-
公开(公告)号：KR100312162B1
公开(公告)日：2002-04-06
申请号：KR1019980050251
申请日：1998-11-23
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G02F1/00
Abstract: 본 발명은 금속 이온이 폴리머 내로 확산함으로써 굴절률이 증가하는 원리를 이용하여 광도파로를 제작하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 금속확산에 의한 폴리머 광도파로 제작방법은 기판 위에 폴리머 코어층을 스핀코팅의 방법으로 증착하는 제 1 공정과; 상기 증착된 폴리머 코어층을 열건조 및 경화시키는 제 2 공정과; 열증착기를 사용하여 금속층을 증착하는 제 3 공정과; 상기 금속층을 예상 광도파로를 따라 마스크, 리소스래피 및 식각기술을 이용하여 패턴하고, 패턴된 금속층을 형성하는 제 4 공정과; 상기 형성된 층들을 열판에서 일정한 온도에서 일정한 시간동안 가열하여 금속이온을 폴리머 내로 열확산시키고 나머지 금속은 제거하여, 금속이온이 확산된 광도파로를 형성하는 제 5 공정과; 다시 스핀코팅의 방법으로 상부 클래딩 폴리머 박막을 형성하고, 상기 형성된 상부 클래딩 폴리머 박막을 열건조 및 경화시켜 폴리머 광도파로를 제작하는 제 6 공정으로 으로어진다. 이와 같이 광도파로를 제작하면, 굴절률의 조절을 넓은 범위에서 미세하게 조절할 수 있게 할 뿐 만 아니라, 광도파로의 단면 크기를 쉽게 조절할 수 있어, 다양한 폴리머 광소자를 제작할 수 있게 된다.
-
公开(公告)号：KR100281736B1
公开(公告)日：2001-02-15
申请号：KR1019970032812
申请日：1997-07-15
IPC: G02B6/00
Abstract: 본 발명은 광학적 복굴절성이 큰 폴리머를 이용한 Y-분기형 광도파로 편광분리기의 구조 및 제작 방법에 관한 것으로서, 임의의 기판상에 형성된 폴리머 광도파로 하부 클래딩층, 상기 하부 클래딩층 상부에 입력된 광의 TE, TM 편광성분을 상기 TE 및 TM 편광성분이 모두 도파하는 입력부와, Y-분기 폴리머 광도파로 한쪽 가지에 복굴절 광학 폴리머 층을 삽입하여 TE 편광 성분이 모드 진화에 의해 도파되도록 한 가지와, Y-분기 폴리머 광도파로 다른 가지에 복굴절 광학 폴리머 층의 삽입을 제거시켜 TM 모드의 상대적 유효 굴절률 증가에 의한 TM 편광 성분이 모드 진화에 의해 도파되도록 한 다른 가지로 구성된 Y-분기 폴리머 광도파로 코아층 및 상기 광도파로 상부에 코팅하여 형성된 폴리머 광도파로 상부 클래딩층을 구비하여, 기판 위에 광도파로의 하� � 클래딩층으로 규소 층이나 코아층 폴리머 보다 굴절률이 낮은 폴리머층을 형성하는 단계와, 상기 하부 클래딩층 위에 복굴절성이 큰 복굴절 광학 폴리머층을 형성하고 포토리쏘그라피와 이온 식각법(RIE)을 이영하여 Y-분기형 광도파로의 한쪽 가지에만 남아 있도록 하는 단계와, 하부 클래딩층과 복굴절 광학 폴리머층 상부에 광도파로 코아 물질을 코팅하여 상부를 편평하게 하는 단계와, 편평한 복굴절 광학 폴리머 상부 위에 Y-분기 광도파로 마스크를 정렬하고, 포토리쏘그라피를 이용하여 광도파로 형상을 만드는 단계와 광도파로 형상 형성 후 반응 이온 식각법(RIE)을 이용하여 광도파로 중앙 부분을 제외한 지역을 식각하는 단게 및 시각 후 상부 클래딩층을 위한 폴리머를 코팅하여 소자를 완성하는 단계를 수행함으로써, 편광 분리비가 높고 손� ��이 작으며, 쉽게 제작 가능한 장점을 가지므로 실용성이 높고, 폴리머를 이용하여 저가의 대량생산이 가능하므로 향후 다 방면의 편광 관련 시스템에 응용될 수 있고, 폴리머 광도파로 소자들과 집적하여 새로운 형태의 광도파로 소자를 제작할 수도 있는 효과를 가진다.
