公开(公告)号：KR100928109B1

公开(公告)日：2009-11-24

申请号：KR1020077011696

申请日：2006-10-25

Applicant: 가부시끼가이샤 도시바 ,  도시바 덴시칸 디바이스 가부시키가이샤

Inventor： 오타니료이치 ,  이시바시마코토

IPC: G01N21/63 ,  G01N21/64 ,  G01N21/00

CPC classification number: G01N21/718 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/024 ,  G01J3/4406 ,  G01N21/6458

Abstract: Pulse laser light transmitted through a laser light transmission optical fiber to an optical system unit passes through a distribution reflecting mirror and is condensed by a condenser lens group. The condenser lens group irradiates the condensed laser light onto an analysis object. The fluorescence emitted as a result of the irradiation of the pulse laser light onto the analysis object is condensed by the condenser lens group and is reflected by the distribution reflecting mirror. The optical system unit transmits the fluorescence reflected by the distribution reflecting mirror through an fluorescence transmission optical fiber to a fluorescence measuring instrument. The fluorescence measuring instrument determines the quantity of elements included in the analysis object on the basis of the fluorescence.

公开(公告)号：KR101563009B1

公开(公告)日：2015-10-23

申请号：KR1020097001350

申请日：2008-06-09

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18

Abstract: 분광모듈을후면(4b)의평행방향및 수직방향으로본체부(4)의이동을패키지(3)의내벽면(27, 29, 28)에의해규제한상태로, 패키지(3)에의해직접지지하는것에의해, 소형화를도모한경우에도분광모듈(2)을확실하게지지하는동시에, 패키지(3)의입사구(22a), 분광모듈(2)의분광부(6) 및광검출소자(7)끼리의위치정밀도를충분히확보한다. 또, 패키지(3)에리드(23)가매입된리드도출부(26)로도출및 지지하는것에의해, 와이어본딩에의해리드(23)와광검출소자(7)를전기적으로접속할때에, 패키지(3)의리드도출부(26) 자체에기대의역할을하게하여분광모듈(2)의파손이나어긋남등을방지한다.

Abstract translation: 通过背面平行方向的分光模块和（4b）中，在封装3 uinae壁（27，29，28）的主体部4，直接由封装件3支撑的垂直方向的运动的调节hansangtae 即使当尺寸减小并且同时包装3的入射孔22a，分光模块2的分光部分6， 是不够的。 当引线23通过释放并支撑埋在封装3中的引线23而通过引线键合与光检测罐7电连接时， 反射器3的引出部分26本身用作基座，由此防止分光模块2被损坏或移位。

公开(公告)号：KR1020140118887A

公开(公告)日：2014-10-08

申请号：KR1020140035830

申请日：2014-03-27

Applicant: 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스

Inventor： 마츠자와오사무 ,  아카마츠겐이치 ,  이꾸유타카

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01J3/0218 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/443 ,  G01N21/73

Abstract: Provided is an ICP optical emission spectrometer which introduces an atomic emission line into a spectroscope using an optical fiber to achieve excellent optical characteristics. An ICP optical emission spectrometer (1) includes an inductively coupled plasma device (10), an optical fiber (20), a spectroscope (30), an attaching member (40), and a light emission hole (41). The optical fiber (20) is disposed between the inductively coupled plasma device (18) and the spectroscope (30), and is connected to the spectroscope (30) by the attaching member (40). An atomic emission line passes through the optical fiber (20) and the light emission hole (41), and enters the spectroscope (30). The attaching member (40) is attached to the spectroscope (30), and a cap (45) inserts and fixes a light transmitting portion (21), of which the optical fiber (20) is exposed. The light emission hole (41) formed in the cap (45) is disposed adjacent to an end surface (23) of the light transmitting portion (21).

Abstract translation: 提供了一种ICP发射光谱仪，其使用光纤将原子发射线引入分光镜以获得优异的光学特性。 ICP发射光谱仪（1）包括电感耦合等离子体装置（10），光纤（20），分光镜（30），附接构件（40）和发光孔（41）。 光纤（20）设置在电感耦合等离子体装置（18）和分光器（30）之间，并通过安装构件（40）连接到分光器（30）。 原子发射线通过光纤（20）和发光孔（41），并进入分光器（30）。 安装构件（40）安装在分光器（30）上，盖（45）插入并固定光纤（20）露出的透光部（21）。 形成在盖（45）中的发光孔（41）与透光部（21）的端面（23）相邻配置。

公开(公告)号：KR1020050020999A

公开(公告)日：2005-03-04

申请号：KR1020047020306

申请日：2003-05-23

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 샌드스트롬리차드엘. ,  멜치올존티. ,  라오라하세카르

IPC: H01S3/03

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J1/4257 ,  G01J1/429 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/027 ,  G01J9/02 ,  G01J9/0246 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70933 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0071 ,  H01S3/02 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0385 ,  H01S3/0401 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/08036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/1024 ,  H01S3/104 ,  H01S3/105 ,  H01S3/1055 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/134 ,  H01S3/139 ,  H01S3/22 ,  H01S3/2207 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/2251 ,  H01S3/2256 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333 ,  H01S3/2366

