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公开(公告)号：CN105723282B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201480062219.2
申请日：2014-08-18
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G03F7/20 , B08B7/00 , B24C1/00 , B24C7/00 , B24C11/00 , C01B32/55 , G01N21/88 , G21K1/06 , H01J65/04 , H05G2/00 , G02B27/00 , G01N21/94
Abstract: 本发明涉及光学组件，尤其是等离子体光源(1′)或EUV光刻系统，包含：壳体(2)，其包围内壳空间(3)；真空生成单元，用于在上述壳体(2)中产生真空；至少一个表面(13)，布置在所述内壳空间(3)中；清洁装置(15)，用于移除沉积在所述表面(13)上的污染物质(14)；以及观察装置(25)，用于观察所述表面(13)，其中，所述观察装置(25)具有能够朝着所述表面(13)取向的观察光学单元(26)。所述清洁装置(15)设计为通过释放CO2颗粒(17)形式的CO2移除沉积的污染物质(14)。
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公开(公告)号：CN107836033A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680040957.6
申请日：2016-06-16
Applicant: 贺利氏特种光源有限公司
CPC classification number: H01J61/52 , H01J61/12 , H01J65/046
Abstract: 操作氙准分子灯的已知方法包括如下步骤：(a)在超过80mW/cm2的辐射强度下操作准分子灯，和(b)控制准分子灯的温度至操作温度，其中所述氙准分子灯包括由石英玻璃制成的出射窗。基于此，本发明提出了一种使得可以长有用寿命操作辐射强度超过80mW/cm2的氙准分子灯的方法，其中将准分子灯温度控制到181-199℃的操作温度。
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公开(公告)号：CN110972564B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201518004496.5
申请日：2015-09-01
Applicant: 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所
Abstract: 本发明的级联式碱金属气室的充制装置，其各条碱金属泡坯充制分管道并排放置，每条碱金属泡坯充制分管道通过第二玻璃缩径管道与充制主管道连通；除其中一条碱金属泡坯充制分管道之外，其它碱金属泡坯充制分管道在与充制主管道的连通处均设置可击破组件；通过可击破组件实现碱金属泡坯充制分管道与充制主管道的封闭和连通状态的改变，其初始状态为封闭；采用连通管道将所有的碱金属泡坯充制分管道进一步连通，且每两个碱金属泡坯充制分管道之间均设置第一玻璃缩径管道；连通管道的连通点位于碱金属泡坯充制分管道中碱金属源与碱金属充制部之间；真空系统和充气系统连通充制主管道。本发明能确保不同充制参数的碱金属气室在真空系统上一次充制完成。
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公开(公告)号：CN107424906A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710634639.9
申请日：2017-07-29
Applicant: 合肥赛度电子科技有限公司
Inventor： 不公告发明人
CPC classification number: H01J65/044 , H01J61/20 , H01J61/52
Abstract: 无极紫外线灯，它涉及紫外线灯技术领域；它包含外置腔体耦合器、石英灯泡和微波发生器；外置腔体耦合器与微波发生器之间设有导热管；所述的石英灯泡内设有金属贡和惰性气体；本发明无溅射现象、散热好、使用寿命长，高效节能，且具有结构简单、设置合理、制作成本低等优点。
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公开(公告)号：CN104701133B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201510111865.X
申请日：2010-12-13
Applicant: 劲亮嘉科技有限公司
Inventor： 弗雷德里克·M·埃斯皮奥 , 蒂莫西·J·布洛克特 , 迈赫兰·马特路比安 , 道格拉斯·A·道蒂
IPC: H01J65/04
Abstract: 本发明提供了一种具有接地耦合元件及改进灯泡组件的无电极灯。一种无电极等离子灯，通常包括灯泡，该灯泡含有使用射频(RF)能量激发产生光的填充气体和发光体。该灯包括紧凑空气共振器/波导，使用具有集成灯泡组件的接地耦合元件以减小共振器的尺寸并且改善灯的性能，也降低了成本并且简化了制造流程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107039234A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710011431.1
申请日：2017-01-06
Applicant: 广州莱肯信息科技有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044