-
公开(公告)号：KR1019990051282A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970070566
申请日：1997-12-19
IPC: G02B5/18
Abstract: 본 발명은 전반사를 이용한 직선 도파로열 파장 분할 광도파로 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광도파로 소자는 도파로열 부위를 전반사를 이용한 직선 도파로열을 이용하여 제작한다. 종래의 도파로열을 이용한 파장분할 광도파로 소자는 도파로열이 곡선 도파로로 구성되어 있어 소자의 전체 크기가 커지고 곡선 도파로 부위에서 도파광의 방사손실이 발생하고 이러한 방사손실은 인접한 도파로로의 도파광의 커플링이 발생하여 소자의 성능을 저하시키는 등의 문제점이 있다. 그러나 본 발명에 따라 전반사를 이용한 직선 도파로를 사용하면 평판 도파로에서 여기된 광파는 전반사 도파로 식각면 영역에서 모두 반사되고 전반사 도파로와 연결되는 직선 도파로로 광파가 도파되어 곡선 도파로에서 발생하는 방사손실이 최소화되고, 소자의 크기 또한 소형화시킬 수 있다. 또한 도파로열이 직선 도파로로 구성되어 있어 다른 기능을 갖는 광도파로 소자와의 집적이 용이하다.
-
公开(公告)号：KR100135037B1
公开(公告)日：1998-04-20
申请号：KR1019940019495
申请日：1994-08-08
IPC: H01L31/14
Abstract: 본 발명은 광의 생성, 검출, 변조 및 분배기능을 수행하는 각종의 광소자의 플립-칩(flip-chip bonding) 방법과 이 방법에 의해 플립-칩 본딩된 광소자와 광섬유를 패키징하는 방법에 관한 것으로서, 특히 실리콘 V-홈(groove)을 이용하여 기판과 칩 사이의 간격을 최소화시킬 수 있는 플립-칩 본딩방법 및 그를 사용한 패키징방법에 관한 것이다.
본 발명은 실리콘기판내에 소정의 V-홈(groove)을 형성하는 단계와, 상기 기판의 V-홈 내부에 솔더범프용 금속패드를 형성하는 단계와, 상기 금속 패드상부에 솔더 범프를 형성하는 단계와, 절연막, 금속패드 및 광소자 등을 구비한 소정 칩을 뒤집어서 상기 기판과 정렬시킨 후, 상기 솔더범프를 용융점 이상의 온도로 가열하여 리플로우(reflow)시킨 상태에서 칩에 압력을 가하여 상기 기판과 칩을 밀착, 고정시키는 단계와, 상기 기판위에 광섬유가 고정될 별도의 V-홈을 형성한 후, 광섬유를 상기 별도의 V-홈에 정렬시키고, 에폭시를 이용하여 고정시키는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1019970030936A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950042600
申请日：1995-11-21
IPC: H01L27/14
Abstract: 본 발명은 반도체 격자 도파로 구조 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 그 특징은 광결합 손실을 작게 하는 반도체 격자 도파로 제조방법에 있어서, 기판 위에 코어층과 클레드층을 결정 성장시키는 제1과정과 격자 형성 부위를 개구하는 제2과정과 상기 제1과정에서 만들어진 상기 클레드층과 상기 코어층을 식각하는 제3과정 및 클레드층을 결정 성장시켜 제작을 완료하는 제4과정을 포함하는 데에 있으므로, 그 효과는 다양한 구조의 광집적화 회로에 적용이 수월하고 높은 광결합 효율을 얻을 수 있어 저가격의 괌모듈을 제작할 수 있다는 데에 있다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100269262B1
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019970060636
申请日：1997-11-17
IPC: G02B26/06
Abstract: PURPOSE: A polarization controller is provided to always separate the output light of an incident light by 50% by means of a characteristic of a mode separator by electrically negative-feedbacking the intensity of the output light until the intensity of the output light becomes identical so as to automatically control phases of the incident light. CONSTITUTION: A polarization controller includes an optical fiber polarization separator(2). The optical fiber polarization separator(2) outputs an input light having a given polarization to two ports having a linear polarization state. A waveguide type 2x2 mode separator(6) receives the two outputs from the optical fiber polarization separator(2) to separate of the two input lights with the difference in the phase of the two input light by 90 degree maintained, so that the power of the output light becomes 50% of the input lights regardless of the polarization state of the input lights. A phase matching feedback circuit(16) detects the intensity of the two output lights from the waveguide type 2x2 mode separator(6) to differential-amplify the intensity by the difference between them and then controls the phase of the input lights inputted to the waveguide type 2x2 mode separator(6) to obtain a stable output power regardless of the polarization of the input light.
