公开(公告)号：CN104884961B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：CN201380066970.5

申请日：2013-12-17

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·普鲁克施 ,  B·克费尔斯泰因

IPC: G01P1/00 ,  F16F15/04 ,  G01D11/10

CPC classification number: F16F15/04 ,  F16F1/00 ,  F16F1/027 ,  F16F7/08 ,  F16F15/073 ,  G01D11/10 ,  G01P1/003 ,  G01P1/023 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明涉及一种具有弹性的减震元件(20)的用于传感器单元的减震器(10)以及一种相关的具有这种减震器(10)的传感器单元(1)。根据本发明，减震元件(20)具有中央板(22)、多个在一端处与所述中间板(22)相连接的减震指(24)和多个固定面(22.1、24.2)，其中，至少两个固定面(22.1、24.2)在第一空间方向(z)上彼此间隔开地布置，其中，减震元件(20)构造成沿着第一空间方向(z)是弯曲弹性式地软的并且在垂直于第一空间方向(z)布置的主延伸平面(x‑y)中具有较高的刚度，其中，在至少两个固定面(22.1、24.2)上分别施加粘合剂层(12、14)，所述粘合剂层通过减震元件(20)在主延伸平面中的振动受到推力。

公开(公告)号：CN104422786A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410418229.7

申请日：2014-08-22

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： G-N-C·乌尔希里 ,  A·奥尔托

IPC: G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0027 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/058 ,  B81C1/00134 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提出一种微机械传感器，其包括具有主延伸平面的衬底和通过扭转单元与衬底连接的摆杆结构，扭转单元主要沿扭转轴线延伸，扭转轴线基本上平行于衬底的主延伸平面地设置，摆杆结构由静止位置绕扭转轴线可摆动到偏转位置中并且相对于扭转轴线具有非对称的质量分布，微机械传感器具有阻尼结构，阻尼结构配置用于阻尼摆杆结构沿与衬底的主延伸平面基本上平行的X方向的平移运动，和/或扭转单元具有第一扭转元件和与第一扭转元件连接的第二扭转元件，微机械传感器如此配置，使得摆杆结构绕扭转轴线的扭转模式的第一共振频率小于摆杆结构的振动模式的第二共振频率，振动模式包括摆杆结构沿与主延伸平面基本上平行的振动平面的振动运动。

公开(公告)号：CN102879608B

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201210418835.X

申请日：2012-10-26

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 车录锋 ,  周晓峰 ,  王跃林

IPC: G01P15/125 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81C1/00341 ,  B81C1/00531 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的边框、双面对称的质量块、及一边连接边框、另一边连接质量块的弯折形弹性梁，其中，在两质量块的两面对称地设有防过载凸点及阻尼调节槽，且处于不同平面的弯折形弹性梁交错分布、在空间上不重叠。由于弯折形弹性梁的弯折次数、梁总长、梁总宽可基于需要来确定，故本发明能制备不同灵敏度的电容式加速度传感器，灵活性大。

公开(公告)号：CN104118841A

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201410171576.4

申请日：2014-04-25

Applicant: 原子能和替代能源委员会

Inventor： 扬妮克·戴梅瑞 ,  纪尧姆·约丹 ,  帕特里斯·雷伊

IPC: B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0016 ,  B81B7/008 ,  B81B2201/025 ,  G01C19/5726 ,  G01P2015/0882 ,  Y10T29/49082

Abstract: 本发明涉及具有可变品质因数的微机电和/或纳机电结构。惯性传感器包括：固定部件(8)、悬吊于固定部件(8)的至少一个质量块(6)以及阻尼悬吊于固定部件(8)的部件(6)的位移的装置(4)，所述阻尼装置(4)为机电阻尼装置，包括：串联的至少一个直流电源(14)、一个电阻器(R)以及一个可变电容器(C)，所述可变电容器(C)部分地由悬吊部件(6)形成，部分地由固定部件(8)形成，使得悬吊部件(6)的位移导致可变电容器(C)的电容变化。

