臭氧及负离子发生器
    42.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1366369A

    公开(公告)日:2002-08-28

    申请号:CN01141425.1

    申请日:2001-09-24

    Applicant: 黄贤培

    Inventor: 黄贤培

    CPC classification number: C01B13/11 A61L9/015 A61L9/22 C01B2201/90 Y02W10/37

    Abstract: 一种臭氧及负离子发生器,具有产生规定浓度臭氧的臭氧发生器,和驱动所述臭氧发生器的臭氧发生驱动部,和向所述臭氧发生驱动部提供电源的第2电源部,和产生具有规定电荷量负离子的负离子发生器,和驱动所述负离子发生器的负离子发生驱动部,和将在所述负离子发生器中产生的负离子容易地向外部送风的循环风扇,和向所述负离子发生驱动部提供电源的第1电源部,和使从所述臭氧发生器产生的臭氧有选择地流向净水器或臭氧容器的选择阀,和通过所述选择阀除去流入净水部臭氧的固有气味的活性炭过滤部,和控制所述负离子发生驱动部、臭氧发生驱动部和各部的控制部,和向所述控制部输入外部指令的操作部,和根据所述操作部的预约功能控制预约时间的计时器。

    无氮添加臭氧产生单元及臭氧气体供给系统

    公开(公告)号:CN103459308A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201180070004.1

    申请日:2011-04-13

    Abstract: 本发明的目的在于获得一种谋求无氮添加臭氧产生器单元的小型化的无氮添加臭氧产生单元,该无氮添加臭氧产生器单元附带具有用于输出高纯度、高浓度的臭氧气体的多个机构的功能。而且,在本发明中,气体配管集成模块(30)具有多个内部配管路线(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路线与向放电面涂敷有用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)、控制机构(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)连结起来,形成从原料气体供给口经由APC而到达无氮添加臭氧气体产生器的原料气体输入配管路线及从无氮添加臭氧产生器经由气体过滤器、MFC而到达臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路线实现一体化的单元。

    臭氧气体供给系统
    45.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102666372A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080053598.0

    申请日:2010-09-06

    CPC classification number: C01B13/11 C01B2201/90

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统,其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体,还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外,本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9),该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1~7-n)的多个臭氧气体输出,并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作,从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1~12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。

    用于多腔室工具的臭氧系统

    公开(公告)号:CN101243369B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200680030056.5

    申请日:2006-07-07

    Abstract: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即,多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态),并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即,约1秒)的响应时间。在EVENT期间,第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的,但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间,然而,第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性,并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

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