公开(公告)号：TWI477782B

公开(公告)日：2015-03-21

申请号：TW102101937

申请日：2013-01-18

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 遠藤直貴 ,  ENDO, NAOKI ,  金田教良 ,  KANEDA, NORIYOSHI ,  宮地真也 ,  MIYAJI, SHINYA

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/2889

公开(公告)号：TW201436095A

公开(公告)日：2014-09-16

申请号：TW103107950

申请日：2014-03-07

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 花待年彥 ,  HANAMACHI, TOSHIHIKO ,  橋本大輔 ,  HASHIMOTO, DAISUKE ,  石岡泰明 ,  ISHIOKA, YASUAKI

IPC: H01L21/683

CPC classification number: C23C16/4586 ,  B05C21/00 ,  C23C16/463 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

Abstract: 提供基板支持裝置，對晶圓加熱時能均溫加熱板，防止加熱板發生因熱應變所導致之變形，提升晶圓均溫性。本發明之基板支持裝置具有板部及軸部。板部包括於內部具有發熱體之加熱板、具有配置於加熱板下面之第一流道之第一冷卻板及具有配置於加熱板上面之第二流道之第二冷卻板。軸部支持板部且於內部具有接續至發熱體以對其供給電流之配線及對第一及第二流道供給冷媒之配管。第一流道含有從第一冷卻板之中央部朝向外緣部以第一方向環繞之旋渦狀流道。第二流道含有從第二冷卻板之中央部朝向外緣部以相反於第一方向之第二方向環繞之旋渦狀流道。

Abstract in simplified Chinese: 提供基板支持设备，对晶圆加热时能均温加热板，防止加热板发生因热应变所导致之变形，提升晶圆均温性。本发明之基板支持设备具有板部及轴部。板部包括于内部具有发热体之加热板、具有配置于加热板下面之第一流道之第一冷却板及具有配置于加热板上面之第二流道之第二冷却板。轴部支持板部且于内部具有接续至发热体以对其供给电流之配线及对第一及第二流道供给冷媒之配管。第一流道含有从第一冷却板之中央部朝向外缘部以第一方向环绕之旋涡状流道。第二流道含有从第二冷却板之中央部朝向外缘部以相反于第一方向之第二方向环绕之旋涡状流道。

公开(公告)号：TWI420747B

公开(公告)日：2013-12-21

申请号：TW098127999

申请日：2009-08-20

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 藤井貴廣 ,  FUJII, TAKAHIRO ,  寺田雄亮 ,  TERADA, YUSUKE ,  安藤修司 ,  ANDO, SYUJI ,  石川浩嗣 ,  ISHIKAWA, KOJI

IPC: H01R12/50

CPC classification number: H01R13/2435 ,  H01L23/32 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：TW201323117A

公开(公告)日：2013-06-16

申请号：TW101139435

申请日：2012-10-25

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 平野智資 ,  HIRANO, SATOSHI ,  山內雄一郎 ,  YAMAUCHI, YUICHIRO ,  花待年彥 ,  HANAMACHI, TOSHIHIKO ,  齋藤慎二 ,  SAITO, SHINJI

IPC: B22F1/02 ,  C23C24/04

CPC classification number: C23C24/04

Abstract: 提供一種複合材料之製造方法，係包括互不相同的數種金屬材料之複合材料之製造方法，可安定地製造均質皮膜的複合材料之製造方法，及由此製造方法製造的複合材料。複合材料之製造方法含有皮膜形成步驟S3，係使複合化粉末與氣體一起加速，至少使複合化粉末表面保持固相狀態而噴附在基材表面並堆積而形成皮膜，其中，前述複合化粉末具有由第1金屬或合金形成的芯材被覆層、以及以反應性比第1金屬或合金低的第2金屬或合金被覆該芯材被覆層而形成的被覆層，且使該被覆層為最外層。

Abstract in simplified Chinese: 提供一种复合材料之制造方法，系包括互不相同的数种金属材料之复合材料之制造方法，可安定地制造均质皮膜的复合材料之制造方法，及由此制造方法制造的复合材料。复合材料之制造方法含有皮膜形成步骤S3，系使复合化粉末与气体一起加速，至少使复合化粉末表面保持固相状态而喷附在基材表面并堆积而形成皮膜，其中，前述复合化粉末具有由第1金属或合金形成的芯材被覆层、以及以反应性比第1金属或合金低的第2金属或合金被覆该芯材被覆层而形成的被覆层，且使该被覆层为最外层。

