公开(公告)号：DE69842259D1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：DE69842259

申请日：1998-06-23

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： SMITH DONALD K ,  CHEN XING ,  HOLBER WILLIAM ,  GEORGELIS ERIC

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/46 ,  H01J27/16 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：DE69842098D1

公开(公告)日：2011-02-24

申请号：DE69842098

申请日：1998-06-23

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： SMITH DONALD K ,  CHEN XING ,  HOLBER WILLIAM ,  GEORGELIS ERIC

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/46 ,  H01J27/16 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：DE69841962D1

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：DE69841962

申请日：1998-06-23

Applicant: MKS INSTR INC

Inventor： SMITH DONALD K ,  CHEN XING ,  HOLBER WILLIAM M ,  GEORGELIS ERIC

IPC: H01J37/32 ,  H05H1/46 ,  H01J27/16 ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065