公开(公告)号：EP2781923A1

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：EP12849932.4

申请日：2012-11-12

Applicant: Fuji Electric Co., Ltd.

Inventor： SAKAUE, Satoru ,  YAO, Hironobu ,  KISHIRO, Masami ,  SUZUKI, Takeshi

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: The present invention provides an acceleration sensor in which rigidity of its movable electrode can be ensured despite a large number of through-holes formed in the movable electrode. The acceleration sensor has an SOI substrate (2) in which a silicon oxide layer (4) is formed on a silicon support layer (3) and an active silicon layer (5) is formed on the silicon oxide layer, wherein the active silicon layer of the SOI substrate has a movable electrode (11) supported by elastic beams and configured with a weight, and also has fixed electrodes (13a), (13xb), (14ya), (14yb) disposed in a fixed manner around the movable electrode to face the movable electrode, and wherein through-holes (16) penetrating in a Z-axis direction are formed over the entire surface on the inner side of an outer circumference to which the elastic beams (12) of the movable electrode are connected.

Abstract translation: 本发明提供了一种加速度传感器，其中尽管在可动电极中形成有大量的通孔，但其可动电极的刚性仍可被确保。 该加速度传感器具有SOI衬底（2），其中在硅支撑层（3）上形成氧化硅层（4），并且在该氧化硅层上形成有源硅层（5），其中该有源硅层 在SOI基板上具有由弹性梁支撑并由砝码构成的可动电极（11），在固定电极（13a），（13bb），（14ya），（14yb） 以与所述可动电极相对的方式配置，在所述可动电极的所述弹性梁（12）所连接的外周的内侧的整个面上形成贯通Z轴方向的贯通孔（16）。

公开(公告)号：WO2017025753A1

公开(公告)日：2017-02-16

申请号：PCT/GB2016/052501

申请日：2016-08-11

Applicant: ATLANTIC INERTIAL SYSTEMS LIMITED

Inventor： HARISH, Kiran ,  MALVERN, Alan

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  B81B5/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/051 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0882

Abstract: A capacitive accelerometer (202) comprises: a substantially planar proof mass (204) mounted to a fixed substrate by flexible support legs (250) so as to be linearly moveable in an in-plane sensing direction (200). The proof mass comprises first and second sets of moveable capacitive electrode fingers. First and second sets of fixed capacitive electrode fingers interdigitates with the first and second sets of moveable electrode fingers respectively (221, 222). A set of moveable damping fingers (224) extend from the proof mass substantially perpendicular to the sensing direction, laterally spaced in the sensing direction. A set of fixed damping fingers (222) mounted to the fixed substrate interdigitates with the set of moveable damping fingers and comprises an electrical connection (260) to the proof mass so that the interdigitated damping fingers (228, 230) are electrically common. The damping fingers are mounted in a gaseous medium that provides a damping effect.

Abstract translation: 电容加速度计（202）包括：基本上平面的质量块（204），其通过柔性支撑腿（250）安装到固定基板上，以便在平面内感测方向（200）上可线性移动。 检测质量包括第一和第二组可移动电容电极指。 第一组和第二组固定电容电极指分别与第一组和第二组可移动电极指彼此交叉（221,222）。 一组可移动阻尼指（224）从检测质量基本上垂直于感测方向延伸，在感测方向上横向间隔开。 安装到固定基板上的一组固定阻尼指（222）与该组可动阻尼指相互指指，并且包括与检测质量块的电连接（260），使得交叉指状的阻尼指（228,230）是电气公共的。 阻尼指被安装在提供阻尼效果的气体介质中。

公开(公告)号：WO2015071082A1

公开(公告)日：2015-05-21

申请号：PCT/EP2014/073047

申请日：2014-10-28

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： EHRENPFORDT, Ricardo ,  PANTEL, Daniel ,  ANTE, Frederik

IPC: G01P1/00 ,  G01C19/5783

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01C19/5783 ,  G01P2015/0882

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen: Einem ersten Sensorelement (108), das durch ein Dämpfungselement (116) gegenüber einer Schnittstelle (126) des Inertialsensors (100) schwingungsgedämpft ist, wobei das erste Sensorelement (108) dazu ausgebildet ist, in einem ersten Frequenzband eine erste Messgröße zu erfassen und das Dämpfungselement (116) dazu ausgebildet ist, zumindest in dem ersten Frequenzband Schwingungen zu dämpfen; und einem zweiten Sensorelement (110), das mechanisch mit der Schnittstelle (126) gekoppelt ist, wobei das zweite Sensorelement (110) dazu ausgebildet ist, in einem zweiten Frequenzband eine zweite Messgröße zu erfassen.

