판 표면으로 반응 가스를 공급하는 상부 전극, 상기 하부 전극의 가장자리를 감싸도록 설치되며, 기판이 상기 하부 전극으로부터 이탈되는 것을 가이드 링을 포함하되, 상기 가이드 링의 상부면은 산화이트늄(Y2O3)으로 코팅된다. 상기 산화이트늄은 플라즈마 발생 장치에서 발생되는 반응 부산물에 의해 상기 가이드 링이 오염되는 것을 방지하기 위해 제공되는 것이다. 플라즈마, 플라즈마 식각, 건식 식각, 플라즈마 발생 장치, 가이드 링, 산화이트늄
Abstract:
PURPOSE: A door device of a process chamber is provided to minimize an assembling/disassembling process and a calibration process of the door device in a cleaning process by using the door device having a detachable plate. CONSTITUTION: A plate(102) is used for covering an entrance of a process chamber. A plate fixing part(130) is connected to the plate. A plate moving unit(110) is connected to the plate fixing part. A coupling unit(101,104,106) is formed between the plate and the plate fixing part in order to couple the plate to the plate fixing part and decouple the plate from the plate fixing part. The coupling unit is formed with one of a screw and a clamp.