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公开(公告)号：KR1020110125976A
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020100045639
申请日：2010-05-14
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01N21/958 , G01N21/3563 , G01N21/88
Abstract: PURPOSE: An infrared inspecting device using LED is provided to minimize the generation of a hot spot since light emitting from a substrate is reflected from the inside of a housing by the slope reflecting surface of the housing and is radiated to a target through an opening, so the light emitting from the opening is uniformly irradiated. CONSTITUTION: An infrared inspecting device using LED comprises a substrate(120), a housing(110), and a camera(140). A plurality of LEDs emitting light are arranged on the substrate. The housing comprises a space for holding the substrate. An opening(114), through which light emitting from the substrate passes, is formed on one side of the housing. A reflecting slope surface(112) is formed on the inner side of the housing. The reflecting slope surface slopes to the opening to uniformly light a target on the side with the opening, reflects light emitting from the substrate, and sends it to the opening.
Abstract translation: 目的：提供使用LED的红外检测装置，以便最小化热点的产生，因为从基板发出的光由壳体的斜面反射表面从壳体的内部反射并通过开口辐射到目标， 所以从开口发出的光被均匀地照射。 构成：使用LED的红外检测装置包括基板（120），壳体（110）和照相机（140）。 发射光的多个LED布置在基板上。 壳体包括用于保持基板的空间。 在壳体的一侧上形成有从基板发出的光通过的开口（114）。 反射斜面（112）形成在壳体的内侧。 反射斜面朝向开口倾斜，使具有开口的一侧上的目标物均匀地发光，反射从基板发射的光，并将其发送到开口。
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公开(公告)号：KR1020100024689A
公开(公告)日：2010-03-08
申请号：KR1020080083370
申请日：2008-08-26
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: G03F7/2059 , B82Y40/00 , G03F7/70383 , G03F7/70791 , H01J37/3174 , Y10S430/143
Abstract: PURPOSE: A device for forming a large area pattern using an electronic beam and a method for controlling the same are provided to realize a large area electronic circuit pattern by forming the larger size of an electronic circuit pattern with an electron beam emission device. CONSTITUTION: An electron beam emission device(110) injects an electron beam. A fixing unit(130) supports an object to be patterned(120) to be rotatable. A transport unit(140) transfer linearly the object to be patterned to the direction of a rotation shaft. The object to be patterned is a cylindrical shape. The fixing unit fixes the object to be patterned to be detachable.
Abstract translation: 目的：提供一种使用电子束形成大面积图形的装置及其控制方法，以通过用电子束发射装置形成较大尺寸的电子电路图案来实现大面积的电子电路图案。 构成：电子束发射装置（110）注入电子束。 固定单元（130）支撑待图案化的物体（120）可转动。 运输单元（140）将要被图案化的物体线性转移到旋转轴的方向。 要被图案化的物体是圆柱形的。 固定单元将待图案化的物体固定成可拆卸。
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公开(公告)号：KR100777803B1
公开(公告)日：2007-11-22
申请号：KR1020060018822
申请日：2006-02-27
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법에 관한 것으로, 그 목적은 선반의 가공방식과 수직형 머시닝 센터의 가공방식을 복합하여 다양한 분야에 응용될 수 있도록 하는 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 대상물이 놓여져 고정되는 공간을 제공함과 더불어 고정된 대상물을 미소변위로 이동시키는 스테이지와, 상기 대상물로 이온빔을 조사하는 이온빔 조사부가 구비된 집속이온빔 가공장치에 있어서, 상기 스테이지의 상부 양측에 설치되어 스테이지와는 별도로 대상물을 고정하고, 고정된 대상물이 상기 이온빔 조사부의 수직 하단부에서 수평한 회전축을 갖도록 대상물을 회전시키며, 상호 대칭구조를 갖는 한쌍의 회전용 고정부들을 구비하는 집속이온빔의 복합형 가공장치 및 이를 이용한 가공방법에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
스테이지, 이온빔 조사부, 회전용 고정부, 척, 구동모터-
公开(公告)号：KR100725990B1
公开(公告)日：2007-06-08
申请号：KR1020070011923
申请日：2007-02-06
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: A nano stage apparatus is provided to realize a high resolving power by embodying a dual operation structure using a piezo actuator on at least one end portion of a driving shaft. A nano stage apparatus includes a stage capable of moving according to the rotation of a driving shaft(110). Piezo actuators(120a,120b) are installed on the driving shaft, so that the stage is capable of being moved by using a dual operation structure of the driving shaft and piezo actuators. The piezo actuators are installed between the driving shaft and a fixing portion for assisting the rotation of the driving shaft. The piezo actuator has a groove for inserting the driving shaft and a bearing for fixing the driving shaft.
