Abstract:
PURPOSE: A cantilever structure and a manufacture method thereof are provided to offer a cantilever of which the spring constant is low. CONSTITUTION: A cantilever supporting portion(114) is arranged in one side of a body portion(132). A cantilever(112) is extended from the cantilever supporting portion. A probe(116) is protruded in one side of the cantilever. One or more piezoresistive sensors(122,224) are at least formed in one side of the cantilever. A resistance pattern is formed on the cantilever supporting portion. A metal pad(126) is formed on the cantilever supporting portion. A conductive pattern(128) electrically connects the piezoresistive sensor and the resistance pattern with the metal pad.
Abstract:
본 발명은 반도체 공정을 이용하여 표면에 마이크로 구조물을 형성한 후 플라즈마로 표면을 식각하여 표면에 미세한 나노 구조체를 형성하고 그 위에 소수성 폴리머를 코팅함에 따라 표면에서의 물의 접촉각이 150° 이상인 나노 패턴된 폴리머 니들 어레이를 갖는 초소수성 투명 박막 및 상기 초소수성 투명 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 비교적 간단한 방법으로 표면에 물방울 및 이물질 등을 자가세정할 수 있는 능력을 가지는 초소수성 표면을 구비할 수 있을 뿐만 아니라 특히 유리 표면에 접촉각이 160° 이상인 초소수성 표면을 구현하는 것이 가능하여 자동차 앞유리(windshield) , 사이드 미러(side mirror) 및 건물의 외벽 등에 유용하게 사용될 수 있다.
Abstract:
본 발명은 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 특히 제작이 용이하고 원자 현미경의 분해능을 높일 수 있는 캔틸레버 구조체 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 캔틸레버 구조체는 폴리머 계열의 물질로 형성되는 바디부, 바디부의 일면에 배치되며 폴리머 계열의 물질로 형성되는 외팔보 지지부, 외팔보 지지부와 일체형으로 형성되며 바디부의 일측방향으로 돌출되도록 외팔보 지지부에서 신장되는 외팔보을 구비한다. 그리고 외팔보의 일면에는 끝단이 첨예하게 돌출되는 탐침이 형성된다. 또한 외팔보의 적어도 일면에는 하나 이상의 압저항 센서가 형성된다. 그리고, 외팔보 지지부에는 저항 패턴, 전원전압을 인가받기 위한 금속 패드가 형성된다. 또한 압저항 센서 및 저항 패턴을 금속 패드와 전기적으로 연결하면서 휘트스톤 브리지 회로를 구성하는 도전 패턴을 구비한다. 원자 현미경, 캔틸레버, 외팔보, 폴리머, 휘트스톤 브리지
Abstract:
PURPOSE: A drug test apparatus applied in developing a novel drug is provided to quantitatively and qualitatively output drug screening data. CONSTITUTION: A drug test apparatus(100) comprises: a base part having a cell culture space for culturing cells; a cell stimulation unit(130) which is formed in a bimetal structure in the cell culture space of the base part and a heating unit for converting electricity into heat; a cell weight sensing unit(133) which has the cell stimulation unit and senses cell weight change; and an electricity resistance sensing unit(135) for sensing impedance change of cells. The apparatus further comprises a drug delivery unit(140). The drug delivery unit has piezoelectric polymers.