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公开(公告)号：KR1020110139376A
公开(公告)日：2011-12-29
申请号：KR1020100059419
申请日：2010-06-23
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B82B3/0038 , B82Y20/00 , B82Y40/00 , H05B33/00
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a metal nano-structure array is provided to easily control manufacturing processes by implementing a colloid spin-coating process based on nano-silver particles and implementing a thermal treating process. CONSTITUTION: A method for manufacturing a metal nano-structure array includes the following: Colloidal suspension(100) containing nano-silver particles and a substrate(200) are prepared. The colloidal suspension is coated on the substrate. Nano-silver islands(400) are formed from the nano-silver particles in the colloidal suspension through a thermal treating process. The nano-silver particles of the colloidal suspension are dispersed in a non-polar solvent. While the thermal treating process, colloidal aggregates(300) are formed and a sintering and isolating process is implemented.
Abstract translation: 目的：提供一种制造金属纳米结构阵列的方法，以通过实施基于纳米银颗粒的胶体旋涂工艺和实施热处理工艺来容易地控制制造工艺。 构成：制造金属纳米结构阵列的方法包括以下：制备含有纳米银颗粒和底物（200）的胶体悬浮液（100）。 将胶体悬浮液涂覆在基材上。 纳米银岛（400）由胶体悬浮液中的纳米银颗粒通过热处理工艺形成。 胶体悬浮液的纳米银颗粒分散在非极性溶剂中。 在热处理过程中，形成胶体聚集体（300），并实现烧结和隔离过程。
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公开(公告)号：KR1020110109130A
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：KR1020100028721
申请日：2010-03-30
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0027 , H01L21/0274
Abstract: 본 발명은 롤임프린트 장치에 관한 것으로, 기판 상에 수지를 전사하는 전사롤러를 사용하여 임프린트 리소그래피를 수행하기 위한 롤임프린트 장치에 있어서, 상기 전사롤러는 롤러지지대에 의해 지지되어 회전 운동하되 회전 중심에 안착홀이 관통 형성되는 투광성의 원통봉; 상기 안착홀에 삽입된 채 상기 롤러지지대에 고정되어 상기 기판의 표면을 향해 광을 조사하는 광조사부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 기판의 투명도에 상관없이 가압 상태에서 기판에 전사된 수지를 경화시킬 수 있도록 하는 롤임프린트 장치가 제공된다.
또한, 기판의 이송 과정에서 기판에 전사된 수지의 형태가 파손되거나 변형되는 것을 방지하고, 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 롤임프린트 장치가 제공된다.-
公开(公告)号：KR101061554B1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：KR1020090011089
申请日：2009-02-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/336 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 나노 갭 센서는 보다 용이하게 제조할 수 있도록 소스 전극과, 드레인 전극과, 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 연결하는 채널, 및 상기 채널과 이격되어 인접하게 배치된 게이트 전극을 포함하고, 상기 소스 전극, 상기 드레인 전극, 상기 채널, 및 상기 게이트 전극은 동일한 타입의 물질로 도핑된 실리콘층으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시예에 따른 나노 갭 바이오 센서의 제조 방법은 기판 상에 실리콘층을 도포하는 실리콘층 형성 단계와, 상기 실리콘층 상에 레지스트층을 도포하는 레지스트층 형성 단계와, 상기 레지스트층에 패턴을 형성하는 레지스트층 패터닝 단계와, 상기 실리콘층을 에칭하여 나노 갭을 형성하는 실리콘층 패터닝 단계와, 상기 레지스트층을 제거하는 레지스트층 제거 단계와, 상기 실리콘에 전체적으로 불순물을 도핑하는 불순물 도핑 단계, 및 검출 대상 물질과 반응하는 수용기를 상기 나노 갭에 위치시키는 수용기 부착 단계를 포함한다.