Abstract: 본 발명은 5mJ 이상의 펄스 에너지에서 2000Hz인 것 보다 큰 펄스율로 펄스된 자외선 레이저 시스템에서 장기 수명 빔 퀄리티를 모니터링할 수 있는 자외선 레이저용 파장계(7A)를 제공한다. 바람직한 실시예에서 향상된 조명 구성은 통상적인 종래기술 구성에 비해 에탈론(184)의 펄스 조명 당 28인 인수만큼 감소시킨다. 본 바람직한 실시예에서 에탈론에 의해 산출된 간섭 패턴을 측정하도록 위치된 선형 광다이오드 어레이(180)를 일루미네이팅하기 위해 필요한 양만큼으로만 에탈론에 입사하는 광을 감소시키는 광학기구가 제공된다. 본 실시예에서 빔 스플리터(173)의 두 표면으로부터의 반사에 의해 산출된 두 개의 샘플 빔은 확산성 디퓨저(181D)에 의해 확산되고 확산성 디퓨저의 출력은 스펙트럼적으로 등가인 두 확산 빔을 두 개의 개별 디퓨저에 효과적으로 조합하는 두 개의 개별 이차 디퓨저(181G, 181R)상에 포커싱된다. 하나의 빔은 파장 및 대역폭 측정에 사용되고 다른 빔은 교정을 위해 사용된다. 바람직한 실시예에서 에탈론 챔버는 1.6 내지 2.4 퍼센트사이의 산소 농도를 갖는 질소를 함유한다.

公开(公告)号：TW201126157A

公开(公告)日：2011-08-01

申请号：TW099126216

申请日：2010-08-06

Applicant: 環球生物研究股份有限公司

Inventor： 田島秀二

IPC: G01N

CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0235 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/08 ,  G01J3/10 ,  G01J3/32 ,  G01J3/4406 ,  G01J2003/1213 ,  G01N21/253 ,  G01N35/028 ,  G01N2021/6484 ,  G01N2201/0826 ,  G01N2201/0833 ,  G02B6/4298

Abstract: 本發明係關於光纖測定裝置及測定方法,目的為以簡單且簡潔的構造提供一種高可靠性的裝置及方法。本發明之裝置係具有:平面狀液體收容體,係沿著平面配置複數個液體收容部;複數條受光用光纖,係用以傳送在前述液體收容部內產生的螢光;複數條照射用光纖,係用以將激發光傳送至前述液體收容部內;測定用頭件,係支持具有受光用光纖的一個受光端及照射用光纖的一個照射端之束的複數個測定端,並使其位於前述各液體收容部;受光選擇元件,係從複數條受光用光纖之中一個一個地依序選擇並且從複數種波長或波長帶中一個一個地依序選擇,並對所選擇的受光用光纖所受光的螢光將所選擇的波長或波長帶的光線依序導引至一個光電元件;以及光電元件,係將導引的前述螢光依序進行光電變換而構成。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于光纤测定设备及测定方法,目的为以简单且简洁的构造提供一种高可靠性的设备及方法。本发明之设备系具有:平面状液体收容体,系沿着平面配置复数个液体收容部;复数条受光用光纤,系用以发送在前述液体收容部内产生的萤光;复数条照射用光纤,系用以将激发光发送至前述液体收容部内;测定用头件,系支持具有受光用光纤的一个受光端及照射用光纤的一个照射端之束的复数个测定端,并使其位于前述各液体收容部;受光选择组件,系从复数条受光用光纤之中一个一个地依序选择并且从复数种波长或波长带中一个一个地依序选择,并对所选择的受光用光纤所受光的萤光将所选择的波长或波长带的光线依序导引至一个光电组件;以及光电组件,系将导引的前述萤光依序进行光电变换而构成。

公开(公告)号：KR1020170029892A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：KR1020150127034

申请日：2015-09-08

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  연세대학교 산학협력단

Inventor： 김인중 ,  윤일구

IPC: G02B3/00 ,  H01J37/32 ,  G01J3/443 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/768

CPC classification number: G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/024 ,  G01J3/443 ,  G02B5/205 ,  G02B7/021 ,  H01J37/32972 ,  H01J37/3299 ,  H01L21/67253

Abstract: 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출하는데이용할수 있는튜브형렌즈, 그튜브형렌즈를포함한 OES 장치, OES 장치를포함한플라즈마모니터링시스템및 그시스템을이용한반도체제조방법을제공한다. 그튜브형렌즈는원통형튜브; 광이입사하는상기튜브의입구쪽에배치되고, 중심영역으로상기광의투과가차단된제1 렌즈; 및상기광이출사하는상기튜브의출구쪽에배치된제2 렌즈;를포함한다.

