-
公开(公告)号:CN102666372B
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201080053598.0
申请日:2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统,其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体,还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外,本发明具有臭氧气体输出流量管理单元,该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1~7-n)的多个臭氧气体输出,并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作,从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1~12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
-
公开(公告)号:CN102770369A
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN201080053584.9
申请日:2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元,其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外,在本发明中,气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接,从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
-
公开(公告)号:CN102770369B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201080053584.9
申请日:2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元,其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外,在本发明中,气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接,从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
-
公开(公告)号:CN101389387A
公开(公告)日:2009-03-18
申请号:CN200680053064.1
申请日:2006-11-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: B01D53/002 , B01D2256/14 , C01B13/0251 , C01B13/10 , C01B13/11 , C01B2201/80 , C01B2201/82 , C01B2210/0092 , Y02C10/10 , Y02C10/12
Abstract: 特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法,其中,在1个臭氧浓缩小室内,形成能够从臭氧化氧气中使臭氧选择性地结露或使氧气选择性地透过而被排出的冷却温度范围的部分和能够使结露的臭氧蒸气化的温度范围的部分,使结露的臭氧借助流体的流动或重力作用,移动至能够使上述结露的臭氧蒸气化的部分,使其蒸气化,由此可以使臭氧化氧气更高浓度化。填充于臭氧浓缩小室11、12内的结露、蒸气化粒子材料13为球形且侧面成为具有多个平面的特殊形状或是能够使臭氧气中的氧气选择性地透过的氧透过膜130。
-
公开(公告)号:CN101389387B
公开(公告)日:2013-08-28
申请号:CN200680053064.1
申请日:2006-11-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: B01D53/002 , B01D2256/14 , C01B13/0251 , C01B13/10 , C01B13/11 , C01B2201/80 , C01B2201/82 , C01B2210/0092 , Y02C10/10 , Y02C10/12
Abstract: 特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法,其中,在1个臭氧浓缩小室内,形成能够从臭氧化氧气中使臭氧选择性地结露或使氧气选择性地透过而被排出的冷却温度范围的部分和能够使结露的臭氧蒸气化的温度范围的部分,使结露的臭氧借助流体的流动或重力作用,移动至能够使上述结露的臭氧蒸气化的部分,使其蒸气化,由此可以使臭氧化氧气更高浓度化。填充于臭氧浓缩小室11、12内的结露、蒸气化粒子材料13为球形且侧面成为具有多个平面的特殊形状或是能够使臭氧气中的氧气选择性地透过的氧透过膜130。
-
公开(公告)号:CN102666372A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080053598.0
申请日:2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统,其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体,还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外,本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9),该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1~7-n)的多个臭氧气体输出,并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作,从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1~12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
-
-
-
-
-