公开(公告)号：DE10214743A1

公开(公告)日：2004-11-04

申请号：DE10214743

申请日：2002-04-03

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES CORP ,  IBM

Inventor： KNORR ANDREAS ,  KUDELKA STEPHAN ,  MANDELMAN JACK ,  RAHN STEPHAN ,  TEWS HELMUT ,  WISE MICHAEL

IPC: H01L21/8242 ,  H01L29/94 ,  H01L27/108

公开(公告)号：DE10296608B4

公开(公告)日：2010-10-14

申请号：DE10296608

申请日：2002-04-08

Applicant: IBM ,  QIMONDA AG

Inventor： DYER THOMAS W ,  KUDELKA STEPHAN ,  PRAKASH JAI V C ,  RADENS CARL

IPC: H01L21/8242 ,  H01L27/108