公开(公告)号：CN101625541A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200910140226.0

申请日：2009-07-09

Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司

Inventor： R·丁格 ,  T·拉维内

IPC: G04B99/00

CPC classification number: B81C99/008 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00674 ,  B81C2201/112 ,  G04B13/02 ,  G04D3/0069 ,  Y10T29/49579

Abstract: 本发明涉及制造机械部件(51)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(3)由可微加工材料制成的基片(53)；b)借助于光刻法，在所述整个基片上蚀刻(5)包含所述部件的图案(50)；根据本发明，该方法还包括如下步骤：c)将所述蚀刻的基片安装(7)在支座(55’)上，使得可容易接近所述基片的顶面和底面；d)在所述部件外表面上沉积(9，C’)比所述可微加工材料摩擦质量好的涂层；e)将部件从基片上分离(11)。本发明涉及时钟制造领域。

公开(公告)号：WO2012104110A1

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：PCT/EP2012/050127

申请日：2012-01-05

Applicant: NIVAROX-FAR S.A. ,  CUSIN, Pierre ,  RICHARD, David ,  DUBOIS, Philippe

Inventor： CUSIN, Pierre ,  RICHARD, David ,  DUBOIS, Philippe

IPC: B81C99/00

CPC classification number: B81B1/006 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00634 ,  B81C99/0085 ,  Y10T74/19949

Abstract: L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une pièce de micromécanique (11, 21, 31, 41, 51, 61) en un matériau monobloc. Le procédé comporte les étapes suivantes : a) former un substrat (1) comportant l'empreinte (3) négative de ladite pièce de micromécanique à fabriquer; b) recouvrir ladite empreinte négative du substrat (1) d'une couche (5) d'un matériau; c) retirer du substrat (1) une épaisseur supérieure (e 2 ) à celle (e 1 ) de la couche déposée (5) afin de laisser une épaisseur de ladite couche circonscrite dans ladite empreinte négative; d) retirer le substrat (1) afin de laisser libre la pièce de micromécanique (11, 21, 31, 41, 51, 61) formée dans ladite empreinte négative.

Abstract translation: 本发明涉及从单片材料制造微机械部件（11,21,31,41,51,61）的方法。 该方法包括以下步骤：a）形成包括要制造的所述微机械部件的负印模（3）的基板（1） b）用材料层（5）覆盖基底（1）的所述负压印; c）从衬底（1）去除其厚度（e1）大于沉积层（5）的厚度（e1）的层，以便使所述沉积层的一部分包含在所述负压印 ; 去除衬底（1）以便释放形成在所述负压痕中的微机械部件（11,21,31,41,51,61）。

公开(公告)号：WO2012048693A1

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：PCT/DE2011/075120

申请日：2011-05-27

Applicant: BPE E. K. ,  HORNIG, Wolfgang

Inventor： HORNIG, Wolfgang

IPC: B44B5/00 ,  B29C59/02

CPC classification number: B29C59/022 ,  B29C59/007 ,  B29C2059/023 ,  B44B5/0052 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0085 ,  B81C2201/038

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Körpern mit Oberflächenstrukturen im Mikrometer- oder Nanometerbereich, wobei der Prägeabschnitt eines Prägewerkzeugs mittels eines Härteprüfgeräts mehrfach auf verschiedene Stellen der Oberfläche eines Körpers gepresst wird, wodurch an den jeweiligen Aufpressstellen Vertiefungen eingeprägt werden, und wobei ein Prägewerkzeug mit einem länglich geformten Prägeabschnitt eingesetzt und entsprechende Kanäle oder linienartige Strukturen in dem Körper erzeugt werden.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于对具有在微米或纳米范围内，其中，冲压工具的压花部由硬度计的手段按压几次在身体上，这是在各自的Aufpressstellen凹陷印象深刻的表面的不同点处的表面结构的物品的制造方法，并且其中，压花工具具有 用于形冲压部分和相应的通道或线状结构在体内产生的细长。

