公开(公告)号：US20030210885A1

公开(公告)日：2003-11-13

申请号：US10163153

申请日：2002-06-04

Inventor： Dennis Chi Zhou ,  Kai Zhang ,  Shou-Jong Sheih

IPC: G02B006/00

CPC classification number: G01J1/4257 ,  G01J1/04 ,  G01J1/0418 ,  G01N2021/95676 ,  G01N2201/10 ,  G01N2201/104 ,  G02B6/266 ,  G02B6/4215 ,  G02B6/4286 ,  H04B10/077 ,  H04B10/07955

Abstract: The present invention is directed towards a channel power monitor for monitoring channel power levels for each of N signal channels. The value of each channel power level is designated as p(nulli), where nulll is a channel parameter that characterizes each channel. An embodiment of the invention includes a variable channel attenuator having M attenuation profiles where MnullN, and where a k-th attenuation profile is characterized as a function of the channel parameter nulll by Ak(nulll). This embodiment also includes a detector for measuring a k-th integrated attenuated power level, the value of which is represented by Pk. An analysis unit receives all of the values Pk of the integrated attenuated power levels and thereupon derives the values p(nulll) of the channel power levels by solving a set of linear equations.

Abstract translation: 本发明涉及用于监视N个信号信道中的每一个的信道功率电平的信道功率监视器。 每个通道功率电平的值被指定为p（lambdai），其中lambdal是表示每个通道的通道参数。 本发明的实施例包括具有M衰减分布的可变信道衰减器，其中M> = N，其中第k衰减分布被Ak（lambdal）的信道参数lambdal的函数表征。 该实施例还包括用于测量第k个积分衰减功率电平的检测器，其值由Pk表示。 分析单元接收积分衰减功率电平的所有值Pk，并且通过求解一组线性方程式导出信道功率电平的值p（lambdal）。

公开(公告)号：WO2016182820A1

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：PCT/US2016/030838

申请日：2016-05-04

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： SULLIVAN, Jamie ,  CHURIN, Evgeny

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0635 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/105 ,  G01N2201/106 ,  G02B26/101 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/123 ,  G02F1/33

Abstract: A system to generate multiple beam lines in an oblique angle multi-beam spot scanning wafer inspection system includes a beam scanning device configured to scan a beam of illumination, an objective lens oriented at an oblique angle relative to the surface of a sample and with an optical axis perpendicular to a first scanning direction on the sample, and one or more optical elements positioned between the objective lens and the beam scanning device. The one or more optical elements split the beam into two or more offset beams such that the two or more offset beams are separated in a least a second direction perpendicular to the first direction. The one or more optical elements further modify the phase characteristics of the two or more offset beams such that the two or more offset beams are simultaneously in focus on the sample during a scan.

Abstract translation: 在斜角多光束点扫描晶片检查系统中产生多个光束线的系统包括：束扫描装置，被配置为扫描照射束;物镜相对于样品的表面以倾斜角度定向;以及 垂直于样品上的第一扫描方向的光轴和位于物镜和束扫描装置之间的一个或多个光学元件。 一个或多个光学元件将光束分成两个或更多个偏移光束，使得两个或更多个偏移光束在垂直于第一方向的至少第二方向上分离。 一个或多个光学元件进一步修改两个或多个偏移光束的相位特性，使得两个或更多个偏移光束在扫描期间同时聚焦在样本上。

公开(公告)号：WO2013191040A1

公开(公告)日：2013-12-27

申请号：PCT/JP2013/066096

申请日：2013-06-11

Applicant: シャープ株式会社

Inventor： 川向　良平

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6456 ,  G01N21/6486 ,  G01N27/44721 ,  G01N27/44778 ,  G01N2021/6478 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/104

Abstract: 　走査モジュール(９)を第１プレート(３２)の上側に配置し、走査モジュール(９)を第２走査方向に移動させるための第１モータ(３９)と、走査モジュール(９)を第１走査方向に移動させるための第２モータ(４９)とを、第１プレート(３２)の下側に配置する。こうして、熱源となる第１モータ(３９)および第２モータ(４９)を、第１プレート(３２)を境界として走査モジュール(９)側とは反対側に設置して、第１モータ(３９)および第２モータ(４９)から走査モジュール(９)への熱の伝達量を小さくする。その結果、走査モジュール(９)内の検出光学系の熱的歪みによる蛍光検出精度の低下を防止する。

Abstract translation: 扫描模块（9）布置在第一板（32）的上方。 用于沿第二扫描方向移动扫描模块（9）的第一马达（39）和用于沿第一扫描方向移动扫描模块（9）的第二马达（49）布置在第一板（32）下方。 以这种方式，由第一电动机（39）和第二电动机（49）构成的热源与扫描电动机（9）的相反侧配置，第一板（32）构成其间的边界; 从第一电动机（39）和第二电动机（49）向扫描模块（9）传递的热量减少。 结果，可以防止扫描模块（9）中的检测光学系统的热变形引起的荧光检测精度的降低。