Abstract translation: 通过在驱动轴的至少一个端部上实施使用压电致动器的双操作结构来提供纳米级装置以实现高分辨率。 纳米台设备包括能够根据驱动轴（110）的旋转而移动的台。 压电致动器（120a，120b）安装在驱动轴上，使得该平台能够通过驱动轴和压电致动器的双重操作结构而移动。 压电致动器安装在驱动轴和用于辅助驱动轴旋转的固定部分之间。 压电致动器具有用于插入驱动轴的槽和用于固定驱动轴的轴承。
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公开(公告)号：KR20180046412A
公开(公告)日：2018-05-09
申请号：KR20160140942
申请日：2016-10-27
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B23K1/005 , B23K1/00 , B23K3/08 , B23K103/18
CPC classification number: B23K1/0056 , B23K1/0008 , B23K3/085 , B23K2103/18
Abstract: 본발명은수율을극대화하고, 공정시간을단축할수 있으며, 작업대상물의소재종류에관계없이브레이징할수 있는전자빔브레이징장치및 전자빔을이용한브레이징방법에관한것으로서, 본발명의일 형태에따르면, 제1모재와제2모재사이에필러를위치시키고, 이를가열하여상기필러를녹여상기제1모재와제2모재를접합시키는브레이징방법에있어서, 상기제1모재와제2모재의열팽창량이동일하도록전자빔을상기제1모재와제2모재에조사하는예열단계, 예열된상기제1모재와제2모재사이의필러가녹도록전자빔을조사하는접합단계, 필러가녹아접합된제1모재와제2모재를냉각시키는냉각단계를포함하는전자빔을이용한브레이징방법이개시된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160132270A
公开(公告)日：2016-11-17
申请号：KR1020150064652
申请日：2015-05-08
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명의일측면에따르면, 전자빔이가속되는공간을형성하고, 타측에가속된전자빔이방출되는방출구가형성된본체, 상기본체내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기본체내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드및 상기본체로부터방출되는전자빔의이동경로상에구비되어, 방출된전자빔에의해녹여진대상물을적층시키는적층모듈을포함하는대기용전자빔 3차원적층장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR101669400B1
公开(公告)日：2016-10-28
申请号：KR1020150064659
申请日：2015-05-08
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명의일측면에따르면, 전자빔을방출하는캐소드, 상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자빔를가속하는애노드, 대기압보다낮고일정한압력이인가되며가스가내부에투입되어플라즈마환경이형성되고, 상기캐소드와상기애노드가내부에구비되어전자빔이가속되는공간을형성하는저압하우징, 상기저압하우징과연통되고상기저압하우징에인가된압력보다높고일정한압력이인가되며, 전자빔이대기로방출되는방출구가형성된고압하우징및 상기고압하우징으로부터방출되는전자빔의이동경로상에구비되어, 전자빔에의해별도의첨가물이용융됨으로써상기첨가물을모재의표면상에첨가되도록하는클래딩모듈을포함하는대기용전자빔클래딩장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR1020160053186A
公开(公告)日：2016-05-13
申请号：KR1020140150266
申请日：2014-10-31
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H01J29/02 , H01J29/04 , H01J29/90 , H01J37/06 , H01J2229/0069
