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公开(公告)号：KR100377186B1
公开(公告)日：2003-03-28
申请号：KR1019990031781
申请日：1999-08-03
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/10
Abstract: PURPOSE: A fabrication method of polymer arrayed waveguide wavelength multiplexing/demultiplexing optical element is provided to be simplify in its process by using polymer material and utilize a silicon nitride thin film as a dry etching mask, thereby reducing the insertion loss and cross talk rate of the elements. CONSTITUTION: A polymer waveguide lower clad layer(22) and a polymer waveguide core layer(24) are sequentially coated on a semiconductor substrate(20). Then, an insulation film pattern for an etching mask is formed on the resultant. Next, a portion of the polymer core layer(24) is etched to form a polymer waveguide pattern by using the insulation film pattern as a dry etching mask. Finally, a polymer waveguide upper clad layer(28) is formed on the resultant(20).
Abstract translation: 目的：提供一种聚合物阵列波导波长多路复用/多路分离光学元件的制造方法，通过使用聚合物材料并利用氮化硅薄膜作为干法蚀刻掩模来简化其工艺过程，从而降低了插入损耗和串扰率 要素。 构成：聚合物波导下包覆层（22）和聚合物波导芯层（24）依次涂覆在半导体衬底（20）上。 然后，在所得物上形成用于蚀刻掩模的绝缘膜图案。 接下来，通过使用绝缘膜图案作为干法蚀刻掩模来蚀刻聚合物芯层（24）的一部分以形成聚合物波导图案。 最后，在合成物（20）上形成聚合物波导上包覆层（28）。
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42.发明授权
公开(公告)号：KR100346780B1
公开(公告)日：2002-08-01
申请号：KR1019990029628
申请日：1999-07-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02B6/28
Abstract: 본발명은 GaAs 기판을이용한 InGaAs 광검출기가단일기판상에집적된구조의폴리머도파로열격자파장분할광소자및 그제작방법에관한것이다. 본발명에따른 GaAs 기판을사용한광검출기가집적된폴리머도파로열격자파장분할광소자는 1xN, Nx1 또는 NxN으로구성된입출력도파로와, 상기입력도파로를통해들어온광신호를분산시키는입력평판도파로와, 상기분산된광신호들이집속되는출력평판도파로와, 상기두 개의평판도파로사이에정렬되어신호를전달하는도파로열격자와, 상기출력도파로에집적되어상기출력도파로에서분리된각각의파장신호의광세기를검출하는광검출기를구비한다. 그리고, 본발명에서제안된 GaAs 기판을이용한폴리머도파로열격자파장분할광소자를제작하면 InGaAs 광검출기를폴리머도파로열격자파장분할광소자의출력단도파로부위에집적시킬수가있고, 폴리머광소자의잔류열응력을 Si 기판을사용하는경우에비해저감시킬수가있어, 편광의존성등의소자의성능이향상된다.
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公开(公告)号：KR100299662B1
公开(公告)日：2001-10-27
申请号：KR1019980036776
申请日：1998-09-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04B10/00 , H04B10/2581
Abstract: 본 발명은 파장분할 다중화(WDM) 방법을 이용한 광통신 시스템에서 필요한 광소자의 일종인 열광학 가변 파장 필터 제작방법에 관한 것으로서, 불소 치환된 폴리머 물질을 사용하여 폴리머 광도파로를 형성하고, 상기 광도파로의 유효굴절률을 조절하기 위해 상기 폴리머 광도파로 위에 열광학 가변전극을 형성하고, 열광학 가변전극을 이용하여 반사 광신호의 대역을 변환시키기 위해 상기 광도파로 내에 폴리머 브래그 격자를 집적함으로써, 통과신호의 파장대역폭이 매우 좁고 인접한 광신호와의 누화가 적으며, 열광학 특성을 이용한 파장 가변 특성에 따라 안정성이 높고 넓은 가변 범위를 제공하는 장점이 있으며, 폴리머 광도파로를 이용한 광소자 기술은 향후 저가의 광소자 제작에 매우 적합한 기술로서 경제성 및 시장성면에서 잇점을 가질 수 � ��는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100270320B1
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019970070566
申请日：1997-12-19
IPC: G02B5/18
Abstract: PURPOSE: A wavelength division optical waveguide device is provided to have a smaller size and a smaller insertion loss than a wavelength division optical waveguide using a conventional curved optical waveguide column lattice. CONSTITUTION: A wavelength division optical waveguide device includes an input flat waveguide(12), an output flat waveguide(13), and a plurality of waveguide columns aligned between the input flat waveguide and the output flat waveguide for transmitting optical signals(17). The plurality of waveguide columns each includes the first total reflection waveguide etch face(16) for totally reflecting the optical signals(17) inputted from the input flat waveguide(12) to a straight waveguide, the straight waveguide, and the second total reflection waveguide etch face(16) for totally reflecting the optical signals(17) inputted from the straight waveguide to transmit them to the output flat waveguide(13).