Abstract translation: 本发明涉及一种惯性传感器（100），包括：一个第一传感器元件（108），这是减振通过在惯性传感器（100），其中，所述第一传感器元件（108）被适配为的接口（126）的阻尼元件（116） 在第一频带进行检测，一个第一测量变量和所述阻尼元件（116）适于抑制振动，至少在所述第一频带; 并且其被机械地耦合到所述接口（126），其中所述第二传感器元件（110）适于检测在第二频带的第二测得的变量的第二传感器元件（110）。

公开(公告)号：WO2013073162A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：PCT/JP2012/007257

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士電機株式会社

Inventor： 坂上　智 ,  矢尾　博信 ,  木代　雅巳 ,  鈴木　健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 　可動電極に多数の貫通孔を形成しながら剛性を確保することができる加速度センサを提供する。シリコン支持層(３)上に酸化シリコン層(４)を形成し、該酸化シリコン層上に活性シリコン層(５)を形成したＳＯＩ基板(２)を備え、前記ＳＯＩ基板の活性シリコン層に、弾性梁部で支持された錘部で構成される可動電極(１１)と、該可動電極の周辺に対向して固定配置された固定電極(１３ｘａ)，(１３ｘｂ)，(１４ｙａ)，(１４ｙｂ)とを形成し、前記可動電極の前記弾性梁部(１２)が連結される外周部の内側の全面に亘ってＺ軸方向に貫通する貫通孔(１６)を形成した。

Abstract translation: 提供一种能够在可动电极上形成多个通孔的同时确保刚性的加速度传感器。 在硅支撑层（3）上形成氧化硅层（4）。 提供了在氧化硅层上形成有活性硅层（5）的绝缘体硅（SOI）衬底（2）。 由弹性梁支撑的重物构成的可动电极（11）和固定在面向可动电极周围的位置的固定电极（13xa，13xb，14ya，14yb）形成在活性硅层 SOI衬底。 在可动电极的弹性梁（12）连接的外周部分的内侧的整个表面上形成贯穿Z轴方向的通孔（16）。

公开(公告)号：WO2011019879A1

公开(公告)日：2011-02-17

申请号：PCT/US2010/045275

申请日：2010-08-12

Applicant: ENDEVCO CORPORATION ,  WILNER, Leslie, Bruce ,  KWA, Tom

Inventor： WILNER, Leslie, Bruce ,  KWA, Tom

IPC: G01P15/09

CPC classification number: G01P15/123 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/0235 ,  G01P1/023 ,  G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0882

Abstract: A new high G-range damped acceleration sensor is proposed with a proof mass optimized for maximized, bi-directional and symmetrical damping to accommodate acceleration ranges above and beyond several thousand G's. In order to achieve the maximum, bi-directional and symmetrical damping, the high G- range acceleration sensor is designed to have minimum amount of mass in the proof mass while maximizing its surface areas. Such high G-range damped acceleration sensor can be applied to any application in which damping (or suppression of ringing) is desired at quite high frequencies.

Abstract translation: 提出了一种新的高G范围阻尼加速度传感器，其具有针对最大化，双向和对称阻尼优化的检测质量，以适应​​超过数千G的加速度范围。 为了实现最大的双向和对称阻尼，高G范围加速度传感器被设计为在最大化其表面积的同时在检验质量中具有最小量的质量。 这种高G范围阻尼加速度传感器可以应用于在相当高的频率下需要阻尼（或抑制振铃）的任何应用。

公开(公告)号：JP5770968B2

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：JP2009128940

申请日：2009-05-28

Applicant: ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド

Inventor： マイケル・ジェイ・フォスター

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01P15/13

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/131 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0834 ,  G01P2015/0882

公开(公告)号：JP2014016341A

公开(公告)日：2014-01-30

申请号：JP2013103188

申请日：2013-05-15

Applicant: Denso Corp ,  株式会社デンソー

Inventor： OGAWA AKIRA

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/135 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/13 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0882

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitance type physical quantity sensor of which the reduction in detection accuracy of a physical quantity is suppressed by attitudinal control.SOLUTION: The capacitance type physical quantity sensor includes an anchor (30), a detection beam (20) connected to a substrate via the anchor, a weight part (17) connected to the detection beam, a movable electrode (18) formed on the weight part, and a fixed electrode (19) facing the movable electrode. A first movable detection electrode and a first fixed detection electrode face each other in a first y direction, and a second movable detection electrode and a second fixed detection electrode face each other in a second y direction, and a first movable damping electrode is located at the center between two first fixed damping electrodes and faces one first fixed damping electrode in the first y direction and faces the other first fixed damping electrode in the second y direction, and a plurality of first movable damping electrodes are located point-symmetrically with respect to a center (CP) of the weight part or line-symmetrically with respect to a center line (CL) passing the center and being in the y direction.

