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    一种真空电离规管
    41.
    实用新型
    一种真空电离规管 失效

    公开(公告)号：CN203367217U

    公开(公告)日：2013-12-25

    申请号：CN201320375717.5

    申请日：2013-06-27

    Applicant: 成都国光电气股份有限公司

    Inventor： 陈旗

    IPC: H01J41/02 ,  G01L21/30

    Abstract: 本实用新型涉及一种真空电离规管，所述真空电离规管包括灯丝、收集极和加速极，所述灯丝为铱灯丝，所述收集极为片状收集极，所述加速极为片状”∏”型加速极，所述灯丝位于所述收集极支持片状”∏”型加速极的”∏”型两臂之间，所述片状收集极将加速极及灯丝围起，所述片状收集极和加速极上设有通孔。所述的真空电离规管，其在测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以上，测量下限较原来也有所提高，规管灵敏度提高25-30%。

    Ionization gauge with operational parameters and geometry designed for high pressure operation
    42.
    发明授权
    Ionization gauge with operational parameters and geometry designed for high pressure operation 有权
    具有操作参数和几何设计用于高压操作的电离计

    公开(公告)号：US09404827B2

    公开(公告)日：2016-08-02

    申请号：US14174386

    申请日：2014-02-06

    Applicant: MKS Instruments, Inc.

    Inventor： Gerardo A. Brucker

    IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J41/02

    CPC classification number: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J41/02

    Abstract: An ionization gauge to measure pressure and to reduce sputtering yields includes at least one electron source that generates electrons. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by the collisions between the electrons and gas molecules. The ionization gauge also includes an anode. An anode bias voltage relative to a bias voltage of a collector electrode is configured to switch at a predetermined pressure to decrease a yield of sputtering collisions.

    Abstract translation: 用于测量压力和减少溅射产生的电离计包括产生电子的至少一个电子源。 电离计还包括收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子的集电极。 电离计还包括阳极。 相对于集电极的偏置电压的阳极偏置电压被配置为在预定压力下切换以降低溅射碰撞的产量。

    IONIZATION GAUGE FOR HIGH PRESSURE OPERATION
    43.
    发明申请
    IONIZATION GAUGE FOR HIGH PRESSURE OPERATION 有权
    用于高压运行的离子化仪

    公开(公告)号：US20150300904A1

    公开(公告)日：2015-10-22

    申请号：US14377449

    申请日：2013-02-07

    Applicant: MKS Instruments, Inc.

    Inventor： Gerardo A. Brucker

    IPC: G01L19/06 ,  H01J41/02 ,  H01J1/52 ,  G01L21/30

    CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L19/0627 ,  G01L21/30 ,  H01J1/52 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04

    Abstract: An ionization gauge to measure pressure, while controlling the location of deposits resulting from sputtering when operating at high pressure, includes at least one electron source that emits electrons, and an anode that defines an ionization volume. The ionization gauge also includes a collector electrode that collects ions formed by collisions between the electrons and gas molecules and atoms in the ionization volume, to provide a gas pressure output. The electron source can be positioned at an end of the ionization volume, such that the exposure of the electron source to atom flux sputtered off the collector electrode and envelope surface is minimized. Alternatively, the ionization gauge can include a first shade outside of the ionization volume, the first shade being located between the electron source and the collector electrode, and, optionally, a second shade between the envelope and the electron source, such that atoms sputtered off the envelope are inhibited from depositing on the electron source.

    Abstract translation: 用于测量压力的电离计，同时控制在高压下操作时由溅射产生的沉积物的位置，包括至少一个发射电子的电子源和限定电离体积的阳极。 电离计还包括收集电极，其收集由电子和气体分子之间的碰撞形成的离子和电离体积中的原子，以提供气体压力输出。 电子源可以位于电离体积的末端，使得电子源暴露于从集电极电极和包膜表面溅射的原子通量被最小化。 或者，电离计可以包括离子化体积外的第一阴影，第一阴影位于电子源和集电极之间，以及可选地，在封套和电子源之间的第二阴影，使得原子溅射 该封套被禁止沉积在电子源上。

