Abstract:
본 발명은 반도체 박막 제조용 반응기 및 그를 이용한 반도체 박막 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 반도체 박막 제조용 반응기는 내부에 기판이 수용될 수 있는 공간이 형성된 상태로 상부가 개방되며, 유체가 유입될 수 있는 유입구 및 유출될 수 있는 유출구가 형성된 용기; 상기 용기의 개방된 상부를 덮는 덮개; 및 상기 용기의 하부에 위치하여 기판을 가열하기 위해 상기 용기 측으로 빛을 조사하는 광조사부를 포함하고, 상기 용기의 재질은 빛을 투과할 수 있는 것임을 특징으로 한다. 그러므로 용기는 빛을 투과할 수 있고, 기판은 불투명하게 제작되기 때문에 용기 측으로 빛을 조사할 때, 용기 자체는 가열 되지 않고, 불투명한 기판만 가열되어 기판에 박막을 균일하게 형성할 수 있다는 효과가 있다.
Abstract:
PURPOSE: An oxygen selective absorbent with rapid absorbent rate and a method for manufacturing the same are provided to rapidly absorb oxygen from atmosphere. CONSTITUTION: A method for manufacturing an oxygen selective absorbent with rapid absorbent rate includes the following: BaMg(CO_3)_2 particles or BaMg(CO_3)_2 particles with MgCO_3 or Mg(OH)_2 attached on the external sides are prepared; and the particles are fired at high temperatures. In the BaMg(CO_3)_2 particles with MgCO_3 or Mg(OH)_2 attached on the external sides, the molar ratio of the MgCO_3 or Mg(OH)_2 to BaMg(CO_3)_2 is 1 : 10. The BaMg(CO_3)_2 particles are prepared by dispersing the mixture of barium containing compounds and carbonate in distilled water and adding a magnesium carbonate precursor in the dispersed solution. [Reference numerals] (AA) Absorbed amount/saturated absorbed amount; (BB) Time(minutes); (CC) Comparative example 1; (DD) Example 1; (EE) Example 2
Abstract:
PURPOSE: Continuous method and apparatus for preparing hydrocarbon using biological originated lipid and hydrotalcite are provided to produce the hydrocarbon without using hydrogen, and to reduce the operational costs. CONSTITUTION: A continuous method for preparing hydrocarbon using biological originated lipid and hydrotalcite comprises the following steps: supplying raw materials selected from triglyceride, fatty acid, or fatty acid derivative into a first reactor(2); contacting the raw material in the first reactor with a hydrotalcite catalyst to obtain the hydrocarbon; recycling the used hydrotalcite after the termination of the reaction inside the first reactor; supplying the raw materials into a second reactor(3) during the recycling process of the hydrotalcite; contacting the raw materials in the second reactor with the hydrotalcite catalyst to obtain the hydrocarbon; and recycling the used hydrotalcite after the termination of the reaction inside the second reactor, and repeating previous steps.
Abstract:
PURPOSE: Substitution-desorption process for light olefin separation is provide to collect olefin in gas exhausted from an olefin cleansing step by introducing a recovery step before or after an adsorption step, thereby securing olefin collecting ratio higher than existing processes. CONSTITUTION: Substitution-desorption process for light olefin separation from olefin-containing mixed gas comprises: a step of adsorption olefin by introducing olefin-containing mixed gas into an adsorption bed; a step of collecting olefin by introducing olefin-containing gas exhausted from an olefin cleansing step to the adsorption bed; a step of increasing the purity of olefin in the adsorption bed with cleansing paraffin and other gases by introducing olefin of high concentration into the adsorption bed; and a step of manufacturing olefin of high purity by desorbing olefin by introducing desorbing agent to the adsorption bed.
Abstract:
PURPOSE: A recovery system of carbon dioxide using a TSA process of the combustible waste gas for increasing the removal ratio of the carbon dioxide is provided to recollect the carbon dioxide by using the recovery system in the combustible waste gas. CONSTITUTION: A dried combustion flue gas puts into an adsorption tower. The exhaustion of the charged nitrogen contained gas is charged in the absorption of the carbon dioxide. A carbon dioxide selectivity absorbent is filled in the absorption tower. The gas is consecutively recollected within the adsorption tower. The heater attaches and detaches the carbon dioxide with the rising of the temperature of the gas. The carbon dioxide is removed by the discharged nitrogen contained gas.
Abstract:
본 발명은 수소 정제를 위한 압력변동흡착(PSA:Pressure Swing Adsorption) 장치 및 이를 이용한 수소 정제 방법에 관한 것이다. 본 발명의 압력변동흡착장치를 이용한 수소 정제 방법은, 원료 공급관과 연결된 다수개의 흡착탑과, 상기 흡착탑에서 정제된 수소가 포집되는 수소 저장조와, 상기 각 흡착탑에 연결된 다수의 관들을 개폐하는 밸브로 이루어진 압력변동흡착장치에 있어서, 상기 흡착탑은, 그 내부에 상기 원료 공급관을 통해 공급되는 수소 혼합기체에 포함되어 있는 이산화탄소와 메탄 및 일산화탄소의 제거가 가능한 활성탄과 제올라이트 13X, 제올라이트 5A 및 제올라이트 5A가 아닌 이산화탄소 선택성 흡착제의 흡착제가 다층 구조로 충진되고, 상기 흡착탑 내의 흡착제에 순차적으로 흡착되어 배출되는 수소 중에 일산화탄소 함유량을 최소로 하는 것을 기술적 특징으로 하며, 정제된 수소 제품 내의 일산화탄소 함유량을 10ppm 이하로 낮춰 고순도의 수소 제품을 생산에 용이한 이점이 있다. 수소 정제(hydrogen purification), 흡착제(adsorbent), 일산화탄소 선택성 흡착제(carbon monoxide selective adsorbent), 압력변동흡착(pressure swing adsorption)