시계열 변환 펄스 분광 계측 장치
    41.
    发明授权
    시계열 변환 펄스 분광 계측 장치 有权
    时间序列转换脉冲光谱仪

    公开(公告)号:KR100852453B1

    公开(公告)日:2008-08-14

    申请号:KR1020077010457

    申请日:2004-08-19

    CPC classification number: G01J3/08 G01N21/3586 G01N2201/0696 G01N2201/0698

    Abstract: 본 발명은 시계열(時系列) 변환 펄스 분광(分光) 계측 장치의 시계열 신호 취득을 위한 광로차(光路差) 보상 기구에 관한 것으로서, 다양한 시료(試料)나 그 상태 등의 시계열 변환 펄스 분광 계측이 용이하게 단시간에 행할 수 있는 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치는, 펄스 레이저광원과 펄스 레이저광원으로부터의 펄스 레이저광을 여기용(勵起用) 펄스 레이저광과 검출용 펄스 레이저광으로 분할하는 분할 수단과 펄스광 방사(放射) 수단과 검출 수단과 시료를 지지하는 시료 지지부와 시료부 입출사(入出射) 광학계를 구비한 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치에 있어서, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 1개의 측광역 설정용의 광로 길이 변경 수단과, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 하나의 시계열 신호 측정용의 광학적 지연 수단을 구비한 것이다.
    시계열 변환 펄스 분광 계측 장치, 시계열 신호 취득을 위한 광로차 보상 기구

    진공 자외선 참조 반사율계
    42.
    发明公开
    진공 자외선 참조 반사율계 有权
    真空超声波参考反射计

    公开(公告)号:KR1020070001051A

    公开(公告)日:2007-01-03

    申请号:KR1020067005681

    申请日:2004-09-21

    Abstract: A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007

    Abstract translation: 提供了在真空紫外光谱中操作的光谱系统(500)。 更具体地,提供了在真空紫外光谱中利用反射测量技术的系统用于计量学应用。 为了确保精确和可重复的测量,控制光路(506,508)的环境以限制可能存在于光路中的气体的吸收效应。 为了考虑可能仍然发生的吸收效应,光路的长度被最小化。 为了进一步考虑吸收效应,反射率数据可以参考相对标准。 ®KIPO&WIPO 2007

    형광, 인광 측정장치
    43.
    发明公开
    형광, 인광 측정장치 失效
    荧光,磷光测量装置

    公开(公告)号:KR1020030062278A

    公开(公告)日:2003-07-23

    申请号:KR1020030002681

    申请日:2003-01-15

    CPC classification number: G01N21/6452 G01J3/08 G01J3/4406

    Abstract: 본 발명은 형광 측정장치, 인광 측정장치의 노이즈를 저감시켜, 장치 또는 시료용기에 유래하는 백그라운드를 내려 결과적으로 계측시의 S/N 비가 증대하여 장치최소 검출감도를 높일 수 있고, 또한 고신뢰성, 저비용의 형광, 인광 측정장치를 제공한다.
    형광 측정장치 또는 인광 측정장치에 있어서 시료의 분석측정을 행할 때, 광원으로부터 발생하는 여기광의 시료까지의 광로와 시료로부터 발생하는 형광 또는 인광의 검출부까지의 광로의 양자를 차단한다. 1개의 초퍼에 의하여 이를 행한다.

    光纖測定裝置及其測定方法 OPTICAL FIBRE TYPE MEASURING DEVICE, AND ITS MEASURING METHOD
    44.
    发明专利
    光纖測定裝置及其測定方法 OPTICAL FIBRE TYPE MEASURING DEVICE, AND ITS MEASURING METHOD 审中-公开
    光纤测定设备及其测定方法 OPTICAL FIBRE TYPE MEASURING DEVICE, AND ITS MEASURING METHOD