公开(公告)号：TW201312124A

公开(公告)日：2013-03-16

申请号：TW101128191

申请日：2012-08-01

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 山田佳男 ,  YAMADA, YOSHIO ,  弓野誠 ,  YUMINO, MAKOTO ,  近藤充博 ,  KONDO, MITSUHIRO ,  莊司哲 ,  SHOJI, SATOSHI

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06738 ,  G01R31/2886

Abstract: 本發明提供一種在與接觸對象之間可獲得確實之導通的探針單元。該探針單元是具有：包括數量在兩個以上的接觸探針(2a)的複數個探針群(2)，各接觸探針(2a)是在長邊方向的一方端部側與被接觸體之一個電極接觸，在另一方端部側與基板之不同的電極分別接觸的探針單元，其中：接觸探針(2a)具有：設在長邊方向的一方端部側，具有複數個形成尖細的前端形狀的爪部(21b)，並藉由爪部(21b)與被接觸體之電極接觸的前端部(21a)；設在長邊方向的另一方端部側，並且與基板之對應的電極接觸的第2接觸部；以及設在前端部(21a)與第2接觸部之間，用來彈推前端部(21a)及第2接觸部的螺旋彈簧(23)。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种在与接触对象之间可获得确实之导通的探针单元。该探针单元是具有：包括数量在两个以上的接触探针(2a)的复数个探针群(2)，各接触探针(2a)是在长边方向的一方端部侧与被接触体之一个电极接触，在另一方端部侧与基板之不同的电极分别接触的探针单元，其中：接触探针(2a)具有：设在长边方向的一方端部侧，具有复数个形成尖细的前端形状的爪部(21b)，并借由爪部(21b)与被接触体之电极接触的前端部(21a)；设在长边方向的另一方端部侧，并且与基板之对应的电极接触的第2接触部；以及设在前端部(21a)与第2接触部之间，用来弹推前端部(21a)及第2接触部的螺旋弹簧(23)。

公开(公告)号：TWI389269B

公开(公告)日：2013-03-11

申请号：TW098106347

申请日：2009-02-27

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 ,  KAZAMA, TOSHIO ,  中山浩志 ,  NAKAYAMA, HIROSHI ,  宮地真也 ,  MIYAJI, SHINYA ,  鈴木恒平 ,  SUZUKI, KOHEI

IPC: H01L23/15 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R31/2889 ,  H05K3/4605 ,  H05K3/467 ,  H05K2201/068

公开(公告)号：TWI381594B

公开(公告)日：2013-01-01

申请号：TW097139852

申请日：2008-10-17

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 ,  KAZAMA, TOSHIO ,  石川重樹 ,  ISHIKAWA, SHIGEKI

IPC: H01R13/02 ,  H01R12/82 ,  H01L21/60

CPC classification number: H05K3/326 ,  H01L23/49811 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/1461 ,  H01R12/714 ,  H01R13/2407 ,  H05K3/32 ,  H05K3/4015 ,  H05K3/4092 ,  H05K2201/0311 ,  H05K2201/0379 ,  H05K2201/0397 ,  H05K2201/1031 ,  H05K2201/10333 ,  H05K2201/1059 ,  H05K2201/10734 ,  Y02P70/611 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

公开(公告)号：TW200938847A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：TW098102774

申请日：2009-01-23

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 KAZAMA, TOSHIO ,  廣中浩平 HIRONAKA, KOHEI ,  石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06738