Abstract: 本发明涉及一种微波等离子体光源，包括：可编程频率源：用于生成RF信号并输入到微波幅度/相位调整装置，连接于所述的微波幅度/相位调整装置；微波幅度/相位调整装置：用于链路中射频信号的幅度和相位调整，连接射频功率放大器；射频功率放大器：用于系统中射频信号放大，连接发光单元及嵌入式控制单元；发光单元：包括灯珠和谐振腔体，连接嵌入式控制单元。该微波等离子体光源可广泛应用于不同的应用场景，光源系统功率大、效率高、稳定可靠、寿命长。
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公开(公告)号：CN102484153B
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201080026693.1
申请日：2010-06-15
Applicant: 耶霍苏亚·菲什勒
Inventor： 耶霍苏亚·菲什勒
IPC: H02S10/00 , H02S20/00 , H02S20/30 , H02S40/22 , H02S40/42 , F24J2/05 , F24J2/10 , F24J2/52 , H01J61/30 , H01J65/04
CPC classification number: H02S20/00 , F21W2131/103 , F24S10/40 , F24S23/70 , F24S25/50 , F24S2023/837 , F24S2023/86 , H01J61/305 , H01J65/042 , H02S10/00 , H02S20/30 , H02S40/22 , H02S40/425 , Y02B20/72 , Y02E10/44 , Y02E10/47 , Y02E10/52
Abstract: 一种用于从电网收集太阳能的系统，包括太阳能电池板，该太阳能电池板包括绝缘材料和附接至绝缘材料的光伏模块，所述太阳能电池板适于安装到所述电网中的带电电力线上。
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公开(公告)号：CN106663592A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580038352.9
申请日：2015-06-12
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
CPC classification number: H01J65/044 , H01J61/302 , H01J61/33
Abstract: 一种由微波能量供能的光源，包括：介电主体或制造件，其材料是透明的，用于使光从中离开；所述介电主体或所述制造件内的容器；以及围绕所述介电主体或所述制造件的透明的微波包封的法拉第罩。所述法拉第罩内的所述介电主体或所述制造件形成微波谐振腔的至少一部分。容器内的透明材料的密封等离子体包封物具有用于相对于所述介电主体或所述制造件定位所述容器中的等离子体包封物的部件。
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公开(公告)号：CN104900478B
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201510316631.9
申请日：2015-06-10
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种基于微波激励的大功率微波无极紫外灯及其制备方法，本发明涉及基于微波激励的大功率微波无极紫外灯及其制备方法。本发明的目的是目前还没有针对于不同待加工产品所需的辐照需求而制备的大功率微波无极紫外灯。通过以下技术方案实现的：所述大功率微波无极紫外灯包括无极紫外灯管(1)、两个磁控管(2)、两个波导管(3)和微波谐振腔；所述微波谐振腔由反光罩(4)和金属屏蔽网(5)组成，反光罩(4)开口扣装于金属屏蔽网(5)上，二者围合的空腔为微波谐振腔；无极紫外灯管(1)设置于微波谐振腔内，反光罩(4)的两端分别设置一个波导管(3)，波导管(3)的相对侧分别设置一个磁控管(2)。本发明应用于无极紫外灯领域。
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公开(公告)号：CN102856160B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201110181291.5
申请日：2008-11-14
Applicant: 塞拉维申有限公司
IPC: H01J65/04
Abstract: 灯(1)包括微波能量的振荡器和放大器源的其他频率。该源将微波经由匹配电路(3)传送到天线(4)，天线(4)延伸到在透光波导(6)中的凹腔(5)内。透光波导是石英的，并且具有容纳灯泡(8)的中央空腔(7)。灯泡是石英的密封管(9)，并且包含惰性气体和微波可激励材料的填充物，微波可激励材料在被微波激励时辐射可见光。灯泡具有在从中央空腔延伸的在杆状孔(11)中容纳的杆状部(10)。波导是透明的，并且来自灯泡的光可以受任何反射表面的影响而在任何方向离开它。微波不能离开波导，波导在其表面被法拉第笼限制。通常，这包括：在波导的前表面上的ITO涂层(12)；在后表面上的光反射涂层(10)，光反射涂层(10)通常是银的并且具有一氧化硅涂层(13)；以及，金属丝网(14)，它接触ITO和光反射涂层，并且接地，金属丝网围绕在前后表面之间的波导的侧面延伸。光可以通过金属丝网以用(2)，它们通常工作在2.45或5.8GHz或ISM频带内
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