    公开(公告)号:TW201126157A

    公开(公告)日:2011-08-01

    申请号:TW099126216

    申请日:2010-08-06

    Inventor: 田島秀二

    IPC: G01N

    Abstract: 本發明係關於光纖測定裝置及測定方法,目的為以簡單且簡潔的構造提供一種高可靠性的裝置及方法。本發明之裝置係具有:平面狀液體收容體,係沿著平面配置複數個液體收容部;複數條受光用光纖,係用以傳送在前述液體收容部內產生的螢光;複數條照射用光纖,係用以將激發光傳送至前述液體收容部內;測定用頭件,係支持具有受光用光纖的一個受光端及照射用光纖的一個照射端之束的複數個測定端,並使其位於前述各液體收容部;受光選擇元件,係從複數條受光用光纖之中一個一個地依序選擇並且從複數種波長或波長帶中一個一個地依序選擇,並對所選擇的受光用光纖所受光的螢光將所選擇的波長或波長帶的光線依序導引至一個光電元件;以及光電元件,係將導引的前述螢光依序進行光電變換而構成。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于光纤测定设备及测定方法,目的为以简单且简洁的构造提供一种高可靠性的设备及方法。本发明之设备系具有:平面状液体收容体,系沿着平面配置复数个液体收容部;复数条受光用光纤,系用以发送在前述液体收容部内产生的萤光;复数条照射用光纤,系用以将激发光发送至前述液体收容部内;测定用头件,系支持具有受光用光纤的一个受光端及照射用光纤的一个照射端之束的复数个测定端,并使其位于前述各液体收容部;受光选择组件,系从复数条受光用光纤之中一个一个地依序选择并且从复数种波长或波长带中一个一个地依序选择,并对所选择的受光用光纤所受光的萤光将所选择的波长或波长带的光线依序导引至一个光电组件;以及光电组件,系将导引的前述萤光依序进行光电变换而构成。

    MINIATURSPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUM SCHALTEN EINES MINIATURSPEKTROMETERS ZWISCHEN ABBILDUNGSMODUS UND SPEKTROMETERMODUS
    47.
    发明申请
    MINIATURSPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUM SCHALTEN EINES MINIATURSPEKTROMETERS ZWISCHEN ABBILDUNGSMODUS UND SPEKTROMETERMODUS 审中-公开
    的微型光谱仪和方法用于切换的微型光谱仪之间的图像模式和谱仪模式

    公开(公告)号:WO2017133810A1

    公开(公告)日:2017-08-10

    申请号:PCT/EP2016/079710

    申请日:2016-12-05

    CPC classification number: G01J3/447 G01J3/027 G01J3/08

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Miniaturspektrometer (10) zur Spektrometrie und zur Bilderfassung, umfassend - eine Detektionseinheit (7) zur Erfassung einer optischen Größe und - eine optische Einheit, umfassend einen Polarisator (2), ein Savart-Element (40), welches ein erstes doppelbrechendes Element (4a) und ein zweites doppelbrechendes Element (4b) umfasst und einen Analysator (5), dadurch gekennzeichnet, dass - im Strahlengang zwischen dem Polarisator (2) und dem Savart-Element (40) ein erstes Flüssigkristallelement (3a) angeordnet ist, welches dazu ausgelegt ist, eine vierte Polarisationsachse (203) von einer aus dem ersten Flüssigkristallelement austretenden Strahlung (103) derart einzustellen, dass die aus dem ersten Flüssigkristallelement austretende Strahlung (103) in einem Abbildungsmodus des Miniaturspektrometers (10) das erste doppelbrechende Element (4a) ohne Aufspaltung durchläuft und die aus dem ersten Flüssigkristallelement austretende Strahlung (103) in einem Spektrometermodus des Miniaturspektrometers (10) im ersten doppelbrechenden Element (4a) in einen ersten ordentlichen Strahl (500b) und einen ersten außerordentlichen Strahl (500a) aufgespalten wird und - wobei im Strahlengang hinter dem Savart-Element (40) der Analysator (5) angeordnet ist und - im Strahlengang hinter dem Analysator (5) die Detektionseinheit (7) angeordnet ist.

    Abstract translation:

    本发明涉及一种微型光谱仪(10),用于分析和图像捕获,包括: - 检测单元(7),用于检测光的GrÖ道路以及 - 光学单元,包括一个偏振器(2) 偏振器(2)和萨伐尔之间在光束路径 - 具有第一双折射元件(4a)和第二双折射元件(4B)和分析器(5),其特征在于,萨伐尔元件(40) 元件(40)具有第一FL导航用途ssigkristallelement(3A)被布置,其适于接收所述第一FL导航用途设置ssigkristallelement射辐射的一个(103)的第四偏振轴(203),使得从所述第一FL导航用途ssigkristallelement 输出辐射(103)在微型光谱仪(10),所述第一双折射元件(4a)的成像模式而不分裂殿下BEAR运行,并从所述第一FL导航用途ssigkristallelement 输出辐射(103)在第一双折射元件(4a)中的微型光谱仪(10)的光谱仪模式为第一正常光线(500B)和第一AU ROAD erordentlichen光束(500A)被分裂并且 - 其中在萨伐尔元件后面的光束路径 (40)中布置分析仪(5),并且 - 在分析仪(5)后面的光束路径中,检测单元(7)

    MESSANORDNUNG ZUR REFLEXIONSMESSUNG
    48.
    发明申请
    MESSANORDNUNG ZUR REFLEXIONSMESSUNG 审中-公开
    测量器具,用于反射测量