Abstract: 本發明提供一種用以抑制起因於探針之細徑化所造成之容許電流之降低的探針單元,係具備:複數個大徑探針:複數個小徑探針,其直徑比大徑探針之直徑小;大徑探針固持具,具有:複數個大孔部,個別地保持複數個大徑探針;及複數個收容孔部,其直徑比大孔部之直徑小,且與複數個大孔部之任一個連通,並在與大徑探針接觸之狀態下收容小徑探針之端部;同時互相連通之大孔部及收容孔部之組合係在厚度方向貫穿該大徑探針固持具;及小徑探針固持具,以朝厚度方向貫穿該小徑探針固持具之方式設有以防脫狀態個別地保持上述複數個小徑探針之複數個小孔部,上述小徑探針固持具疊層在上述大徑探針持具上,以使各小孔部與上述複數個收容孔部之任一個連通,而互相連通之上述大孔部與上述小孔部之長度方向之中心軸互異,且在上述複數個小孔部,包含有鄰接之二個小孔部之中心軸間距離比分別對應該二個小孔部之二個大孔部之中心軸間距離小者。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种用以抑制起因于探针之细径化所造成之容许电流之降低的探针单元,系具备:复数个大径探针:复数个小径探针,其直径比大径探针之直径小;大径探针固持具,具有:复数个大孔部,个别地保持复数个大径探针;及复数个收容孔部,其直径比大孔部之直径小,且与复数个大孔部之任一个连通,并在与大径探针接触之状态下收容小径探针之端部;同时互相连通之大孔部及收容孔部之组合系在厚度方向贯穿该大径探针固持具;及小径探针固持具,以朝厚度方向贯穿该小径探针固持具之方式设有以防脱状态个别地保持上述复数个小径探针之复数个小孔部,上述小径探针固持具叠层在上述大径探针持具上,以使各小孔部与上述复数个收容孔部之任一个连通,而互相连通之上述大孔部与上述小孔部之长度方向之中心轴互异,且在上述复数个小孔部,包含有邻接之二个小孔部之中心轴间距离比分别对应该二个小孔部之二个大孔部之中心轴间距离小者。

公开(公告)号：TWI307411B

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：TW095120312

申请日：2006-06-08

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  真船洋祐 MABUNE, YOSUKE

IPC: G01R

CPC classification number: G01R31/2887

Abstract: 本發明提供一種能以較高精度檢測薄壁且缺乏剛性之檢查對象的斷線之檢查裝置。為達成該目的而具備:複數個導電性接觸子,與形成薄膜膜狀之檢查對象的配線圖案接觸,以進行電氣信號之輸入或輸出之至少一方;保持具構件,將前述複數個導電性接觸子以對應前述配線圖案之配置狀態收容;以及平坦化機構,進行前述導通檢查之際,將與前述複數個導電性接觸子接觸之前述配線圖案的附近區域進行平坦化。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种能以较高精度检测薄壁且缺乏刚性之检查对象的断线之检查设备。为达成该目的而具备:复数个导电性接触子,与形成薄膜膜状之检查对象的配线图案接触,以进行电气信号之输入或输出之至少一方;保持具构件,将前述复数个导电性接触子以对应前述配线图案之配置状态收容;以及平坦化机构,进行前述导通检查之际,将与前述复数个导电性接触子接触之前述配线图案的附近区域进行平坦化。

公开(公告)号：TW200902985A

公开(公告)日：2009-01-16

申请号：TW097122997

申请日：2008-06-20

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  廣中浩平 HIRONAKA, KOHEI ,  近藤充博 KONDO, MITSUHIRO ,  伊藤修 ITO, OSAMU ,  須藤昂 SUDO, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07371

Abstract: 本發明係提供一種傳送訊號的損失較小,且電性特性優良之導電性觸頭保持器及導電性觸頭單元。為了達成此目的,係具備:絕緣性保持器構件,係由絕緣性材料所形成,並且於不同電路構造間進行電性訊號的輸出入之導電性觸頭,以遍及除了兩端部以外的大致全長呈插通之狀態予以保持;及導電性塊體構件,係由形成為略呈柱狀之導電性材料所形成,並且藉由絕緣性保持器構件保持;導電性塊體構件之互為相反的兩個表面,係從絕緣性保持器構件的表面中使導電性觸頭的兩端部突出之表面露出。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种发送信号的损失较小,且电性特性优良之导电性触头保持器及导电性触头单元。为了达成此目的,系具备:绝缘性保持器构件,系由绝缘性材料所形成,并且于不同电路构造间进行电性信号的输出入之导电性触头,以遍及除了两端部以外的大致全长呈插通之状态予以保持;及导电性块体构件,系由形成为略呈柱状之导电性材料所形成,并且借由绝缘性保持器构件保持;导电性块体构件之互为相反的两个表面,系从绝缘性保持器构件的表面中使导电性触头的两端部突出之表面露出。