Abstract translation: 要解决的问题：提供通过态度控制来抑制物理量的检测精度降低的电容式物理量传感器。解决方案：电容式物理量传感器包括锚（30），检测光束（20） ），连接到所述检测光束的重量部分（17），形成在所述重物部分上的可动电极（18）和面对所述可动电极的固定电极（19）。 第一移动检测电极和第一固定检测电极在第一y方向上彼此面对，第二可移动检测电极和第二固定检测电极在第二y方向上彼此面对，并且第一可动阻尼电极位于 两个第一固定阻尼电极之间的中心，并且在第一y方向上面向一个第一固定阻尼电极，并且在第二y方向上面对另一个第一固定阻尼电极，并且多个第一可动阻尼电极相对于 重量部分的中心（CP）或相对于通过中心并在y方向上的中心线（CL）线对称的中心（CP）。

公开(公告)号：JP2013217721A

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：JP2012087244

申请日：2012-04-06

Applicant: Seiko Epson Corp ,  セイコーエプソン株式会社

Inventor： TANAKA SATORU

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0882

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a physical quantity sensor that has a simple configuration and can enhance detection sensitivity.SOLUTION: A physical quantity sensor 100 comprises: a substrate 10; a movable body 20 including, with a first axis Q1 as a boundary, a first movable electrode portion 21 disposed in a first region 20a, a second movable electrode portion 22 disposed in a second region 20b, and a damping adjusting portion 23 disposed in at least one of the first region 20a and the second region 20b; beam portions 30 and 32 supporting the movable body 20; a first fixed electrode portion 50; and a second fixed electrode portion 52. A first through-hole 26 is disposed in the damping adjusting portion 23. Second through-holes 27 and 28 are disposed in the movable electrode portions 21 and 22. The area of a region where the first movable electrode portion 21 overlaps with the first fixed electrode portion 50 is the same as the area of a region where the second movable electrode portion 22 overlaps with the second fixed electrode portion 52. The width of the first through-hole 26 is greater than the widths of the second through-holes 27 and 28.

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有简单结构并能提高检测灵敏度的物理量传感器。解决方案：物理量传感器100包括：基板10; 包括第一轴线Q1作为边界的可移动体20，设置在第一区域20a中的第一可动电极部分21，设置在第二区域20b中的第二可动电极部分22和设置在第二区域20b中的阻尼调节部分23 第一区域20a和第二区域20b中的至少一个; 支撑移动体20的梁部分30和32; 第一固定电极部分50; 和第二固定电极部分52.第一通孔26设置在阻尼调节部分23中。第二通孔27和28设置在可动电极部分21和22中。 与第一固定电极部分50重叠的电极部分21与第二可动电极部分22与第二固定电极部分52重叠的区域的面积相同。第一通孔26的宽度大于宽度 的第二通孔27和28。

公开(公告)号：JP2018146569A

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：JP2018016051

申请日：2018-02-01

Applicant: アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッド ,  Atlantic Inertial Systems Limited

Inventor： モルヴァーン,アラン

IPC: H01L29/84 ,  B81B7/02 ,  G01C19/5783 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P1/003 ,  B81B7/0016 ,  B81B7/0058 ,  G01P2015/0882

Abstract: 【課題】MEMSセンサパッケージが提供される。 【解決手段】MEMSセンサパッケージは、振動減衰マウント(2)に固定されたMEMSセンサ(4)を備える。当該マウント(2)は、外側フレーム(8)と、当該MEMSセンサ(4)が固定された移動可能支持部(6)と、を画定する、シリコン基板を備える。振動減衰構造体(12,14,16)は、当該支持部(6)の移動を減衰させるために、当該外側フレーム(8)と当該移動可能支持部(6)との間に連結される。当該MEMSセンサ(4)及び振動減衰マウント(2)は、ガスが充填されたケーシング(10)によって包囲される。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2016522896A

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：JP2016510957

申请日：2014-03-27

Applicant: ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH ,  ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH

Inventor： ガイガー，ヴォルフラム ,  バルトーロメイチック，ユリアン ,  ラインフェルダー，ペーター

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本発明は、基板面を有する基板と、基板面に平行な第1方向(x)において基板に対し相対的に移動可能な標本おもりとを備える加速度センサに関する。標本おもりは、標本おもりとともに移動可能な櫛型電極であって、第1方向(x)に延びる複数の歯を有する櫛型電極を備える。加速度センサは、基板へ固定的に連結された対向電極をさらに備え、対向電極は、固定櫛型電極により構成され、固定櫛型電極は、第1方向(x)とは反対の方向に延びる複数の歯を有する。可動櫛型電極の歯は、固定櫛型電極の歯と係合する。加速度センサは、基板へ固定的に連結されるシールド電極であって、標本おもりの偏位動作中における標本おもりの空気圧減衰を増大させるのに適したシールド電極をさらに備える。

Abstract translation: 本发明涉及一种加速度传感器，包括具有在基板表面相对移动相对于所述衬底在平行于基板面（x）的第一方向上的样品重量的基材，和。 试样重量是一个梳状电极可移动的样品重量，并且具有多个在第一方向（X）延伸的齿的梳状电极。 多个加速度传感器还包括固定地连接对置电极到衬底上，对置电极由固定梳状电极，固定梳状电极，其在相反的方向上延伸到第一方向构成（x）的 有牙齿。 可动梳状电极齿的齿啮合与固定梳状电极。 加速度传感器是被固定地连接到基板，还包括一个屏蔽电极，其适于样品重量的偏移操作期间增加样品重量的空气压力衰减屏蔽电极。