基板处理装置、历史信息记录方法、记录程序及记录系统

    公开(公告)号:CN1841653A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610065966.9

    申请日:2006-03-29

    CPC classification number: H01L21/67201 H01L21/67207 H01L21/67276

    Abstract: 本发明公开了一种基板处理装置,其包括多个用于处理基板的处理室以及将基板从多个处理室运入运出的输送部,包括输送历史记录部、处理历史记录部以及报警历史记录部。输送历史记录部将关于输送部输送基板的历史信息与每一基板相关联,并记录该历史信息作为第一历史信息。处理历史记录部将关于多个处理室中的每一个内的基板的处理状态的历史信息与每一被处理的基板目标相关联,并记录该历史信息作为第二历史信息。报警历史记录部将关于在输送部和处理室至少一个之内发生的报警的历史信息与每一基板相关联,并记录该历史信息作为第三历史信息。

    锁料室
    48.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1440564A

    公开(公告)日:2003-09-03

    申请号:CN01812425.9

    申请日:2001-06-30

    CPC classification number: H01L21/67196 H01L21/67201

    Abstract: 在一第一形式中,提供一锁料室,它包括:(1)用于保持静止的第一室部分;(2)用于相对于第一室移动的第二室部分;和(3)一位于第一和第二室部分之间的基体搬运器。锁料室用于采取:(a)一封闭位置,其中,第一和第二室部分彼此接触,以便界定能保持真空压力的区域;(b)一打开位置,其中,第二室部分从第一室部分移开,以便界定一开口;和(c)一装载位置,其中,至少一部分基体搬运器穿过开口伸出。提供了按照这些和其它形式的系统和方法。

    印刷线路板传送装置
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1365519A

    公开(公告)日:2002-08-21

    申请号:CN01800657.4

    申请日:2001-03-26

    Inventor: 和田定幸

    Abstract: 一种印刷线路板传送装置,其中,传送室(101)和第1装载锁定室(10)及第2装载锁定室(110)的连接部为直线状排列设置。又,在不影响机械臂(106)的旋转及伸缩运动的位置设置处理印刷线路板(400)的处理站(120,121)。采用该结构,可在控制覆盖区扩大的同时,提高印刷线路板传送装置的集成度。并可实现装载锁定室共享的印刷线路板传送装置。

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