公开(公告)号：CN108140575A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680061298.4

申请日：2016-06-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： L·多尔夫 ,  K·S·柯林斯 ,  S·拉乌夫 ,  K·拉马斯瓦米 ,  J·D·卡达希 ,  H·塔瓦索里 ,  O·瑞吉尔曼 ,  Y·张

IPC: H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/67 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32174 ,  H01J37/06 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32532 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/334 ,  H01J2237/3348 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31116

Abstract: 本公开关于操作等离子体反应器的方法，该等离子体反应器具有电子束等离子体源以独立调整电子束密度、等离子体离子能量及自由基总数。本公开进一步关于用于等离子体反应器的电子束源，该等离子体反应器具有RF驱动电极以产生电子束。

公开(公告)号：CN105304440B

公开(公告)日：2018-04-03

申请号：CN201510256446.5

申请日：2015-05-14

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 佐藤正辉

IPC: H01J37/08 ,  H01J27/14

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J27/08 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/082

Abstract: 本发明提供一种能够减少阴极的维护频率的离子发生装置及热电子放出部。本发明的离子发生装置具备：电弧室(12)；阴极(30)，从电弧室(12)的内部向外轴向延伸，且向电弧室内放出热电子；筒状热反射器(56)，设置于阴极(30)的径向外侧，且沿轴向延伸；及狭小结构(60)，在夹在阴极(30)与热反射器(56)之间的间隙(58)，径向宽度WB在轴向规定位置变小。

公开(公告)号：CN104603078B

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201380046452.7

申请日：2013-03-12

Applicant: 利拉茨有限公司

Inventor： V·利索特申克

IPC: C03C23/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J29/70 ,  H01J3/30 ,  H01J29/04 ,  H01J29/48 ,  H01J31/00 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/15 ,  H01J37/305 ,  H01J2237/0213 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06308

Abstract: 本发明涉及一种用于产生电子束(4)的装置(20)，其包括热阴极(1)、阴极电极(2)、具有开口(6)的阳极电极(3)，由所述装置产生的电子束(4)可以穿过该开口，其中，在装置(20)运行时，在阴极电极(2)和阳极电极(3)之间施加有用于加速从热阴极(1)射出的电子的电压，所述装置还包括偏转机构，该偏转机构可以偏转穿过阳极电极(3)的开口的电子束(4)，其中，偏转机构包括至少一个偏转电极(8、12)，在所述偏转电极上电子束(4)可以被反射和/或所述偏转电极具有相对于电子束(4)的传播方向倾斜的偏转面(9)并且所述至少一个偏转电极(8、12)处于与阴极电极(2)相同的电势上。

公开(公告)号：CN107636792A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201680029882.1

申请日：2016-01-06

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 赵福来 ,  朴寅用

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/06

CPC classification number: H01J37/065 ,  H01J37/06 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06341

Abstract: 本发明涉及一种易于位置调节的电子枪及包括其的电子显微镜，电子枪改善了真空结构，以便在电子枪的灯丝块(filament block)或电子尖端的中心轴与阳极及聚焦透镜的中心轴机械地错位时，即使不具备用于保持真空的波纹管，也能够使得电子枪的灯丝块或电子尖端移动，为了使得电子束的中心轴与阳极板或二次阳极对齐，阳极板与维纳尔圆柱电极相面对，二次阳极与场发射电子源及一次阳极并排配置，即使不设置包围并密封电子束产生部的波纹管，也能够移动双重O环密封部或磁性流体密封部上的上面平板，从而不仅电子束排列容易，而且结构简化、组装以及分解容易，使用能够再次使用的橡胶O环，并且与不锈钢相比，在保持超高真空方面上没有差别，将相对磁导率值大的软钢用作腔室，从而即使不设置高导磁合金或坡莫合金等包围电子束产生部的追加的构成，也能够防止杂散磁场流入，从而不仅制造容易，而且因没有采用复杂的构成而具有经济性。

公开(公告)号：CN107078011A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580052516.3

申请日：2015-10-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 木村嘉伸 ,  津野夏规 ,  扬村寿英 ,  小柏刚 ,  富泽淳一郎