公开(公告)号：WO2003101889A1

公开(公告)日：2003-12-11

申请号：PCT/JP2003/006475

申请日：2003-05-23

Applicant: 株式会社ディスコ ,  荒井 一尚 ,  石川 和則

Inventor： 荒井 一尚 ,  石川 和則

IPC: B81C5/00

CPC classification number: B81C99/0085 ,  B81B2201/035

Abstract: マイクロ部品の製造において、溶剤を用いて溶解可能な樹脂基台１を成形し、その樹脂基台１に物理的外力を作用させて凹部３を形成し、凹部３に金属を充填した後、余剰の金属を研磨により除去し、樹脂基台１を溶剤を用いて溶解させることによってマイクロ部品を製造することにより、ステッパ、エッチング装置等のリソグラフィー装置を不要として経済性を向上させ、また、リソグラフィー技術によっては製造が困難な複雑な形状の部品の製造をも可能とする。

Abstract translation: 如下产生微量组分。 形成由溶剂溶解的树脂基材（1），通过对树脂基体（1）施加物理外力而形成凹部（3），在凹部（3）中填充金属，通过研磨除去金属多余 ，然后使用溶剂溶解树脂基材（1）。 该方法不需要诸如步进器和蚀刻装置之类的光刻设备，从而提高经济效率，并且能够生产具有无法产生光刻技术的复杂形状的部件。

公开(公告)号：JP5899252B2

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：JP2014025135

申请日：2014-02-13

Applicant: ニヴァロックス−ファー ソシエテ アノニム

Inventor： アレクサンドル・フッシンガー ,  マルク・シュトランツル

IPC: C25D1/00

CPC classification number: H03H3/0072 ,  B81C99/008 ,  G03F7/00 ,  G04B15/14 ,  B81B2201/035 ,  G03F7/0002 ,  Y10T29/49002

公开(公告)号：JP2014521096A

公开(公告)日：2014-08-25

申请号：JP2014520643

申请日：2012-07-17

Applicant: ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド

Inventor： リシャール，ダヴィド ,  ブルバン，ステュース

IPC: G04B15/14 ,  G04B1/14 ,  G04B13/02 ,  G04B17/06

CPC classification number: G04B13/02 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/0095 ,  C10M2201/041 ,  C23C16/26 ,  C23C16/27 ,  G04B1/14 ,  G04B1/145 ,  G04B13/022 ,  G04B15/14 ,  G04B31/004 ,  G04B31/08

Abstract: 本発明は、第２の層によって形成される第２の接触表面と摩擦接触するよう構成される第１の接触表面を形成する第１の層を備えた第１の構成部品（１０）を含む、機能性微小機械時計アセンブリ（１００）に関する。
上記第２の層は、上記第１の構成部品（１０）、又は上記第１の構成部品（１０）と共に上記アセンブリ（１００）を形成する少なくとも１つの第２の微小機械構成部品（２０）のいずれかに属し、上記アセンブリは、第１及び第２の層がそれぞれ少なくとも炭素原子を５０％有する炭素で形成されていること、並びに第１及び第２の接触表面において、上記層が互いから異なる表面の結晶面配向を有することを特徴とする。
【選択図】図１

公开(公告)号：KR1020100103434A

公开(公告)日：2010-09-27

申请号：KR1020100022724

申请日：2010-03-15

Applicant: 니바록스-파 에스.에이.

Inventor： 쿠신,피에르 ,  골피에르,클레어 ,  티에보드,장-필러프

IPC: C25D1/12 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C25D1/10 ,  B81B2201/035 ,  B81C99/009 ,  C25D17/00

Abstract: PURPOSE: A mold for an electric fabrication and a method for manufacturing thereof are provided to reduce peeling phenomenon at a bonding layer of a conductive layer using silicon. CONSTITUTION: A mold for an electric fabrication includes next steps. A substrate is supplied. An upper layer(21') of substrate is etched to one or more patterns to an intermediate layer(22') in order to one or more cavity on a mold. The upper portion of substrate is coated with electrically insulating coating. Coating and intermediate layer is formed on a vertical wall(31') by directionally etching. The substrate has an upper layer(21') and a sub-layer(23').

