窄带化KrF准分子激光装置
    41.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109314366A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201680086414.8

    申请日:2016-07-22

    Inventor: 守屋正人

    Abstract: 窄带化KrF准分子激光装置包括激光腔、窄带化光学系统、致动器、输出耦合镜、波长检测器以及波长控制部。致动器构成为能够变更由窄带化光学系统选择的光的波长。波长检测器包括低压水银灯、标准具及光分布传感器,低压水银灯在内部收纳有水银、对水银的至少一部分进行吸附的吸气材料以及对水银的至少一部分进行激励的热阴极;标准具配置在从低压水银灯射出的基准光和从输出耦合镜射出的被检测光所入射的位置;光分布传感器检测基准光的干涉条纹的波形和被检测光的干涉条纹的波形。波长控制部对基准光的干涉条纹的波形进行累计而计算累计波形,根据累计波形和被检测光的干涉条纹的波形计算被检测光的波长,并根据被检测光的波长计算结果控制致动器。

    一种可见光与短波红外共口径的成像光谱系统

    公开(公告)号:CN109060128A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201810769794.6

    申请日:2018-07-13

    CPC classification number: G01J3/2823 G01J3/0205

    Abstract: 本发明公开了一种可见光与短波红外共口径的成像光谱系统,第一个非球面反射镜为非球面平凹反射镜,凹面镀有高反射率膜层,且朝向目标;第二个非球面反射镜为非球面平凸反射镜,凸面镀有高反射率膜层,且背向目标;目标发出的入射光通过第一个非球面反射镜反射光束到第二个非球面反射镜;再经第二个非球面反射镜反射后进入三个单透镜构成的透镜组,由三个单透镜的镜片矫正轴外像差;矫正后的光束再经分光棱镜分光后,将光束分为可见光和短波红外两束光;所分出的可见光和短波红外两束光再通过两个条带滤光片的调制,分别在探测器上成像。该系统结构紧凑,具有光学结构共口径、装调方便、成像质量好的优点,适用于对宽波段无穷远目标的光谱成像。

    用于过程监测的高动态范围测量系统

    公开(公告)号:CN108981917A

    公开(公告)日:2018-12-11

    申请号:CN201811006601.8

    申请日:2016-03-24

    Abstract: 本发明涉及用于过程监测的高动态范围测量系统。提供了一种闪光灯控制系统,其具有静态电连接到高电压电源的电容器,接着电流感测部件电连接到静态电容器和数字控制电子器件以监测静态电容器的充电电流和/或放电电流。动态可开关的电容器也可以电连接到高电压电源和数字控制电子器件,用于基于所监测的充电电流和/或放电电流将动态可开关的电容器与高电压电源相隔离。一个或多个均质化元件,包括空气间隙、漫射均质化元件、成像元件、非成像元件或光管均质化元件,可以被布置在接近于闪光灯的光路中,例如多通道分配器如果存在的话,以在时间上或光谱上或者在这二者上降低光学信号的变化系数。

    一种光电探测系统大动态范围响应线性测量装置

    公开(公告)号:CN108760047A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810491818.6

    申请日:2018-05-22

    CPC classification number: G01J3/0205

    Abstract: 本发明提供光电探测系统大动态范围响应线性测量装置。利用离轴抛反射镜作为准直镜,达到更好的准直效果;采用二次成像结构,有效的抑制了杂光,使其杂光抑制能够优于10‑9;通过切换三个滤光片轮使该装置输出能量的动态范围达到108;整个系统可以采用反射镜,合束器采用熔石英基底点阵分光器,有效光谱范围达到200nm‑2500nm;光源出光直接分束准直,并且在光源后侧利用反射镜聚光,使像面照度强于太阳在地表的辐照度;利用标准探测器对光源进行实时监测,对装置输出能量进行二次修正,进一步提高测量精度。

    一种应用于OCT光谱仪相机的对中调节装置及其工作方法

    公开(公告)号:CN108332852A

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201810438035.1

    申请日:2018-05-09

    Inventor: 刘治勇

    CPC classification number: G01J3/0205

    Abstract: 一种应用于OCT光谱仪相机的对中调节装置,其特征在于它包括:滑台组件、相机固定板、光源组件、相机支架、OCT相机、相机固定座;所述相机支架与滑台组件固定连接;所述OCT相机固定在相机支架上;所述OCT相机的sensor前端面与相机固定座的底面紧贴;所述相机固定座固定在相机固定板上;所述光源组件固定在所述相机固定板上端面;所述OCT相机与相机固定座的光学中心对正后,将OCT相机和相机固定座通过螺丝固定在一起组成一个相机组件,然后,OCT相机与相机支架分离,相机固定座与相机固定板分离。通过本发明可以实现预先将光谱仪中的OCT相机和相机固定座进行3个维度的调节,既能精确的保证相机的光学位置,也能降低光谱仪系统的成本。

    一种具有中性衰减特性的金属滤片及其制备方法

    公开(公告)号:CN107677367A

    公开(公告)日:2018-02-09

    申请号:CN201710940252.6

    申请日:2017-10-11

    CPC classification number: G01T1/29 G01J3/0205 G01N23/00 G01N2223/1016

    Abstract: 本发明涉及一种具有中性衰减特性的金属滤片及其制备方法,涉及软X射线辐射流定量测量领域。该制备方法包括:于衬底的一侧表面形成第一导电金属层;于第一导电金属层远离衬底的一侧表面形成光刻胶层,曝光、显影后于光刻胶层形成第一孔阵列,于具有第一孔阵列的光刻胶层电镀形成第二导电金属层,去除剩余的光刻胶得具有第二孔阵列的样品;去除衬底,于第一导电金属层远离第二导电金属层的一侧表面形成第三导电金属层后,按第二孔阵列刻蚀第二导电金属层,其操作可控,有效提高具有中性衰减特性的金属滤片的面均匀性、衰减特性和生产效率。具有中性衰减特性的金属滤片可同时标定和使用,提高了标定效率,降低了标定的不确定度。

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