公开(公告)号：CN103364589B

公开(公告)日：2017-07-18

申请号：CN201310115933.0

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括：基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。

公开(公告)号：CN104380120B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201380031033.6

申请日：2013-06-06

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 小川晃

IPC: G01P15/125 ,  G01P21/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/135 ,  G01C19/5747 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/13 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0882

Abstract: 公开一种具有形成在锤部(17)上的可动电极(18)和与可动电极对置的固定电极(19)的静电电容式物理量传感器。第1可动检测电极(21)和第1固定检测电极(24)在第1y方向上对置。第2可动检测电极(22)和第2固定检测电极(25)在第2y方向上对置。第1可动衰减电极(23)位于两个第1固定衰减电极(26)之间的中心，与一方的第1固定衰减电极在第1y方向上对置，与另一方的第1固定衰减电极在第2y方向上对置。多个第1可动衰减电极位于隔着锤部的中心(CP)而点对称或隔着穿过中心并沿着y方向的中心线(CL)而线对称的位置。

公开(公告)号：CN107209204A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680006360.X

申请日：2016-01-27

Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司

Inventor： S·柯尼希 ,  P·莱因菲尔德

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0054 ,  B81B3/0059 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/051 ,  G01P15/131 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0862 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器(100)，包括：传感器质量块(120)，其借助弹簧元件(130)沿运动轴线(x)可动地支承在基板(110)上；第一微调电极(140)，其与传感器质量块(120)连接；和第二微调电极(150)，其与基板(110)连接并且配置给第一微调电极(140)。在此在传感器质量块沿运动轴线偏移时通过弹簧元件(130)产生作用于传感器质量块(120)的弹力并且在传感器质量块(120)偏移时通过在第一微调电极(140)和第二微调电极(150)之间施加微调电压产生作用于传感器质量块(120)的静电力，该静电力反作用于弹力。

公开(公告)号：CN105319392A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510455242.4

申请日：2015-07-29

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 纸透真一

IPC: G01P15/00 ,  G01C19/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01C19/5783 ,  G01P2015/0882 ,  H05K5/066

Abstract: 本发明提供一种尺寸精度优良，可靠性高的物理量传感器及其制造方法、电子设备及移动体。本发明的物理量传感器的制造方法包括：准备工序，准备支承基板(2)和密封基板(5)，支承基板(2)设置有陀螺传感器元件(3)以及加速度传感器元件(4)，密封基板(5)设置有在同一面上开放的凹部(51)以及凹部(52)，且具有与凹部(51)连通的贯穿孔(53)和与凹部(52)连通的贯穿孔(54)；接合工序，以将陀螺传感器元件(3)收纳于凹部(51)中并将加速度传感器元件(4)收纳于凹部(52)中的方式，将密封基板(5)接合在支承基板(2)上；密封工序，将熔点与支承基板(2)以及密封基板(5)的熔点或软化点相比较低的密封材料(6a、7a)填充于贯穿孔(53、54)中，而对凹部(51、52)进行密封。

公开(公告)号：CN103842830A

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201280049163.8

申请日：2012-11-12

Applicant: 富士电机株式会社

Inventor： 坂上智 ,  矢尾博信 ,  木代雅巳 ,  铃木健

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/084 ,  G01P2015/0871 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，该加速度传感器能在可动电极上形成多个贯通孔的同时确保刚性。包括通过在硅支承层（3）上形成氧化硅层（4）、并在该氧化硅层上形成活性硅层（5）而得到的SOI基板（2），在所述SOI基板的活性硅层上形成由弹性梁部支承的锤部所构成的可动电极（11）、以及与该可动电极的周边相对面地固定配置的固定电极(13ｘａ)，(13ｘｂ)，(14ｙａ)，(14ｙｂ)，在所述可动电极的与所述弹性梁部（12）相连的外周部的内侧的整个面上形成在Z轴方向上贯通的贯通孔（16）。

公开(公告)号：CN103364589A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310115933.0

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括：基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。