    公开(公告)号:WO2016015921A1

    公开(公告)日:2016-02-04

    申请号:PCT/EP2015/063898

    申请日:2015-06-22

    Abstract: Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe (04, 21, 42, 54, 66) in einem Produktionsprozess der Probe (04, 21, 42, 54). Sie umfasst eine Lichtquelle zur Erzeugung vom Messlicht, einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes; einen beweglichen Reflektor (6, 16, 39, 52, 59,62) und einen Empfänger (07, 22, 37, 53) zum Einsammeln des von der Probe (04, 21, 42, 54) und/oder dem Reflektor (6, 16, 39, 52) reflektierten Messlichtes. Erfindungsgemäß ist der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) sowohl für eine Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert und auf der selben Seite der Probe (04, 21, 42, 4, 66) wie die Lichtquelle angeordnet, um das reflektierte Messlicht dem Empfänger (07, 22, 37, 53) zuzuführen.

    Abstract translation: 本发明涉及一种测量装置,用于在所述样品(04,21,42,54)的生产过程中检测样品(04,21,42,54,66)的绝对反射光谱。 它包括用于产生测量光,用于产生测量的光的均匀的空间的照明强度分布均化器的光源; 一个可动反射器(6,16,39,52,59,62)和接收器(07,22,37,53),用于从(04,21,42,54)和/或反射器收集样品(6 ,16,39,52)反射的测量光。 据位于两个参考测量,以及用于在观测光束的路径和在样品(04,21,42,4,66)的同一侧上的样品测量的本发明中,反射器(6,16,39,52,59,62)是如 布置在光源,反射的测量光接收器(07,22,37,53)供给。

    HYPERSPECTRAL IMAGING SYSTEM AND METHOD FOR IMAGING A REMOTE OBJECT
    49.
    发明申请
    HYPERSPECTRAL IMAGING SYSTEM AND METHOD FOR IMAGING A REMOTE OBJECT 审中-公开
    用于成像远程对象的高精度成像系统和方法

    公开(公告)号:WO2014018305A1

    公开(公告)日:2014-01-30

    申请号:PCT/US2013/050620

    申请日:2013-07-16

    Abstract: A hyperspectral imaging system and method are described herein for providing a hyperspectral image of an area of a remote object (e.g., scene of interest). The hyperspectral imaging system includes at least one optic, a scannable slit mechanism, a spectrometer, a two-dimensional image sensor, and a controller. The scannable slit mechanism can be a micro-electromechanical system spatial light modulator (MEMS SLM), a diffractive Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) spatial light modulator (SLM), a digital light processing (DLP) system, a liquid crystal display, a rotating drum with at least one slit formed therein, or a rotating disk with at least one slit formed therein.

    Abstract translation: 本文描述了一种用于提供远程对象(例如,感兴趣的场景)的区域的高光谱图像的高光谱成像系统和方法。 高光谱成像系统包括至少一个光学元件,可扫描狭缝机构,光谱仪,二维图像传感器和控制器。 可扫描狭缝机构可以是微机电系统空间光调制器(MEMS SLM),衍射微光电机械系统(MOEMS)空间光调制器(SLM),数字光处理(DLP)系统,液体 晶体显示器,其中形成有至少一个狭缝的旋转滚筒或其中形成有至少一个狭缝的旋转盘。

    分光光学系、分光測定装置
    50.
    发明申请
    分光光学系、分光測定装置 审中-公开
    光谱光学系统,光谱测量装置

    公开(公告)号:WO2013187114A1

    公开(公告)日:2013-12-19

    申请号:PCT/JP2013/060994

    申请日:2013-04-11

    Inventor: 尾関 幸宏

    Abstract:  不感度領域の影響を軽減させ、光の波長分布の情報を得ることが可能な技術を提供する。分光光学系は、導光部と、投射光学系と、フィルタ部と、受光部と、切換部とを有する。導光部は、複数の波長を含む光を出射する。投射光学系は、導光部からの複数の波長を含む光を平行光として出射する。フィルタ部は、投射光学系からの平行光を、波長が所定方向に連続して変化する透過光として出射する。受光部は、透過光を波長毎に受光する複数の受光素子を有する。切換部は、フィルタ部に入射する平行光の入射角度を所定方向に切り換える。

    Abstract translation: 提供了可以减轻非敏感区域的影响的技术,并且可以获得关于光波长分布的信息。 该分光光学系统包括导光部分,光学投影系统,滤光器部分,光接收部分和开关部分。 导光部发射多个波长的光。 光学投影系统将来自导光部的多个波长的光作为准直光发射。 滤光器部分发射来自光学投影系统的准直光作为透射光,其波长在预定方向上连续变化。 光接收部分包括接收根据波长的透射光的多个光接收元件。 切换部在预定方向上切换进入过滤器部分的准直光的入射角。

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