    一种小型超高真空规管
    45.
    实用新型
    一种小型超高真空规管 失效

    公开(公告)号：CN204257587U

    公开(公告)日：2015-04-08

    申请号：CN201420863114.4

    申请日：2014-12-31

    Applicant: 成都兴睿宝电子科技有限公司

    Inventor： 何居贵 ,  贺良武 ,  柳灵

    IPC: H01J41/02

    Abstract: 本实用新型公布了一种小型超高真空规管，包括壳体组件、以及穿过壳体组件的栅极管脚、收集极管脚、以及两个电极管脚，在所述的壳体组件内设置有一个固定在栅极管脚上的圆桶状栅极，在收集极管脚上固定有一根位于圆桶状栅极轴线上的收集极，在两根电极管脚之间安装有一根位于圆桶状栅极外侧的灯丝；所述圆桶状栅极表面设置有多个均匀分布的孔，圆桶状栅极的开孔率大于0.9。本实用新型蜂窝状的栅极板结构在加热条件下也保持其结构，不会因为重力的作用而坍塌变形，从而保持测量的稳定性和精度，相对于现有技术而言，测量的真空度量级可以达到10-8Pa的超高真空状态；其长度大大减小，从而减小了整体的体积，有利于规管的小型化。

    一种真空规管连接法兰盘
    46.
    实用新型
    一种真空规管连接法兰盘 失效

    公开(公告)号：CN203363467U

    公开(公告)日：2013-12-25

    申请号：CN201320375277.3

    申请日：2013-06-27

    Applicant: 成都国光电气股份有限公司

    Inventor： 刘革

    IPC: F16L23/16 ,  H01J41/02

    Abstract: 本实用新型涉及一种真空规管连接法兰盘，其特征在于：以所述真空规管连接法兰盘的中心为轴，设置了一个外径φ14.8mm、内径φmm、高2.5mm的台阶，所述的真空规管连接法兰盘还包括2个O形密封垫圈和卡箍，所述O形密封垫圈中心设有一通孔，所述通孔沿密封垫圈的轴向突出，形成密封垫圈台阶，所述密封垫圈台阶可以通过卡箍固定在法兰盘的台阶和真空系统之间，形成密封配合，真空规管采用此结构的法兰盘，即使用户混淆了真空规管的法兰盘，也不会影响真空规管的使用，给规管的使用者带来了方便。

    High dynamic input signal of the measurement processing device, corresponding leakage detector, and measurement processing method
    49.
    发明专利
    High dynamic input signal of the measurement processing device, corresponding leakage detector, and measurement processing method 审中-公开

    公开(公告)号：JP2012515412A

    公开(公告)日：2012-07-05

    申请号：JP2011544911

    申请日：2010-01-11

    Applicant: アデイクセン・バキユーム・プロダクト

    Inventor： ジユルダン，パスカル

    IPC: H01J43/30 ,  H01J41/02 ,  H01J43/24

    CPC classification number: G01F17/00 ,  H01J43/246 ,  H01J43/30

    Abstract: 本発明は、少なくとも２ディケードの入力信号Ｔｏの測定処理デバイスに関し、このデバイスは、その電源電圧Ｖｍに基づいて指数関数的ゲインを有し、前記入力信号Ｔｏを受け取る電子増倍管４と、前記増倍管４の電源電圧Ｖｍを提供する電源５と、そのゲインパラメータ１０およびシフトパラメータ１１が、調整可能であり、前記増倍管４の指数関数的ゲインを変化させながら出力信号範囲を規定する、電源５の制御回路６と、その出力が、電子増倍管４の出力信号ＩｏＧに基づいて測定ダイナミックレンジにわたり連続的に電子増倍管４の指数関数的ゲインを変化させるように、制御回路６の入力として受け取られ、前記デバイスの出力信号Ｖｏｕｔを形成する、対数圧縮増幅器Ｔと、電子増倍管４の指数関数的ゲインの指数の値ｂを事前に決定し、前記事前に決定された指数の値ｂに基づいて、前記制御回路６のゲインパラメータ値１０およびシフトパラメータ値１１を計算する測定計算手段とを備える。 本発明は、さらに、対応する漏洩検出器および測定処理方法に関する。

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