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公开(公告)号:CN101687208A
公开(公告)日:2010-03-31
申请号:CN200780053558.4
申请日:2007-12-27
Applicant: 有限会社加雷
Inventor: 长谷川可贺
CPC classification number: B05B7/0433 , B05B3/00 , B05B7/0491 , B08B1/00 , B08B3/026
Abstract: 本发明涉及流体喷出枪,能够提供一种流体喷出枪,具备:向前方延伸并植设有刷子(34)的筒状引导器(31)、由前端侧是自由端的具有挠性的管材构成且利用从分流部(25)向一路供给的气体通过而一边被筒状引导器(31)的引导而进行旋转运动一边从前端指向刷子(34)喷出气体的喷嘴(27)、把被分流部(25)向另一路供给并通过流量调整部(37)后的气体从前端喷出的内部喷嘴(45)、贯通筒状引导器(31)而使筒状引导器(31)的内侧与液体供给源(12)连通,且把内部喷嘴(45)插入中间位置并且指向筒状引导器(31),利用内部喷嘴(45)喷出气体所产生的负压而把液体从液体供给源(12)吸上来并向筒状引导器(31)的内侧喷出的液体配管(50)。根据本发明,能够把足够流量的液体与气体混合并微粒子化地喷出。
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公开(公告)号:CN101207015A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200710196047.X
申请日:2007-11-30
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor: 宫城雅宏
CPC classification number: B05B7/0433 , B05B5/03 , B05B5/0533 , B05B7/066 , H01L21/67051
Abstract: 本发明涉及双流体喷嘴、基板处理装置以及基板处理方法。该基板处理装置具有向基板喷出作为处理液的纯水的液滴的双流体喷嘴,喷嘴具有内筒构件和外筒构件。气体在气体流路即内筒构件内流动,处理液在由内筒构件和外筒构件构成的处理液流路向下方流动。内筒构件的下端部的下方为混合区域,在混合区域处混合气体和处理液而生成微小的液滴,并从外筒构件下端的喷出口喷出。在气体流路内设置有第一电极,在处理液流路内设置有第二电极,通过在第一电极和第二电极之间施加电位差,从而在处理液感应出电荷,生成带电的液滴。在喷嘴,利用简单的结构就可以使第一电极远离处理液,并使液滴更高效地带电。
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公开(公告)号:CN101063052A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710100883.3
申请日:2007-04-24
Applicant: 通用电气公司
IPC: C10J3/50
CPC classification number: B05B7/0433 , B05B7/066 , C02F11/06 , F23G2209/12 , F23G2900/54402
Abstract: 在此公开了喷射器(30、44)及其使用方法。在一个实施例中喷射器包含内部喷嘴(8)、围绕内部喷嘴(8)布置以形成第二流道(18)的煤浆喷嘴(36)、和布置于煤浆喷嘴(36)内并与第二流道(18)接触的磨损嵌入物(32)。内部喷嘴(8)包含第一流道(16),其连接于可将第一介质供给到第一流道(16)的第一供给管道(34)。第二供给管道(34)连接到煤浆喷嘴(36)上,可以将第二介质供给到第二流道(18)。磨损嵌入物(32)包含金属氧化物。
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公开(公告)号:CN1930666A
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN200580007876.8
申请日:2005-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/304 , B05B7/04 , B08B3/02
CPC classification number: H01L21/67051 , B01F3/04049 , B05B7/0433 , B08B3/02 , Y10S134/902
Abstract: 本发明的目的在于,在内部混合气体和液体并将液滴与气体一起喷射而清洗基板的基板清洗用双流体喷嘴中,使液滴的粒径和速度均匀化。在基板清洗用双流体喷嘴中,具有:供给气体的气体供给通路、供给液体的液体供给通路、和将内部形成的液滴导出的导出通路,在上述导出通路的末端形成有用于向外部喷射液滴的喷射口,上述喷射口的截面积Sb形成得比上述导出通路的截面积Sa小,并且,上述气体供给通路的出口的截面积Sc形成得比上述导出通路的截面积Sa小。
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公开(公告)号:CN1294534A
公开(公告)日:2001-05-09
申请号:CN99804306.0
申请日:1999-02-12
Applicant: 罗伯特·H·阿布普拉纳尔普
Inventor: 罗伯特·H·阿布普拉纳尔普
IPC: B05B7/30
CPC classification number: B65D83/60 , B05B7/0433 , B05B7/2416 , B05B7/2421 , B65D83/68