Abstract translation: 目的：使用传统的弯曲光波导列栅格，波长分割光波导器件具有比使用波分分离光波导的更小的尺寸和更小的插入损耗。 构成：波长分割光波导器件包括输入平面波导（12），输出平面波导（13）和排列在输入平坦波导和输出平坦波导之间的多个波导管，用于传输光信号（17）。 多个波导管柱每个包括第一全反射波导蚀刻面（16），用于将从输入平坦波导（12）输入的光信号（17）全反射到直波导，直波导和第二全反射波导 蚀刻面（16），用于全反射从直波导输入的光信号（17），以将它们传输到输出平坦波导（13）。
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公开(公告)号：KR1020000033406A
公开(公告)日：2000-06-15
申请号：KR1019980050251
申请日：1998-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/00
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an optical wave guide is provided by using the principle that a refractivity is increased according to diffusion of metal ions into a polymer. CONSTITUTION: A method for fabricating an optical wave guide by metal diffusion comprises a first step for depositing a polymer core layer(2) on a substrate(1) according to spin coating; a second step for depositing a metal layer(3) by using a thermal deposition unit; a third step for forming a metal layer(4) by pattering the metal layer(3) according to an expected optical wave guide; a fourth step for forming an optical wave guide(6) by heating the above-formed layers on a heat plate(5) at a predetermined temperature for a predetermined time in order to diffuse metal ions into a polymer and remove the residual metal; and a fifth step for fabricating a polymer optical wave guide by forming an upper cladding polymer thin film(7) according to spin coating. As a result, refractivity can be minutely controlled in a wide range, and a sectional size of the optical wave guide can be easily adjusted, thereby fabricating various polymer optical devices.
Abstract translation: 目的：通过使用根据金属离子扩散到聚合物中的折射率增加的原理来提供制造光波导的方法。 构成：通过金属扩散制造光波导的方法包括：根据旋涂在基底（1）上沉积聚合物芯层（2）的第一步骤; 用于通过使用热沉积单元沉积金属层（3）的第二步骤; 第三步骤，通过根据期望的光波导图形图案来形成金属层（4）; 用于通过在预定温度下将加热板（5）上的上述层加热预定时间以形成光波导（6）以便将金属离子扩散到聚合物中并除去残余金属的第四步骤; 以及通过根据旋涂形成上包层聚合物薄膜（7）来制造聚合物光波导的第五步骤。 结果，可以在宽范围内精细地控制折射率，并且可以容易地调节光波导的截面尺寸，从而制造各种聚合物光学器件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020000018925A
公开(公告)日：2000-04-06
申请号：KR1019980036776
申请日：1998-09-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04B10/00 , H04B10/2581
CPC classification number: G02F1/065 , G02F1/0147 , G02F2201/307
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a thermo-optical variable wavelength filter is provided to control passing wavelength by using a polymer optical wave guide and a polymer brag lattice. CONSTITUTION: A method for fabricating a thermo-optical variable wavelength filter comprises the steps of forming a polymer optical wave guide on a semiconductor substrate using polymer material, forming a polymer brag lattice on the optical wave guide using O2 RIE and polymer spin coding, and forming a thermo-optical variable electrode on the polymer optical wave guide where the brag lattice is integrated.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造热光可变波长滤光器的方法，以通过使用聚合物光波导和聚合物布拉格格来控制通过波长。 构成：制造热光可变波长滤波器的方法包括以下步骤：使用聚合物材料在半导体衬底上形成聚合物光波导，使用O 2 RIE和聚合物自旋编码在光波导上形成聚合物布拉格晶格;以及 在聚合物光波导上形成热电可变电极，其中布满玻璃晶格一体化。
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公开(公告)号：KR100248428B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019970039413
申请日：1997-08-19
IPC: G02F1/295
Abstract: 본 발명은 광학적 복굴절성이 큰 전기 광학 폴리머를 이용한 편광 조절기 제조방법에 관한 것으로서, 실리콘(Si) 기판 위에 금을 열증착하여 하부 전극을 형성하는 제 1 공정과, 상기 하부 전극 위에 코아층 폴리머보다 굴절률이 낮고 복굴절성이 없는 폴리머를 코팅하여 하부 클래딩을 형성하는 제 2 공정과, 상기 하부 클래딩층 위에 복굴절성이 큰 전기광학 폴리머를 코팅하고 열건조한 후, 활성 이온 식각법과 리쏘그라피로 원하는 패턴을 형성하여 광도파로를 형성하는 제 3 공정과, 상기 광도파로 위에 코아층 폴리머보다 굴절률이 낮고 복굴절성이 없는 폴리머를 코팅하여 상부 클래딩을 형성하는 제 4 공정과, 상기 상부 클래딩층 위에 폴링과 상부 전극을 위해서, 금을 열증착하여 상부 전극용 금을 형성하는 제 5 공정과, 상기 형성된 상부 전극용 금 과 하부 전극을 이용하여 유리전이 온도에서 전계를 가하여 폴링하며 상부에 증착된 금을 리쏘그라피로 원하는 패턴을 형성하는 제 6 공정과, 실리콘(Si) 절단면을 이용한 단면 절개법이나 단면 연마 방법을 이용하여 광파의 입출력을 위한 단면을 형성한 후 양 단면에 광섬유를 부착하는 제 7 공정으로 구성되어, 제작 공정이 손쉬우며, 고성능, 저가의 제품을 만들기에 유리하다.