나노 갭, 센서, 도핑, 전극Abstract translation: 根据本发明实施例的纳米间隙传感器包括源电极，漏电极，连接源电极和漏电极的沟道以及与沟道分开布置的栅极， 其中源电极，漏电极，沟道和栅电极由掺杂有相同类型材料的硅层构成。
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公开(公告)号：KR101059973B1
公开(公告)日：2011-08-26
申请号：KR1020090060308
申请日：2009-07-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 고가의 장비를 사용하지 않고도 100nm 이하 폭의 미세 패턴을 형성할 수 있는 미세 패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 미세 패턴 형성 방법은, 기판 위에 열가소성 고분자 수지로 서로간 제1 간격을 유지하는 고분자 패턴을 형성하는 단계와, 고분자 패턴을 가열하여 제1 간격보다 작은 제2 간격을 유지하는 고분자 몰드를 형성하는 단계와, 기판과 고분자 몰드 위로 패턴 대상물을 도포하는 단계와, 고분자 몰드를 리프트-오프시켜 제2 거리와 동일 폭을 가지는 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
패턴, 열가소성, 고분자, 몰드, 도포, 증착, 스퍼터링, 리프트오프Abstract translation: 本发明涉及形成精细图案的方法，该精细图案能够在不使用昂贵的设备的情况下形成宽度为100nm或更小的精细图案。 对于本发明的精细图案形成方法，以及形成其保持彼此在基板上的热塑性聚合物树脂之间的第一距离的聚合物图案，通过加热聚合物模式的聚合物模具，以保持小的第二时间间隔比所述第一距离 将图案物体施加到基底和聚合物模具上;以及剥离聚合物模具以形成具有与第二距离相同的宽度的精细图案。
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公开(公告)号：KR101049218B1
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：KR1020080095580
申请日：2008-09-29
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명은 미세 패턴 형성 방법에 관한 것으로서, 기판 준비 단계와, 상기 기판 상에 폴리머층을 도포하는 폴리머층 형성 단계와, 상기 폴리머층을 미세 패턴이 형성된 스탬프를 이용하여 가압하는 스탬프 가압 단계와, 상기 스탬프에 적용된 가압력을 제거하는 가압력 제거 단계와, 상기 폴리머층을 경화시키는 폴리머층 경화 단계, 및 상기 스탬프를 상기 폴리머층에서 분리시키는 스탬프 분리 단계를 포함한다.
이와 같이 본 발명에 따르면 스탬프에 적용된 가압력을 제거하고 스탬프를 복원시킴으로써 정밀한 미세 패턴을 정확하게 형성할 수 있다.
미세 패턴, 가압력, 스탬프, 폴리머층-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110003080A
公开(公告)日：2011-01-11
申请号：KR1020090060681
申请日：2009-07-03
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H01L51/5262 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: An organic light emitting diode and a manufacturing method thereof are provided to improve the light extraction efficiency of the guided light by forming the metal nano pattern which is filled with the nano metal colloid on a area near the organic light emitting layer. CONSTITUTION: A resin thin film layer(150) is formed on a substrate(110). A nano pattern of alternating a nano post and a nano hole is formed on the top of the resin thin film. The nano metal colloid(160) is filled within the nano hole. The filled nano metal colloid is frozen. A positive electrode(120) is formed on the resin thin film layer.
Abstract translation: 目的：提供一种有机发光二极管及其制造方法，通过在有机发光层附近的区域形成填充有纳米金属胶体的金属纳米图案来提高导光的光提取效率。 构成：在基板（110）上形成树脂薄膜层（150）。 在树脂薄膜的顶部形成有交替纳米柱和纳米孔的纳米图案。 纳米金属胶体（160）填充在纳米孔内。 填充的纳米金属胶体被冷冻。 在树脂薄膜层上形成正极（120）。
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公开(公告)号：KR101000120B1
公开(公告)日：2010-12-10
申请号：KR1020080068648
申请日：2008-07-15
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 광추출 향상을 위한 나노 패턴을 불규칙하게 형성함으로써, 규칙적인 나노 패턴 표면에서 전반사에 의해 영상 번짐 현상이 일어나는 문제점을 개선한 불규칙 나노 패턴을 가지는 디스플레이 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
이를 위한, 본 발명의 불규칙 나노 패턴을 가지는 디스플레이 소자는, 제 1 전극과 제 2 전극 및 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성되며 발광물질을 포함하여 이루어지는 발광부를 포함하는 유기발광 소자에 있어서, 상기 제 1 전극의 일면에 형성되며 불규칙한 나노 구조를 가지는 광결정 패턴을 포함한다.