公开(公告)号：WO2003021222A2

公开(公告)日：2003-03-13

申请号：PCT/US2002/027735

申请日：2002-08-30

Applicant: BURSTEIN TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： SELVAN, Gowri, Pyapali ,  GORDON, John, Francis ,  BRAZIL, Karen, Jean ,  URCIA, Joseph, Roby, Iringan

IPC: G01N

CPC classification number: G01N21/55 ,  B01L3/5027 ,  G01N15/1475 ,  G01N21/07 ,  G01N21/253 ,  G01N21/59 ,  G01N21/5911 ,  G01N33/54306 ,  G01N33/54353 ,  G01N33/54386 ,  G01N35/00069 ,  G01N2015/1486 ,  G01N2021/0325 ,  G01N2021/1742 ,  G01N2021/551 ,  G01N2021/5915 ,  G01N2201/104

Abstract: A clinical diagnostic assay is performed on an optical bio disc and is read with a disc drive. More specifically this invention relates to capture layer assemblies for cellular assays using optical bio-discs. The current invention includes methods for determining the quality and quantity of a specific type of cell in a biological sample. These methods includes binding capture agents to a capture zone on the disc, providing a sample to the capture zone, remove portions of the sample that are not bound in the capture zone, and counting bound cells. The current invention also includes methods and apparatus for performing a cluster designation marker assay using an optical disc and disc drive and method for making optical analysis discs for performing such cluster designation assays.

Abstract translation: 在光学生物盘上进行临床诊断测定，并用盘驱动器读取。 更具体地，本发明涉及使用光学生物盘的细胞测定的捕获层组件。 本发明包括用于确定生物样品中特定类型的细胞的质量和数量的方法。 这些方法包括将捕获剂结合到盘上的捕获区，向捕获区提供样品，去除未结合在捕获区中的样品部分，并计数结合的细胞。 本发明还包括使用光盘和盘驱动器执行簇指定标记测定的方法和装置以及用于制造用于进行这种簇指定测定的光学分析盘的方法。

公开(公告)号：WO2014004564A1

公开(公告)日：2014-01-03

申请号：PCT/US2013/047691

申请日：2013-06-25

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： MANASSEN, Amnon ,  HILL, Andy ,  KANDEL, Daniel ,  SELA, Ilan ,  BACHAR, Ohad ,  BRINGOLTZ, Barak

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/55 ,  G01B11/00 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/104

Abstract: Angle-resolved reflectometers and reflectometry methods are provided, which comprise a coherent light source, an optical system arranged to scan a target pattern using a spot of coherent light from the light source to yield realizations of the light distribution in the collected pupil, wherein the spot covers a part of the target pattern and the scanning is carried out optically or mechanically according to a scanning pattern; and a processing unit arranged to generate a composite image of the collected pupil distribution by combining the pupil images. Metrology systems and methods are provided, which reduce diffraction errors by estimating, quantitatively, a functional dependency of measurement parameters on aperture sizes and deriving, from identified diffraction components of the functional dependency which relate to the aperture sizes, correction terms for the measurement parameters with respect to the measurement conditions.

Abstract translation: 提供了角度分辨反射计和反射测量方法，其包括相干光源，光学系统被布置成使用来自光源的相干光的光点扫描目标图案以产生收集的光瞳中的光分布的实现，其中 点覆盖目标图案的一部分，并且根据扫描图案光学地或机械地执行扫描; 以及处理单元，被配置为通过组合瞳孔图像来生成收集的瞳孔分布的合成图像。 提供了测量系统和方法，其通过估计定量地测量参数对孔径尺寸的功能依赖性并且从与孔径尺寸相关的功能依赖性的识别的衍射分量推导出测量参数的校正项，从而降低衍射误差， 相对于测量条件。

公开(公告)号：WO2008117907A1

公开(公告)日：2008-10-02

申请号：PCT/KR2007/003337

申请日：2007-07-10

Applicant: SNU PRECISION CO., LTD ,  AHN, Woo Jung ,  KIM, Jung Hwan ,  YOU, Hee Wook

Inventor： AHN, Woo Jung ,  KIM, Jung Hwan ,  YOU, Hee Wook

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/8903 ,  G01N2201/104

Abstract: The present invention suggests a vision inspection system and a workpiece inspection method used in inspecting various kinds of workpiece. The vision inspection system includes a level block, a first transfer device, a camera, a second transfer device and a computer. The first transfer device is installed on an upper surface of the level block, has a table for supporting the workpiece, and rectilinearly moves the table between a first position and a second position. The camera is arranged above the level block for taking an image of the workpiece to output image data. The second transfer device is installed on the upper surface of the level block for rectilinearly moving the camera between the first position and the second position. The computer controls the first transfer device to move the table from the first position to the second position and the second transfer device to move the camera from the second position to the first position.

