웨이퍼 스테이지 정렬 방법, 이 방법을 수행하기 위한 장치, 및 이 장치를 포함하는 노광 장치
    3.
    发明授权
    웨이퍼 스테이지 정렬 방법, 이 방법을 수행하기 위한 장치, 및 이 장치를 포함하는 노광 장치 有权
    用于执行包括校准装置在内的方法和放映装置的波段装置的方法

    公开(公告)号:KR101683027B1

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:KR1020100099639

    申请日:2010-10-13

    Inventor: 박태진 김철홍

    CPC classification number: G03B27/58 G03B27/53 G03F7/70775 G03F9/7088

    Abstract: 웨이퍼스테이지정렬방법에따르면, 웨이퍼스테이지를 x축방향을따라이동시킨다. 상기 x축방향과경사진제 1 위치에서상기웨이퍼스테이지의제 1 좌표를계측한다. 상기웨이퍼스테이지를 y축방향을따라이동시킨다. 상기 y축방향과경사진제 2 위치에서상기웨이퍼스테이지의제 2 좌표를계측한다. 따라서, 웨이퍼스테이지의이동거리가상대적으로증가되어, 간섭계가웨이퍼스테이지의위치를보다정밀하게계측할수가있다.

    Abstract translation: 在对准晶片台的方法中,晶片台可以在X轴方向上移动。 可以从倾斜于X轴的第一测量位置测量晶片台的第一坐标。 晶片载物台可沿Y轴方向移动。 可以从与Y轴倾斜的第二测量位置测量晶片台的第二坐标。 因此,可以增加晶片台的移动距离,使得干涉仪可以精确地测量晶片台的位置。

    캐패시터를 포함하는 반도체 소자
    4.
    发明公开
    캐패시터를 포함하는 반도체 소자 审中-实审
    包括电容器的半导体器件

    公开(公告)号:KR1020160042233A

    公开(公告)日:2016-04-19

    申请号:KR1020140135060

    申请日:2014-10-07

    CPC classification number: H01L27/10814 H01L28/87 H01L28/91

    Abstract: 반도체소자가제공된다. 반도체소자는, 기판상에이차원적으로배열되는하부전극들, 및상기하부전극들에각각연결되는트랜지스터들을포함한다. 상기하부전극들의각각은, 제1 방향을따라서로대향하는제1 측벽들, 및상기제1 방향에교차하는제2 방향을따라서로대향하는제2 측벽들을포함한다. 상기제1 측벽들의각각은, 인접하는하부전극의측벽으로부터상기제1 방향으로제1 최단거리만큼이격되고, 상기제2 측벽들의각각은, 인접하는하부전극의측벽으로부터상기제2 방향으로제2 최단거리만큼이격된다. 평면적관점에서, 상기제1 측벽들및 상기제2 측벽들중 적어도하나는오목한형태를갖는다.

    Abstract translation: 本发明提供一种半导体器件。 半导体器件包括:二维布置在衬底上的下电极; 和分别连接到下电极的晶体管。 每个下电极包括:在第一方向上彼此面对的第一侧壁; 以及在与第一方向相交的第二方向上彼此面对的第二侧壁。 每个第一侧壁与每个相邻下电极的侧壁间隔开多达第一方向上的最短距离,并且每个第二侧壁与每个相邻下电极的侧壁间隔多达 在第二个方向的最短距离。 在平面图中,第一侧壁和第二侧壁中的至少一个具有凹形; 并且半导体器件包括具有增加的电容的电容器。

    신호 배선의 상부로 연장된 랜딩 패드가 선택적으로 배치된 메모리 소자
    5.
    发明公开
    신호 배선의 상부로 연장된 랜딩 패드가 선택적으로 배치된 메모리 소자 审中-实审
    存储设备处理通过信号线扩展的选择性的线路板