불규칙 나노 패턴, 디스플레이, 유기발광, 광결정-
公开(公告)号：KR100988647B1
公开(公告)日：2010-10-18
申请号：KR1020080094233
申请日：2008-09-25
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
Abstract: 본 발명에 따른 미세 패턴 형성 임프린팅 방법은 대면적 미세 패턴을 용이하게 형성할 수 있도록 기판 상에 레진을 토출하는 레진 토출 단계와, 상기 기판 상에 미세 패턴이 형성된 스탬프를 위치시키는 스탬프 설치 단계와, 가압장치를 이용하여 상기 스탬프의 미세 패턴에 레진을 충진하는 스탬프 가압 단계, 및 상기 레진을 경화시키는 레진 경화 단계를 포함하며, 상기 가압장치는 복수개의 가압유닛들을 포함하고, 상기 스탬프 가압 단계는 상기 스탬프의 중앙에 배치된 가압유닛부터 외측에 배치된 가압유닛까지 순차적으로 상기 스탬프를 가압한다.
미세 패턴, 가압력, 스탬프, 가압유닛-
公开(公告)号：KR100978366B1
公开(公告)日：2010-08-26
申请号：KR1020090051029
申请日：2009-06-09
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/308
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a stamp for nano imprinting is provided to use a polymer nanoparticle for producing a nanopattern using the difference of the solubility coefficient. CONSTITUTION: A manufacturing method of a stamp for nano imprinting comprises the following steps: laminating a polymer nanoparticle(111), a polymer matrix(121), and a mixed solution(130) on a substrate(140)(a); removing a solvent form the mixed solution to form a thin film(150)(b); etching the polymer matrix to expose the polymer nanoparitcle(c); dissolving the exposed nanoparitcle to form a nanopattern(153)(d); and laminating a metal material on the nanopattern to make the stamp(160) for nano imprinting(e).
Abstract translation: 目的：提供纳米压印用印模的制造方法，使用聚合物纳米粒子制造纳米图案，使用溶解度系数的差异。 构成：用于纳米压印的印模的制造方法包括以下步骤：在基材（140）（a）上层压聚合物纳米颗粒（111），聚合物基质（121）和混合溶液（130）; 从所述混合溶液中除去溶剂以形成薄膜（150）（b）; 蚀刻聚合物基质以暴露聚合物纳米颗粒（c）; 溶解暴露的纳米颗粒以形成纳米图案（153）（d）; 以及将纳米图案上的金属材料层压以制造用于纳米压印的印模（160）（e）。
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公开(公告)号：KR1020100091751A
公开(公告)日：2010-08-19
申请号：KR1020090011089
申请日：2009-02-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/336 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: Since being included of the horizontal nanogap in which nanogap between the gate electrode and sensor and the manufacturing method thereof silver channel having nanogap are horizontally separated, the collapse phenomenon of nanogap can be prevented. CONSTITUTION: The nano gap sensor comprises the source electrode(182), the drain electrode(184), and channel and gate electrodes. Channel interlinks the source electrode and drain electrode. The gate electrode is arranged to be separated with channel and be contiguous. It is included of the source electrode, drain electrode, and the silicon layer. The silicon layer channel and gate electrode are doped to the same material of type.
Abstract translation: 目的：由于在栅电极和传感器之间的纳米间隙的水平纳米凹槽被包括，并且具有纳米凹槽的银通道的制造方法被水平分离，所以可以防止纳米隙的崩溃现象。 构成：纳米间隙传感器包括源电极（182），漏电极（184）以及沟道和栅电极。 通道将源电极和漏电极互连。 栅电极被布置为与通道分离并且是连续的。 它包括在源电极，漏电极和硅层中。 硅层沟道和栅电极被掺杂成相同的类型的材料。
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