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公开(公告)号：KR100204026B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950041514
申请日：1995-11-15
IPC: G02B6/35
CPC classification number: G02F1/3136 , G02B6/125 , G02B2006/12145 , G02B2006/12147 , G02B2006/12159
Abstract: 본 발명은 한 쌍의 광 도파로(41, 42)를 구비하는 광신호 스위칭 소자에 있어서, 상기 한 쌍의 광 도파로(41, 42)를 통하는 광신호에 광 위상변화를 별도로 주는 광 위상 변조수단(48)； 및 상기 광 위상 변조수단(48)의 입출력단 각각에 위치하여 상기 광 도파로 각각을 따라 통과하는 광신호간에 커플링을 유도하는 광 커플링수단(47, 49)을 구비하되, 상기 광 커플링수단(47, 49)에 의한 광 커플링 구간의 광 도파로는 서로 이격 간격없이 붙은 형태인 것을 특징으로 하는 광 스위칭 소자에 관한 것으로, 진행하는 광이 두 도파로가 간격이 없이 붙은 광 커플링부를 지나기 때문에 두 도파로 커플링 구간 사이에서 발생되는 오차를 서로 공유하여 공정상에 발생하는 오차를 최소한으로 감소시킬 수 있고, 두 도파로의 커플링을 DC형이나 BB형처럼 간접적으로 하지 않� � 때문에 광 소자의 전체 길이를 줄일 수 있으며, 이에 따라 광 소자의 출력 감소를 최소화할 수 있도록 한 것이다.
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公开(公告)号：KR1019990039435A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970059540
申请日：1997-11-12
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 (1)로 표시되는 아크릴기 혹은 시나밀기를 가진 불소 치환 폴리아릴렌 에테르, 그 제조방법 및 그 불소 치환 폴리아릴렌 에테르를 사용한 광도파로형 광소자에 관한 것이다. 불소 치환 폴리아릴렌 에테르 유도체는 데카풀루오로바이페닐 혹은 데카풀루오로벤조페논과 아로마틱 디올의 열축중합에 의하여 얻어지며, 이들 고분자에 아크릴기 혹은 시나밀기를 도입하여 본 발명의 광도파로 소자용 고분자를 제조한다. 상기 고분자는 주쇄 구조에서 높은 불소 치환으로 분자 진동에 의한 물질 고유의 광통신 영역에서의 광흡수를 배제하여 고분자 광소자의 가장 큰 문제점인 광진행 손실이 아주 낮다. 또한 고분자 말단이나 고분자 측쇄에 광경화성 아크릴기 혹은 시나밀기를 도입 함으로서 고분자 메트릭스의 광가교를 통한 내화학성을 향상 시켜 다층 막박 공정이 가능하며, 300℃이상에서도 열적으로 분해와 승화되지 않는 열안정성이 뛰어난 우수한 광도파로형 광소자를 제조할 수 있다.
(화학식 1)
상기식에서, X는 없거나, -C=O- 또는 -SO
2 -이다. R
1 은 H, 광가교성 아크릴레이트, 메타크릴레이트 또는 시나메이트이다. R
2 은 광가교성 아크릴레이트, 메타크릴레이트, 또는 시나메이트이다. n은 중합도로 1∼100의 자연수이다.
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