Abstract translation: 目的：提供一种用于电制造的模具及其制造方法，以减少使用硅的导电层的接合层处的剥离现象。 构成：用于电气制造的模具包括下一步骤。 提供基板。 将衬底的上层（21'）蚀刻到一个或多个图案到中间层（22'），以便模具上的一个或多个腔体。 衬底的上部涂覆有电绝缘涂层。 通过定向蚀刻在垂直壁（31'）上形成涂层和中间层。 衬底具有上层（21'）和子层（23'）。

公开(公告)号：US12071338B2

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：US17459073

申请日：2021-08-27

Applicant: Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e.V.

Inventor： Christian Drabe ,  Bert Kaiser

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/035 ,  B81B2201/037 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/051 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058

Abstract: A micromechanical structure has a first micromechanical element, a second micromechanical element and a torsion spring arrangement having a first torsion spring element, having a first center line, mechanically connected to the first micromechanical element at a first contact region and to the second micromechanical element at a second contact region, and having a second torsion spring element, having a second center line, mechanically connected to the first micromechanical member at a third contact region and to the second micromechanical member at a fourth contact region in order to connect the first micromechanical member and the second micromechanical member to be movable relative to each other. A distance between the first and second center lines, starting from the first and third contact regions toward the second and fourth contact regions, decreases in a first portion and increases in a second portion. In a rest position of the micromechanical structure, the first and second torsion spring elements are arranged without contact to each other.

公开(公告)号：US20240243672A1

公开(公告)日：2024-07-18

申请号：US18562630

申请日：2022-05-20

Applicant: SILMACH ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) ,  UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE

Inventor： Thierry CÔTE ,  Patrice MINOTTI ,  Gilles BOURBON ,  Patrice LE MOAL

IPC: H02N1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: H02N1/008 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/035 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  B81B2203/0384

Abstract: The invention relates to a microelectromechanical system (10) comprising a drive module (200) comprising:



a fixed drive portion (210),
a movable drive portion (220), and
a suspension (230),

the movable drive portion (220) being able to be moved relative to the fixed drive portion (210) in a first direction (A), as a result of an electrostatic force, which causes an elastic deformation of the suspension (230), and the movable drive portion (220) being able to be moved relative to the fixed drive portion (210) in a second direction (B), opposite to the first direction (A), as a result of an elastic return force generated by the suspension (230),

the actuator (11) also comprising a stop (24) limiting the movement of the first movable portion (220) in the second direction (B) so that the elastic force generated by the suspension (230) is not cancelled.

公开(公告)号：US20160108544A1

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：US14880329

申请日：2015-10-12

Applicant: Nivarox-FAR S.A.

Inventor： Philippe DUBOIS ,  Christian Charbon

IPC: C25D21/04 ,  C22C19/03 ,  G04B15/00 ,  G04B1/14 ,  G04B37/22 ,  C22C45/04 ,  C25D1/00

CPC classification number: C25D21/04 ,  B81B2201/035 ,  B81C1/00674 ,  B81C2201/032 ,  C22C19/03 ,  C22C45/04 ,  C25D1/003 ,  G04B1/145 ,  G04B13/02 ,  G04B15/00 ,  G04B15/14 ,  G04B37/22 ,  G04D3/0074

Abstract: The invention relates to a one-piece metal component including an electroformed metal body, the external surface of the body including, only over or to a predetermined depth, less trapped hydrogen than the rest of the electroformed metal body causing a hardening relative to the rest of the body in order to improve the wear resistance of the one-piece component while preserving a relative magnetic permeability of less than 10 and the ability to be driven or pressed fit.

Abstract translation: 本发明涉及一种包括电铸金属体的一体式金属组件，其主体的外表面仅包含在超过或达到预定深度的电池中，比电铸金属体的其余部分所捕获的氢少，导致相对于其余部分的硬化 以提高一体成分的耐磨性，同时保持小于10的相对导磁率和被驱动或压配合的能力。