Abstract translation: 本发明的技术特征提供了一种使用等离子监控系统和包括该OES设备，OES设备，包括等离子处理eseoui等离子体状态的筒状透镜的系统中，并且可用于精确地检测镜头管的半导体制造方法。 管状透镜包括圆柱形管; 它被设置在使光入射时，在第一透镜和光透射被阻挡在中央区域中的管的入口; 并且第二透镜设置在光出射的管的出口侧。

公开(公告)号：KR1020140054452A

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：KR1020147010147

申请日：2009-05-08

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G02B5/1861 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  Y10T29/4998

Abstract: 본 발명에 관한 분광기는, 광을 분광부(分光部)에 의해 분광하여 광검출소자에 의해서 검출하는 분광기로서, 상기 광검출소자가 장차된 패키지와, 상기 광검출소자에 전기적으로 접속된 배선을 구비하고, 상기 패키지에는 오목부가 형성되어 있으며, 상기 오목부의 내면에는 상기 분광부가 형성되어 있고, 상기 배선은 상기 패키지의 측부를 따라서 상기 패키지의 바닥면 측으로 연장해 있는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020110011594A

公开(公告)日：2011-02-08

申请号：KR1020107015313

申请日：2009-05-08

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/18 ,  G02B7/00

CPC classification number: G02B5/1861 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  Y10T29/4998

Abstract: 우선, 외형이 직방체(直方體) 모양이며, 바닥면에 한 쌍의 홈을 가지고, 반구 모양의 오목부(10)를 가지도록 수지 성형된 상자체(5)를 준비한다. 이어서, 이 상자체(5)의 오목부(10)의 바닥부의 영역(12)에, 광경화성의 수지제(27)를 도포한다. 이어서, 도포된 수지제(27)에 바닥면에 복수의 그레이팅홈이 소정의 방향을 따라서 배열하여 형성된 광투과성의 형틀(28)을 눌러 닿게 함과 아울러, 광을 조사하여 수지제(27)를 경화시켜, 복수의 그레이팅홈이 형성된 그레이팅(29)을 오목부(9)의 영역(12)에 형성한다. 이어서, 그레이팅(29)을 덮도록 Al나 Au 등을 증착함으로써 반사막(15)을 형성한다. 이어서, 광검출소자(4)를 패키지(2) 내에 수용한다. 이것에 의해, 용이하게 신뢰도가 높은 분광기를 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100119839A

公开(公告)日：2010-11-11

申请号：KR1020097001350

申请日：2008-06-09

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 시바야마가츠미

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/024 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18

Abstract: 분광 모듈을 후면(4b)의 평행 방향 및 수직 방향으로 본체부(4)의 이동을 패키지(3)의 내벽면(27, 29, 28)에 의해 규제한 상태로, 패키지(3)에 의해 직접 지지하는 것에 의해, 소형화를 도모한 경우에도 분광 모듈(2)을 확실하게 지지하는 동시에, 패키지(3)의 입사구(22a), 분광 모듈(2)의 분광부(6) 및 광검출 소자(7)끼리의 위치 정밀도를 충분히 확보한다. 또, 패키지(3)에 리드(23)가 매입된 리드 도출부(26)로 도출 및 지지하는 것에 의해, 와이어 본딩에 의해 리드(23)와 광검출 소자(7)를 전기적으로 접속할 때에, 패키지(3)의 리드 도출부(26) 자체에 기대의 역할을 하게 하여 분광 모듈(2)의 파손이나 어긋남 등을 방지한다.

公开(公告)号：WO2016115631A1

公开(公告)日：2016-07-28

申请号：PCT/CA2016/050044

申请日：2016-01-21

Applicant: TORNADO SPECTRAL SYSTEMS INC.

Inventor： DESROCHES, Brandon Joseph ,  BEHR, Bradford Bartholomew ,  MEADE, Jeffrey Thomas ,  BISMILLA, Yusuf ,  CENKO, Andrew T.

IPC: G02B27/09 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/024 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G02B27/30

Abstract: A hybrid image-pupil optical reformatter and method for optional use with a spectrometer is disclosed, which performs beam slicing in pupil space and stacks replicas of the input source generated from the pupil beam slices in image space. The optical reformatter comprises a collimator which receives an input light and produces a collimated beam; a first optical element which receives the collimated beam, redirects portions of the collimated beam back toward the collimator as reimaged beams and permits portions of the collimated beam to pass; a second optical element which receives the reimaging beams and redirects the reimaging beams back toward the collimator and the first optical element; to form an output beam comprising the portions of the collimated beams that are not redirected toward the collimator by the first optical element. Also disclosed is the use of the reformatter for reformatting the input light of a spectrometer system, and the use of the reformatter as part of a spectrometer device.

Abstract translation: 公开了一种用于光谱仪可选用的混合图像 - 光瞳光学重新格式化方法和方法，其在瞳距空间中进行光束切片并且堆叠从图像空间中的瞳孔光束切片产生的输入源的副本。 光学重构器包括准直器，其接收输入光并产生准直光束; 接收准直光束的第一光学元件将准直光束的部分重新定向成准直仪，作为再成像光束并允许准直光束的部分通过; 第二光学元件，其接收所述成像光束并将所述再成像光束重新定向回所述准直器和所述第一光学元件; 以形成包括未被第一光学元件重新定向到准直器的准直光束的部分的输出光束。 还公开了使用重新格式化器重新格式化分光计系统的输入光，以及使用重新格式化器作为光谱仪装置的一部分。