无氮添加臭氧产生单元及臭氧气体供给系统

    公开(公告)号:CN103459308A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201180070004.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元,该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且,在本发明中,气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来,形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。

    臭氧发生器放电装置
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103130190A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201310097913.5

    申请日:2013-03-25

    Inventor: 张宽照

    Abstract: 本发明涉及工业领域,具体而言,涉及一种臭氧发生器放电装置。所述臭氧发生器放电装置,包括:地电极、介质体以及高压电极;所述高压电极与所述地电极分别设置在所述介质体上相对的两侧;所述地电极内部形成与外界相通的冷却水通道;所述地电极的表面形成相互间隔的多个凹槽和多个凸条;所述介质体上形成与所述凸条相互配合的条形孔;所述凸条位于所述条形孔中,且所述介质体与所述凹槽形成氧气流通间隙。本发明所提供的臭氧发生器放电装置,能够有效的降低高压电极的热量,减少臭氧的分解,提高臭氧的生产效率。

    用于多腔室工具的臭氧系统

    公开(公告)号:CN101243369B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200680030056.5

    申请日:2006-07-07

    Abstract: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即,多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态),并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即,约1秒)的响应时间。在EVENT期间,第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的,但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间,然而,第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性,并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

Patent Agency Ranking