公开(公告)号：JP4064628B2

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：JP2000526828

申请日：1998-12-04

Applicant: ノースロップ グラマン コーポレーション

Inventor： マイケル アームストロング、カーター ,  ライリー ホエイリー、デイビッド

IPC: H01J23/087 ,  H01F7/02 ,  H01J3/24 ,  H01J37/14 ,  H05H7/04 ,  H05H9/02

CPC classification number: H01J3/24 ,  H01J37/14 ,  H05H7/04

公开(公告)号：KR101861210B1

公开(公告)日：2018-05-25

申请号：KR1020137000919

申请日：2011-10-25

Applicant: 가부시키가이샤 파람

Inventor： 야스다히로시

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/141 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J3/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/20 ,  H01J37/143 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/1405

Abstract: 영구자석을사용하여미세한패턴을효과적으로묘화하기위한장치가제공된다. 상기장치는, Z축을중심축으로하는원통형강자성체로이루어지는외측원통(201), 상기외측원통의내측에위치하여, Z축방향을따라극성화된원통형영구자석(202), 상기원통형영구자석과간극을두고상기원통형영구자석의내측에위치하여, 상기원통형영구자석에의해발생되는 Z축방향의자계강도를조정하는보정용코일(204), 및상기원통형영구자석과상기보정용코일간의간극에위치하여, 냉매를통과시키고상기원통형영구자석에서의온도변화를제어하는냉매유로(203)를구비한다.

公开(公告)号：KR1020130138713A

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：KR1020137000919

申请日：2011-10-25

Applicant: 가부시키가이샤 파람

Inventor： 야스다히로시

IPC: H01J37/143 ,  H01J37/141 ,  H01J37/305 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J3/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/20 ,  H01J37/143 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/1405 ,  H01J37/1416 ,  H01J37/3056 ,  H01L21/0273

Abstract: There provided a device for effectively drawing a fine pattern using a permanent magnet. The device has an outer cylinder 201 composed of a cylindrical ferromagnet with a Z axis as a central axis, a cylindrical permanent magnet 202 located inside the outer cylinder and polarized along the Z axis direction, a correction coil 204 located inside the cylindrical permanent magnet with a gap from the cylindrical permanent magnet, for adjusting a magnetic field strength generated by the cylindrical permanent magnet along the Z axis direction, and a coolant passage 203 located in the gap between the cylindrical permanent magnet and the correction coil, for allowing a coolant to flow therethrough and controlling temperature changes in the cylindrical permanent magnet.

公开(公告)号：TW201225144A

公开(公告)日：2012-06-16

申请号：TW100139001

申请日：2011-10-27

Applicant: PARAM股份有限公司

Inventor： 安田洋

IPC: H01J

CPC classification number: H01J3/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/20 ,  H01J37/143 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/1405

Abstract: 本發明係使用永久磁鐵來有效率地描繪微細圖案,本發明係具有:外側圓筒201,其係由以Z軸為中心軸之圓筒型强磁性體所構成;永久磁鐵202,其係被配置在該外側圓筒的內側且朝向Z軸方向進行磁化;補正用線圈204,其係在該永久磁鐵的內側,與該永久磁鐵隔著間隙來配置,以調整藉由該永久磁鐵所造成的Z軸方向之磁場强度;及具套環的內筒構件(冷媒流路)203,其係配置在該永久磁鐵與該補正用線圈的間隙中,在該具套環的內筒構件的內部流通冷媒,來抑制該永久磁鐵的溫度變化。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系使用永久磁铁来有效率地描绘微细图案,本发明系具有:外侧圆筒201,其系由以Z轴为中心轴之圆筒型强磁性体所构成;永久磁铁202,其系被配置在该外侧圆筒的内侧且朝向Z轴方向进行磁化;补正用线圈204,其系在该永久磁铁的内侧,与该永久磁铁隔着间隙来配置,以调整借由该永久磁铁所造成的Z轴方向之磁场强度;及具套环的内筒构件(冷媒流路)203,其系配置在该永久磁铁与该补正用线圈的间隙中,在该具套环的内筒构件的内部流通冷媒,来抑制该永久磁铁的温度变化。

公开(公告)号：TWI539483B

公开(公告)日：2016-06-21

申请号：TW100139001

申请日：2011-10-27

Applicant: PARAM股份有限公司 ,  PARAM CORPORATION

Inventor： 安田洋 ,  YASUDA, HIROSHI

IPC: H01J37/143

CPC classification number: H01J3/24 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J3/20 ,  H01J37/143 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/1405