    公开(公告)号:KR1020160024641A

    公开(公告)日:2016-03-07

    申请号:KR1020140111708

    申请日:2014-08-26

    Abstract: 셀영역과주변영역을포함하는기판, 상기셀 영역내에수직교차하는게이트라인스택들및 비트라인스택들, 이웃하는상기게이트라인스택들및 이웃하는상기비트라인스택들에의해동시에공유되는영역들에배치된배리드콘택들, 상기배리드콘택들과연결되고인접한비트라인스택의상부로연장된연장부를가지고, 및행으로배치된확장랜딩패드들, 상기확장랜딩패드들과는열로이격되고, 상기배리드콘택들과연결되고, 및상기확장랜딩패드들보다작은수평폭을가지는랜딩패드들, 상기확장랜딩패드들의연장부와연결되는제 1 스토리지노드및 상기랜딩패드와연결되는제 2 스토리지노드들을포함하는메모리소자가제안된다.

    Abstract translation: 提出了一种存储器件,包括:包括单元区域和外围区域的衬底; 栅极线堆叠和在单元区域中彼此垂直相交的位线堆叠; 同时布置在由相邻栅极线堆叠和相邻位线堆叠共享的区域中的埋入触点; 扩展着陆焊盘,其连接到埋入触点,并且具有延伸到相邻位线堆叠的上部的延伸焊盘,并且排成行; 着陆焊盘通过柱与扩展的着陆焊盘分离,并且连接到埋地触点,并且具有比扩展的焊盘小的水平宽度; 以及第一存储节点,其连接到所述扩展着陆焊盘的延伸部分和连接到所述着陆焊盘的第二存储节点。 本发明的目的是提供包括着陆垫的存储装置,其被选择性地布置以确保工艺余量。

    회전체 크리닝 장치 및 이를 갖는 진공 펌프
    7.
    发明公开
    회전체 크리닝 장치 및 이를 갖는 진공 펌프 无效
    用于清洁旋转体的装置和具有该旋转体的真空泵

    公开(公告)号:KR1020100091063A

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:KR1020090010346

    申请日:2009-02-09

    Inventor: 박태진

    CPC classification number: F04C18/126 F04C29/0092 F04C2220/10

    Abstract: PURPOSE: A rotary cleaning apparatus and a vacuum pump including the same are provided to clean a rotary shaft and the external side of protrusions on the rotary shaft by supplying a cleaning material to the rotary shaft. CONSTITUTION: A rotating body includes one or a plurality of rotary shafts(210) with protrusions(220). A cleaning part includes one or a plurality of rotary holes through which the rotary shafts are inserted. The cleaning part cleans the rotary shafts by running a cleaning material through the rotary holes. A cleaning body(310) includes a chamber. Main spraying holes are formed on both sides of the cleaning body to be connected with the chamber.

    Abstract translation: 目的:提供旋转清洁装置和包括该旋转清洁装置的真空泵,通过向旋转轴提供清洁材料来清洁旋转轴和旋转轴上的突起的外侧。 构成:旋转体包括具有突起(220)的一个或多个旋转轴(210)。 清洁部件包括旋转轴插入的一个或多个旋转孔。 清洁部件通过旋转孔运行清洁材料来清洁旋转轴。 清洁体(310)包括室。 在清洁体的两侧形成主要喷孔以与腔室连接。

    드럼 세탁기
    8.
    发明公开
    드럼 세탁기 无效
    鼓式洗衣机

    公开(公告)号:KR1020100030064A

    公开(公告)日:2010-03-18

    申请号:KR1020080088837

    申请日:2008-09-09

    CPC classification number: D06F37/26 D06F37/20

    Abstract: PURPOSE: A drum washing machine is provided to reduce noise and contaminants by increasing the structural integrity of a tub and by smoothing the inner rear surface of the tub. CONSTITUTION: A drum washing machine comprises a main body, a drum, a tub, a shaft, and a motor. The drum is pivotally installed inside the main body. The tub is arranged outside the drum. The shaft is connected to the drum through the rear wall of the tub in order to rotate the drum. The motor is installed outside the tub and generates the driving force for rotating the shaft. A reinforcing rib is formed on the outer surface of the rear wall(10) of the tub.