Abstract: 본출원은상세하게는전자빔방출장치의전자빔이방출되는방출구를형성하며, 방출구주위를누수없이보다안정적으로냉각시킬수 있는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원에따르면, 전자빔이가속되는공간을형성하는하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드, 상기애노드에의해가속된전자가하우징외부로방출되는방출구가중앙에형성되며, 내부에냉각수유로가형성된냉각플레이트를포함하며, 상기냉각수유로는내주면둘레에분할선또는접합선이없는연속면을형성하는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치가개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种包括冷却板的电子束发射装置，其形成发射电子束发射装置的电子束的发射端口，并且能够更加稳定地冷却发射端口的周围而不发生泄漏。 根据本申请，电子束发射装置包括：限定电子束加速的空间的壳体; 阴极，其设置在壳体的一侧并发射电子; 阳极，其从阴极朝向外壳中的另一侧间隔开，并加速从阴极发射的电子; 以及冷却板，其包括形成在其中心处的排放口和形成在其中的冷却剂通道，所述排放口被配置为将由所述阳极加速的电子发射到所述壳体的外部。 冷却剂路径形成为具有不存在分隔线或焊接线的连续的内周面。
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公开(公告)号：KR1020160029967A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：KR1020140119186
申请日：2014-09-05
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H01J29/02 , H01J29/04 , H01J2229/4803 , H01J2229/4831
Abstract: 본출원은전자빔방출장치내에서반사되거나산란되는전자가하우징내에서재반사되는것을차단하여보다안정적인작동이가능한반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원의일 실시예에따르면전자빔이가속되는공간을형성하고, 타측에가속된전자빔이방출되는방출구가형성된하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드및 상기하우징내측에배치되며, 상기하우징의방출구주위로부터애노드측으로연장되도록형성되고, 상기하우징의방출구주위에서반사된 2차전자및 산란전자가하우징내측으로반사되는것을차단하는반사전자차단구조체를포함하는반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치가개시된다.
Abstract translation: 本发明涉及具有反射电子阻挡结构的电子束发射装置，其可以通过防止在电子束发射装置中反射或散射的电子被再反射在壳体中而更稳定地操作。 根据本发明的实施例，具有反射电子阻挡结构的电子束发射装置包括：形成电子束加速的空间的壳体和在另一侧上的发射孔， 发射加速电子束; 阴极，其设置在壳体的一侧并发射电子; 阳极，其被定位成与壳体中的阴极的另一侧间隔开，并且加速从阴极发射的电子; 以及反射电子阻挡结构，其被布置在壳体的内侧并且形成为从壳体的发射孔的周围朝向阳极延伸，并且防止从发射孔的周围反射的散射的电极和二次电子 壳体被反射到壳体的内侧。
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公开(公告)号：KR101514279B1
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：KR1020130122312
申请日：2013-10-15
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: B23Q11/1076 , B05B9/002 , B05B9/03 , B05B12/00
Abstract: 본발명에따른히팅부가구비된분사호스를포함하는유체분사장치는, 유체를분사하는유체분사장치에있어서, 액체질소가저장되는질소탱크, 절삭유가저장되는절삭유탱크및 상기액체질소가유동되는제1유로와, 상기절삭유가유동되며, 상기제1유로의둘레를감싸는형태로형성된제2유로를포함하고, 상기절삭유및 상기액체질소중 어느하나이상을선택적으로분사하도록형성되며, 상기제2유로의둘레에는상기제2유로를승온시키는히팅부가구비된분사호스를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及具有加热部件的喷射软管的流体喷射装置。 用于喷射流体的流体喷射装置包括：储存有液氮的氮气罐; 切割油储存在切割油罐中; 液氮流过的第一流路; 以及切割油流过的第二流动路径，其中通过围绕第一流动路径的周边形成第二流动路径; 以及形成为选择性地喷射切削油和液氮中的至少一个的喷射软管，其中用于加热第二流路的加热部分包括在第二流路的周边中。
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