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/24507

Abstract: 提供一种能够以对试样的较少的带电粒子照射量获得高SN比的带电粒子束装置。带电粒子束装置具备带电粒子检测装置，所述带电粒子检测装置在一个一次电子入射到试样时的放出电子的检测(一个事件)中，检测出模拟脉冲波形信号(110)，将所述模拟脉冲波形信号(110)变换为数字信号(111)，使用与一个电子相当的单位波峰对所述数字信号(111)进行波峰区别(112)，并作为多值计数值而输出。

公开(公告)号：CN107039226A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710020518.5

申请日：2017-01-12

Applicant: 株式会社爱德万测试

Inventor： 滨口新一 ,  田中仁 ,  得能敦 ,  小岛信一 ,  山田章夫

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/22 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/3177 ,  H01J37/045 ,  H01J37/065 ,  H01J37/09 ,  H01J37/10 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/0835 ,  H01J2237/31754 ,  H01J37/226 ,  G03F7/70808 ,  H01J37/06 ,  H01J37/12 ,  H01J37/1478 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/12

Abstract: 本发明提供一种曝光装置。一种曝光装置(100)，其具有形成试样上的照射位置不同的多个带电粒子束的形成部(122)，形成部(122)具有：粒子源(20)，其从在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的放射区域(21)放射带电粒子束；孔径阵列元件(60)，其在长边方向和与该长边方向垂直的短边方向上具有不同宽度的被照明区域(61)上配置有多个开口(62)；照明透镜(30、50)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间；以及束截面变形元件(40)，其设置于粒子源(20)与孔径阵列元件(60)之间，通过磁场或电场的作用使带电粒子束的截面形状变形成各向异性的形状。

公开(公告)号：CN106463322A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 江欣荣 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: 一个实施例涉及一种双维恩过滤器单色器。第一维恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二维恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN105895478A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610481338.2

申请日：2016-06-24

Applicant: 桂林狮达机电技术工程有限公司

Inventor： 黄小东 ,  韦寿祺 ,  费翔

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/07

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/07

Abstract: 本发明公开一种具备抑制电子枪放电危害功能的电子束系统，由高压油箱、高压电缆和电子枪组成。油箱电缆头和电子枪电缆头通过高压电缆相连。高压油箱的油箱外壳内还设有油箱抑制装置，该油箱抑制装置呈环状，且油箱导线从该油箱抑制装置的中心穿过；和/或电子枪的电子枪外壳内还设有电子枪抑制装置，该电子枪抑制装置呈环状，且电子枪导线从该电子枪抑制装置的中心穿过。本发明通过在电子枪高压入线端和/或高压油箱高压出线端加入抑制装置来提高抑制电子枪放电危害的效果。

公开(公告)号：CN105702545A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201610220043.X

申请日：2016-04-07

Applicant: 桂林狮达机电技术工程有限公司

Inventor： 韦寿祺 ,  朱国坤 ,  黄小东 ,  张建飞 ,  谢桂红 ,  覃胤鸿 ,  黄兴泉

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/065

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/065

Abstract: 本发明公开一种带有聚焦补偿功能的电子束快速成型机电子枪系统，其不仅采用了偏扫绕组来产生垂直于电子束飞行参考方向的磁场，而且还采用了聚焦补偿绕组来产生平行于电子束飞行参考方向的磁场。偏扫装置三绕组的轴线相互垂直，三绕组间不存在互感效应。聚焦补偿绕组的驱动电源采用频率一阶补偿方式，适当选择聚焦补偿绕组的驱动电源的控制电路参数，使得聚焦补偿绕组励磁电流的频率补偿基本抵消铁磁损耗电流分量的影响，从而保证静态和动态的电子束焦点补偿效果的一致性。

公开(公告)号：CN103782364B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201280041170.3

申请日：2012-07-04

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大泷智久 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/28 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种带电粒子线装置，其通过使用于分离大气压空间与减压空间的薄膜周边部的结构最适化，能在大气环境或气体环境中观察试样（6）。该带电粒子线装置具备：真空排气泵（4），其对第一机箱（7）进行排气；检测器（3），其在第一机箱（7）内检测由照射得到的带电粒子线；隔壁部，其构成为至少第一机箱（7）或第二机箱（8）的任一部分、或不同体，对第一机箱（7）内与第二机箱（8）内之间的至少一部分进行分隔；开口部（10a），其设在隔壁部上，带电粒子照射部侧的开口面积比试样（6）侧的开口面积大；以及薄膜（13），其覆盖开口部（10a）的试样（6）侧，使一次带电粒子线及带电粒子线透过或通过。