Abstract translation: 目的：提供一种偏振控制器，通过电负反馈输出光的强度直到输出光的强度变得相等为止，通过模式分离器的特性，将入射光的输出光总是分离50％ 以便自动控制入射光的相位。 构成：偏振控制器包括光纤偏振分离器（2）。 光纤偏振分离器（2）将具有给定极化的输入光输出到具有线偏振状态的两个端口。 波导型2×2模式分离器（6）从光纤偏振分离器（2）接收两个输出，以分离两个输入光，两个输入光的相位差保持90度，使得功率 无论输入光的偏振状态如何，输出光都会变为输入光的50％。 相位匹配反馈电路（16）检测来自波导型2×2模式分离器（6）的两个输出光的强度，以通过它们之间的差来差分放大强度，然后控制输入到波导的输入光的相位 类型2x2模式分离器（6），以获得稳定的输出功率，而与输入光的偏振无关。
-
公开(公告)号：KR1020000039530A
公开(公告)日：2000-07-05
申请号：KR1019980054887
申请日：1998-12-14
Abstract: PURPOSE: A distribution correcting optical device is provided to integrate various functions of an optical device by using a material which has a small light loss. CONSTITUTION: A distribution correcting optical device comprises input sections(11,21), wave dividing sections(12,22), an optical delaying section(13), a wave uniting section, and an output section. The input sections(11,21) input the light. The wave dividing sections(12,22) divide the irradiated light according to the wave. The optical delaying section(13) corrects the distribution of the wave. The wave uniting section unites the waves inputted in the optical delaying section(13) into a pulse. The output section outputs the pulse united in the wave uniting section.
Abstract translation: 目的：提供一种分配校正光学装置，通过使用光损耗小的材料来集成光学装置的各种功能。 构成：分配校正光学装置包括输入部分（11,21），波分割部分（12,22），光学延迟部分（13），波形组合部分和输出部分。 输入部分（11,21）输入光。 波分割部（12,22）根据波分割照射的光。 光延迟部分（13）校正波的分布。 波形组合部分将输入到光延迟部分（13）中的波形结合成脉冲。 输出部分输出波合并部分中的脉冲。
-
8.发明公开
公开(公告)号：KR1019990033425A
公开(公告)日：1999-05-15
申请号：KR1019970054782
申请日：1997-10-24
Abstract: 본 발명은 하기 화학식(1)의 비선형 광학 색소를 갖는 불소 치환 폴리아릴렌 에테르계 고분자, 그의 제조방법 및 그를 사용한 광도파로형 능동 광소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 상기 고분자는 주쇄 구조에서 높은 불소 치환으로 분자 진동에 의한 물질 고유의 광통신 영역에서의 광흡수를 배제하여 고분자 광소자의 가장 큰 문제점인 광진행 손실이 아주 낮다. 또한 고분자 주쇄에 비선형 광학 색소의 밀도가 높아 전기 광학 특성이 우수하고 주쇄의 유리전이온도가 높아 150℃ 이상에서도 쌍극자의 완화가 일어나지 않아서 뛰어난 광도파로형 광소자를 제조할 수 있다.
(화학식 1)
식 중, n은 유연기(고분자 주쇄와 측쇄를 연결하는 그룹)의 수로서
2 ~ 10의 자연수, D는 전자 주게기로 O, NH, 알킬아민, 또는 페닐아민,
B는 연결기로서 CH=CH 또는 N=N,
A는 전자 받게기로 CN, 트리시아노비닐, 니트로, 설폰기임.-
-
公开(公告)号：KR100292800B1
公开(公告)日：2001-09-17
申请号：KR1019980051081
申请日：1998-11-26
IPC: C08G65/38
Abstract: 고분자 곁가지에 이미드 고리를 가진 불소 치환 폴리아릴렌에테르계 고분자 및 이를 코어층으로 사용한 도파로형 폴리머 광소자가 개시된다. 본 발명의 고분자 곁가지에 이미드 고리를 가진 불소 치환 폴리아릴렌 에테르는, 먼저 데카풀로로 바이페닐과 아민기를 가진 아로마틱 디올의 열축중합에 의하여 아민 함유 폴리아릴렌에테르를 합성한 후, 고분자 반응을 통하여 할로겐기 함유 아로마틱 언하이드리드를 고분자 곁가지에 도입하여 광도파로 소자용 고분자를 제조한다. 상기 고분자는 주쇄 구조에서 높은 불소 치환과 곁가지의 할로겐 치환으로 분자 진동에 의한 물질 고유의 광통신 영역에서의 광흡수를 배제하여 광진행 손실이 아주 낮다. 본 발명은 고분자 곁가지에 할로겐 함유 아미드 고리를 도입함으로써, 고분자 메트릭스의 내화학성을 향상 시켜 다층 막박 공정이 가능하며, 뒤틀린 분자 구조로 인하여 광학적 복굴절성이 매우 작다. 또한, 열적으로 분해와 승화되지 않아 열안정성이 뛰어난 우수한 광도파로형 광소자를 제조할 수 있다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
39
records
(took 0.02 seconds)