Abstract: 一种液体喷射器(10),它具有两个并排容器、一个互联桥(13)和一个位于桥内部的喷嘴插入件(30)。作为替换形式,还有一种两容器背负式液体喷射器,它具有一个按钮促动器(62)和一个位于按钮内的喷嘴插入件。一个容器(11)用于产品,而另一个容器(12)装有推进剂。喷嘴插入件的中间部分具有一个文氏管缩颈,该缩颈带有一个内部推进剂出口小孔(52)。两条产品通道(37)垂直于喷嘴插入件的纵向轴线,并与内部出口小孔重叠一半的长度。膨胀腔(34)的直径大于文氏管缩颈出口小孔的直径和邻近该小孔的外部锥台表面(56)的直径。文氏管出口小孔与膨胀腔沿纵向隔开一定距离,以便基本上防止推进剂进入横向产品通道。产品通道具有面积大于文氏管出口小孔的准矩形形状。
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公开(公告)号:CN1184715A
公开(公告)日:1998-06-17
申请号:CN97121532.4
申请日:1997-10-24
Applicant: 三菱电机株式会社 , 大阳东洋酸素株式会社
CPC classification number: H01L21/67051 , B05B7/0433 , B05B7/0475 , B05B7/0483 , B08B3/02
Abstract: 以强力清除附着在半导体基板等上面的微小异物,并不会损伤基板。在将液滴喷射在气体中而清洗掉附着在半导体基板等的表面上的异物的清洗用双流体喷嘴中,将混合加压气体和液体形成液滴的混合部的气体流路的截面积设置成比随着气体一起使液滴加速并喷射在气体中的加速管的流路的截面积要大的形状。此外,将加速管设计成圆形直管形状或者拉瓦尔喷管形状。
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公开(公告)号:CN1158757A
公开(公告)日:1997-09-10
申请号:CN96123352.4
申请日:1996-10-28
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: B05B17/00
CPC classification number: A61M11/06 , A61M2209/084 , B05B7/0433 , B05B7/2416
Abstract: 一种雾化系统,其具有一个用于储存由一压缩机6产生的高压空气的第一储压箱7,一第二储压箱28经一空气管3与该第一储压箱7相连,所以该第二箱28充满高压空气。该管3具有一个与所述第三箱28可拆卸地相连的密封阀26。该箱28连接到一调压器上,该调压器可将该第二箱28中供给的空气压力降至预定低压值。当第二箱28与该第一箱7断开时,将低压空气供给一个在呼吸治疗中使药物雾化的雾化器11。
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公开(公告)号:CN1008375B
公开(公告)日:1990-06-13
申请号:CN87102965
申请日:1987-03-13
Applicant: 陶氏化学公司
Inventor: 查尔斯·利普
CPC classification number: C10J3/723 , B05B7/0433 , B05B7/0861 , B05B12/085 , C10J3/506 , C10J2200/152 , Y10S48/07 , Y10S48/10 , Y10S261/38
Abstract: 本发明涉及一种可调节的、提供一个基本不变混合能的双流体喷嘴。双流体喷嘴的调节是根据输送到喷嘴的液体和气体的压力和质量流量来进行的。微处理机从这些值来计算混合能,如果该混合能与预先选定的混合能不一样,就向喷嘴发出一个输出信号来调节喷嘴。
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公开(公告)号:CN87102965A
公开(公告)日:1987-12-30
申请号:CN87102965
申请日:1987-03-13
Applicant: 陶氏化学公司
Inventor: 查尔斯·利普
CPC classification number: C10J3/723 , B05B7/0433 , B05B7/0861 , B05B12/085 , C10J3/506 , C10J2200/152 , Y10S48/07 , Y10S48/10 , Y10S261/38
Abstract: 本发明涉及一种可调节的、提供一个基本不变混合能的双流体喷嘴。双流体喷嘴的调节是根据输送到喷嘴的液体和气体的压力和质量流量来进行的。微处理机从这些值来计算混合能,如果该混合能与预先选定的混合能不一样,就向喷嘴发出一个输出信号来调节喷嘴。
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公开(公告)号:CN107735168A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201680021763.1
申请日:2016-04-13
Applicant: HTE高通量实验公司
CPC classification number: B05B7/0433 , B01J4/002 , B01J8/0278 , B01J8/1827 , B01J2208/00902 , B05B7/16
Abstract: 本发明涉及用于喷射液体并产生极细薄雾的设备和方法,其中,该设备包括针式注射器、液体供应装置(5)和气体供应装置(4)。针式注射器包括至少一个毛细管(1)和至少一个外管(8),其中毛细管(1)置于外管(2)的内部空间中并且针式注射器的特征为毛细管的内径在2-1000μm范围内,优选在4-300μm范围内,更优选在5μm至250μm范围内。毛细管与气体供应装置(4)作用连接并且外管(2)与液体供应装置(5)作用连接。包括呈10-20μm的极细分散的液滴形式的液体并具有低流速的喷雾借助本发明的方法产生。喷雾的特性可通过设备的构型和实验参数很好地控制。设备的优选应用领域是将喷雾受控引入到用于研究催化剂的反应设备中或用于沉积液体的浸渍设备中。
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