Abstract:
본 발명은 시계열(時系列) 변환 펄스 분광(分光) 계측 장치의 시계열 신호 취득을 위한 광로차(光路差) 보상 기구에 관한 것으로서, 다양한 시료(試料)나 그 상태 등의 시계열 변환 펄스 분광 계측이 용이하게 단시간에 행할 수 있는 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치는, 펄스 레이저광원과 펄스 레이저광원으로부터의 펄스 레이저광을 여기용(勵起用) 펄스 레이저광과 검출용 펄스 레이저광으로 분할하는 분할 수단과 펄스광 방사(放射) 수단과 검출 수단과 시료를 지지하는 시료 지지부와 시료부 입출사(入出射) 광학계를 구비한 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치에 있어서, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 1개의 측광역 설정용의 광로 길이 변경 수단과, 분할 수단으로부터 펄스광 방사 수단까지의 입사측 광로 및/또는 분할 수단으로부터 검출 수단까지의 검출측 광로 중 어느 하나에 배치된 적어도 하나의 시계열 신호 측정용의 광학적 지연 수단을 구비한 것이다. 시계열 변환 펄스 분광 계측 장치, 시계열 신호 취득을 위한 광로차 보상 기구
Abstract:
A spectroscopy system (500) is provided which operates in the vacuum ultra-violet spectrum. More particularly, a system utilizing reflectometry techniques in the vacuum ultraviolet spectrum is provided for use in metrology applications. To ensure accurate and repeatable measurement, the environment of the optical paths (506, 508) is controlled to limit absorption effects of gases that may be present in the optical path. To account for absorption effects that may still occur, the length of the optical path is minimized. To further account for absorption effects, the reflectance data may be referenced to a relative standard. ® KIPO & WIPO 2007
Abstract:
본 발명은 형광 측정장치, 인광 측정장치의 노이즈를 저감시켜, 장치 또는 시료용기에 유래하는 백그라운드를 내려 결과적으로 계측시의 S/N 비가 증대하여 장치최소 검출감도를 높일 수 있고, 또한 고신뢰성, 저비용의 형광, 인광 측정장치를 제공한다. 형광 측정장치 또는 인광 측정장치에 있어서 시료의 분석측정을 행할 때, 광원으로부터 발생하는 여기광의 시료까지의 광로와 시료로부터 발생하는 형광 또는 인광의 검출부까지의 광로의 양자를 차단한다. 1개의 초퍼에 의하여 이를 행한다.
Abstract in simplified Chinese:本发明系关于光纤测定设备及测定方法,目的为以简单且简洁的构造提供一种高可靠性的设备及方法。本发明之设备系具有:平面状液体收容体,系沿着平面配置复数个液体收容部;复数条受光用光纤,系用以发送在前述液体收容部内产生的萤光;复数条照射用光纤,系用以将激发光发送至前述液体收容部内;测定用头件,系支持具有受光用光纤的一个受光端及照射用光纤的一个照射端之束的复数个测定端,并使其位于前述各液体收容部;受光选择组件,系从复数条受光用光纤之中一个一个地依序选择并且从复数种波长或波长带中一个一个地依序选择,并对所选择的受光用光纤所受光的萤光将所选择的波长或波长带的光线依序导引至一个光电组件;以及光电组件,系将导引的前述萤光依序进行光电变换而构成。
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Miniaturspektrometer (10) zur Spektrometrie und zur Bilderfassung, umfassend - eine Detektionseinheit (7) zur Erfassung einer optischen Größe und - eine optische Einheit, umfassend einen Polarisator (2), ein Savart-Element (40), welches ein erstes doppelbrechendes Element (4a) und ein zweites doppelbrechendes Element (4b) umfasst und einen Analysator (5), dadurch gekennzeichnet, dass - im Strahlengang zwischen dem Polarisator (2) und dem Savart-Element (40) ein erstes Flüssigkristallelement (3a) angeordnet ist, welches dazu ausgelegt ist, eine vierte Polarisationsachse (203) von einer aus dem ersten Flüssigkristallelement austretenden Strahlung (103) derart einzustellen, dass die aus dem ersten Flüssigkristallelement austretende Strahlung (103) in einem Abbildungsmodus des Miniaturspektrometers (10) das erste doppelbrechende Element (4a) ohne Aufspaltung durchläuft und die aus dem ersten Flüssigkristallelement austretende Strahlung (103) in einem Spektrometermodus des Miniaturspektrometers (10) im ersten doppelbrechenden Element (4a) in einen ersten ordentlichen Strahl (500b) und einen ersten außerordentlichen Strahl (500a) aufgespalten wird und - wobei im Strahlengang hinter dem Savart-Element (40) der Analysator (5) angeordnet ist und - im Strahlengang hinter dem Analysator (5) die Detektionseinheit (7) angeordnet ist.
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zur Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe (04, 21, 42, 54, 66) in einem Produktionsprozess der Probe (04, 21, 42, 54). Sie umfasst eine Lichtquelle zur Erzeugung vom Messlicht, einen Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes; einen beweglichen Reflektor (6, 16, 39, 52, 59,62) und einen Empfänger (07, 22, 37, 53) zum Einsammeln des von der Probe (04, 21, 42, 54) und/oder dem Reflektor (6, 16, 39, 52) reflektierten Messlichtes. Erfindungsgemäß ist der Reflektor (6, 16, 39, 52, 59, 62) sowohl für eine Referenzmessung, als auch für eine Probenmessung in einem Beobachtungsstrahlengang positioniert und auf der selben Seite der Probe (04, 21, 42, 4, 66) wie die Lichtquelle angeordnet, um das reflektierte Messlicht dem Empfänger (07, 22, 37, 53) zuzuführen.
Abstract:
A hyperspectral imaging system and method are described herein for providing a hyperspectral image of an area of a remote object (e.g., scene of interest). The hyperspectral imaging system includes at least one optic, a scannable slit mechanism, a spectrometer, a two-dimensional image sensor, and a controller. The scannable slit mechanism can be a micro-electromechanical system spatial light modulator (MEMS SLM), a diffractive Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS) spatial light modulator (SLM), a digital light processing (DLP) system, a liquid crystal display, a rotating drum with at least one slit formed therein, or a rotating disk with at least one slit formed therein.