    Abstract translation: 目的:提供滚筒洗衣机,通过增加浴缸的结构完整性和平滑桶的内后表面来减少噪音和污染物。 构成:滚筒洗衣机包括主体,滚筒,桶,轴和马达。 滚筒可枢转地安装在主体内。 浴缸布置在鼓的外面。 轴通过桶的后壁连接到滚筒,以便转动滚筒。 电动机安装在桶外,产生用于旋转轴的驱动力。 在桶的后壁(10)的外表面上形成加强筋。

    로테이션을 이용한 태그 인증 방법 그리고 상기 방법을수행하는 태그 및 리더
    9.
    发明公开
    로테이션을 이용한 태그 인증 방법 그리고 상기 방법을수행하는 태그 및 리더 有权
    使用旋转和标签和读取器执行方法的标签认证方法

    公开(公告)号:KR1020090039549A

    公开(公告)日:2009-04-22

    申请号:KR1020070105262

    申请日:2007-10-18

    CPC classification number: H04L9/3271 H04L2209/08 H04L2209/805

    Abstract: A tag authentication method using the rotation and a tag and a reader for executing the method are provided to completely synchronize the leader and the tag by using the rotation factor and the rotation function. A tag authentication method using the rotation is as follows. A reader produces the first random number as the challenge(S301). A tag produces the second random number as the blinding factor(S302). The first random number is transmitted to the tag by the reader(S303). The tag produces the rotation factor by using the first random number and the first secrete value(S304). The tag calculates the first verification value based on the second random number, the second secrete value, and the rotation factor(S305). The tag transmits the first verification value and the second random number generated as the blinding factor to the reader(S306). The reader produces the rotation factor by using the second random number and the first secrete value(S307). The reader calculates the second verification value based on the first random number, the second secrete value, and the rotation factor(S308). The first verification value and the second verification value are compared by the reader(S309).

    Abstract translation: 提供使用旋转的标签认证方法和用于执行该方法的标签和读取器,以通过使用旋转因子和旋转功能来完全同步领导者和标签。 使用旋转的标签认证方法如下。 读取器产生第一个随机数作为挑战(S301)。 标签产生第二随机数作为盲目因子(S302)。 第一随机数由读取器发送到标签(S303)。 标签通过使用第一随机数和第一分离值产生旋转因子(S304)。 标签基于第二随机数,第二分泌值和旋转因子计算第一验证值(S305)。 标签将作为盲目因素生成的第一验证值和第二随机数发送到读取器(S306)。 读取器通过使用第二随机数和第一分离值产生旋转因子(S307)。 读取器基于第一随机数,第二分泌值和旋转因子计算第二验证值(S308)。 第一验证值和第二验证值由读取器进行比较(S309)。

    난류 날개들을 갖는 배기 배관 및 배기 시스템
    10.
    发明授权
    난류 날개들을 갖는 배기 배관 및 배기 시스템 失效
    具有涡流翅膀和排气系统的排气管

    公开(公告)号:KR100791073B1

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:KR1020060077247

    申请日:2006-08-16

    Inventor: 박태진

    CPC classification number: F01N3/038 Y02T10/20 Y10T137/0329

    Abstract: An exhaust pipe having turbulence wings and an exhaust system are provided to prevent byproducts from being adhered to an inner wall of the exhaust pipe. An exhaust pipe includes an outer pipe(53), an inner pipe(63), an exhaust gas passage(50'), a gap(57), and at least two turbulence wings(63W). The outer pipe has a gas injection hole(55). The inner pipe is mounted inside the outer pipe and has a plurality of turbulence wings and first gas exhaust holes adjacent to each of the turbulence wings. The exhaust gas passage is projected inward on the inner pipe. The gap is formed between the outer pipe and the inner pipe. The turbulence wings are connected to the gas injection hole via the gap.

    Abstract translation: 提供具有湍流翼和排气系统的排气管,以防止副产物粘附到排气管的内壁。 排气管包括外管(53),内管(63),排气通道(50'),间隙(57)和至少两个湍流翼(63W)。 外管具有气体注入孔(55)。 内管安装在外管内,并且具有多个湍流翼和与每个湍流翼相邻的第一排气孔。 废气通道在内管上向内突出。 在外管和内管之间形成间隙。 湍流翼通过间隙连接到气体注入孔。

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