Abstract translation: 本发明提出了用于检查各种工件的视觉检查系统和工件检查方法。 视觉检查系统包括水平块，第一传送设备，照相机，第二传送设备和计算机。 第一传送装置安装在水平块的上表面上，具有用于支撑工件的工作台，并且在第一位置和第二位置之间直线地移动工作台。 相机布置在水平块上方，用于拍摄工件的图像以输出图像数据。 第二传送装置安装在水平块的上表面上，用于在第一位置和第二位置之间直线移动摄像机。 计算机控制第一传送装置将桌子从第一位置移动到第二位置，并且第二传送装置将相机从第二位置移动到第一位置。

公开(公告)号：WO2005114155A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：PCT/GB2005/001435

申请日：2005-04-15

Applicant: SEPHA LIMITED ,  PARKER, Andrew, Ernest ,  STEWART, Neil ,  STORKEY, Matthew, E., M

Inventor： PARKER, Andrew, Ernest ,  STEWART, Neil ,  STORKEY, Matthew, E., M

IPC: G01N21/95

CPC classification number: G01N21/55 ,  A61J1/035 ,  G01N21/8422 ,  G01N21/9508 ,  G01N2021/845 ,  G01N2201/104

Abstract: A method for detecting an imperfection in a blister package having at least one radiation-transmissible layer (32), optionally moving, the blister package having a flat side and a pocket side, the method comprising the steps of directing radiation (18, 18’) at the flat side and/or the pocket side of the blister package and detecting any radiation (22) emitted from at least one edge of the blister package.

Abstract translation: 一种用于检测泡罩包装中的不完美的方法，所述泡罩包装具有至少一个辐射透射层（32）（可选地移动）具有平坦侧面和袋侧的泡罩包装，所述方法包括以下步骤：引导辐射（18,18' ）并且检测从泡罩包装的至少一个边缘发射的任何辐射（22）。

公开(公告)号：JP6430532B2

公开(公告)日：2018-11-28

申请号：JP2016561072

申请日：2013-12-27

Applicant: センソファー メディカル, エセ.エレ.

Inventor： ラガルタ ベルトラン, フェラン ,  ベルムデス ポルラス, カルロス ,  アルティガス パルサルス, ロヘル ,  カデヴァル アルティグエス, クリスティーナ

IPC: A61F2/86 ,  G01B11/30 ,  G01N21/952

CPC classification number: G01N21/952 ,  A61F2/82 ,  A61F2240/008 ,  G01B11/0675 ,  G01B11/2408 ,  G01N21/954 ,  G01N2201/062 ,  G01N2201/101 ,  G01N2201/104

公开(公告)号：JP2009531718A

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：JP2009506426

申请日：2007-07-10

Applicant: エスエヌユー プレシジョン カンパニー リミテッド

Inventor： ウー ジュン アン ,  ジュン ホワン キム ,  ヒー ウーク ユー

IPC: G01N21/84

CPC classification number: G01N21/88 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/8903 ,  G01N2201/104

Abstract: 本発明は多様な被検査体を検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を開示する。 本発明のシステムは、定盤、第１移送装置、カメラ、第２移送装置及びコンピュータで構成される。 第１移送装置は、定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、定盤の第１位置と第２位置の間でテーブルを直線運動させる。 カメラは、定盤の上方に被検査体の画像を撮影して画像データを獲得するように配置されている。 第２移送装置は、定盤の上面に、第１位置と第２位置の間でカメラを直線運動させるように設置されている。 コンピュータは、第１移送装置の作動を制御して、第１位置から第２位置にテーブルを移送させるとともに、第２移送装置の作動を制御して、第２位置から第１位置にカメラを移送させる。

公开(公告)号：US20240302274A1

公开(公告)日：2024-09-12

申请号：US18599288

申请日：2024-03-08

Applicant: Leica Microsystems NC, Inc.

Inventor： Robert H. HART ,  Hansford HENDARGO

IPC: G01N21/45

CPC classification number: G01N21/45 ,  G01N2201/104 ,  G01N2201/127

Abstract: A method for three-dimensional (3D) image calibration for a spectral domain optical coherence tomography (OCT) system, the OCT system including a scanning arrangement for laterally scanning a sample light beam across a surface of a sample, an optical detection system for detecting light reflected back from the sample to obtain an optical image of the sample, and a reference light beam, the OCT system generating axially resolved optical information from the sample as the sample light beam is scanned laterally across the sample using optical path length differences (OPLD) between the reference light beam and the sample light beam, the method including: providing a calibration sample having a substrate having laterally arranged structural elements providing optical contrast, the structural elements having at least one of known dimensions or known position values on the substrate; scanning, using a first set of scanner parameters for the scanning arrangement, the sample light beam.