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公开(公告)号：CN102053484A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010527717.3
申请日：2010-10-26
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14
Abstract: 本发明提供一种防尘薄膜组件，能够容易地将粘着剂层从光掩模和防尘薄膜组件框架之间除去，从而从光掩模剥离。在防尘薄膜组件框架(11)的一表面(12)上，仅在从所述防尘薄膜组件框架的内侧开始至所述防尘薄膜组件框架(11)的宽度的80％以下的区域形成使其向光掩模粘着的粘着剂层(16)，在形成的所述粘着剂层(16)的区域外侧的所述防尘薄膜组件框架(11)上，具有向所述防尘薄膜组件框架(11)的与防尘薄膜(20)粘接的另一表面(13)倾斜的倾斜面(15)。
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公开(公告)号：CN101930163A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010171048.0
申请日：2010-04-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F1/14
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 本发明涉及薄膜，课题是在薄膜框架上设有气压调整用的贯通孔，并且在该贯通孔上安装有过滤部件的薄膜中，提高其通气性，使过滤部件的安装变得容易，抑制从过滤部件产生灰尘，而且在薄膜处理时防止过滤部件的接触、破损。贯通孔包括：(1)向薄膜外部开口并容纳过滤部件的凹形状的外侧阶梯部；(2)向上述外侧阶梯部的底面开口的凹形状的内侧阶梯部；以及(3)一端向上述内侧阶梯部的底面开口且另一端向薄膜内部开口的通气孔。
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公开(公告)号：CN101190723B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200710196223.X
申请日：2007-11-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: B65D1/42 , B65D43/02 , H01L21/673 , G03F1/00 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其无须使用其他补强体，便具有能承受保管、输送时的外力冲击，并防止异物附着于其内部所收纳的防护薄膜组件上的足够刚性。为达成上述目的，以树脂片材形成防护薄膜组件收纳容器本体，并在容器本体上设置多个的肋部，该肋部横切容器本体外形的对角线，且未与其他肋部交叉。肋部对扭转变形发挥高度抵抗力，又，肋部本身不会成为变形的起点。结果，无须使用补强体也能明显提高容器本体的刚性，特别是扭转方向的刚性，故能以低成本制得轻量化且具备高刚性的防护薄膜组件收纳容器。
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公开(公告)号：CN101164835B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710162591.2
申请日：2007-10-19
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 一种防护薄膜组件包装用缓冲体，本发明的防护薄膜组件包装用缓冲体(1)于防护薄膜组件的输送容器(6)内，设置凹凸部(2)于配置在防护薄膜组件壳体(3)的底面的该缓冲体(1)的表面，而该表面是接触防护薄膜组件壳体(3)。通过使用此缓冲体(1)的防护薄膜组件的包装方法，相较于现有所用的平板状缓冲体，可大幅提高缓冲效果。因此，能减少运送时的振动、撞击，且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染的状态下，将其保持洁净状态而输送。
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公开(公告)号：CN101303520A
公开(公告)日：2008-11-12
申请号：CN200810091378.1
申请日：2008-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明的目的在于提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其是以片材成形，且未使用其它补强体，便具有能承受保管、输送中的外力冲击，防止异物附着于内部收纳的防护薄膜组件的足够刚性。为达成上述目的，本发明的容器本体以及盖体，是由树脂片材所成形的构件，其外周长边与外周短边的连接部，从平面方向观察时，与长边形成的角度在30°以上且未达60°，而且形成长度50mm以上的直线形状，或形成半径40mm以上的圆弧形状。再者，容器本体互相平行的2边，从侧面方向观察时，外周部亦可形成至少具有2段直立面的形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101224456A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810002088.5
申请日：2008-01-16
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 本发明的目的在于提供一种对防护薄膜框架内面涂布粘接剂的涂布方法，其对周围环境不会造成污染，涂布质量以及其稳定性亦优良。由于本发明将防护薄膜框架一个内面保持实质水平且朝上，边从吐出口滴下经过溶媒稀释的粘接剂边移动吐出口，以涂布粘接剂，故不会因为粘接剂飞散而对作业环境或防护薄膜框架造成污染，再者，也不会发生未涂布或溢出的情况，能稳定制得外观优良的涂膜。
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公开(公告)号：CN101190723A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200710196223.X
申请日：2007-11-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: B65D1/42 , B65D43/02 , H01L21/673 , G03F1/00 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种轻量化且低成本的防护薄膜组件收纳容器，其无须使用其他补强体，便具有能承受保管、输送时的外力冲击，并防止异物附着于其内部所收纳的防护薄膜组件上的足够刚性。为达成上述目的，以树脂片材形成防护薄膜组件收纳容器本体，并在容器本体上设置多个的肋部，该肋部横切容器本体外形的对角线，且未与其他肋部交叉。肋部对扭转变形发挥高度抵抗力，又，肋部本身不会成为变形的起点。结果，无须使用补强体也能明显提高容器本体的刚性，特别是扭转方向的刚性，故能以低成本制得轻量化且具备高刚性的防护薄膜组件收纳容器。
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公开(公告)号：CN101075088A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200710102553.8
申请日：2007-05-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
Abstract: 本发明提供一种防护薄膜框架，在贴附到光掩模之后，可容易地进行剥离；进一步提供一种装置，可将光掩模所贴附的防护薄膜组件加以无损伤地剥离。本发明的防护薄膜组件的特征为：至少一边的边长在300mm以上的防护薄膜组件，且在贴附在光掩模2的状态中，在防护薄膜框架1的外侧全周80％以上的区域，光掩模2及防护薄膜框架1二者间设有宽2mm以上、高0.5mm以上的间隙。本发明的防护薄膜组件剥离装置的特征为：包含：剥离具7，下部具有平板状部15；及升降机构12，将该剥离具7保持与光掩模2平行的状态下，而往上方升高。并且，通过把剥离具7的平板状部15加以插进防护薄膜框架1及光掩模2两者的间隙，以将光掩模2及防护薄膜组件二者分开。
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公开(公告)号：CN1836988A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200610054951.2
申请日：2006-02-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F1/64 , G03F1/66 , G03F7/70741 , G03F7/70983
Abstract: 本发明提供收纳防护胶膜组件不会附着异物且可防止防护胶膜组件的污损而维持质量的照相平版印刷用防护胶膜组件收纳容器，其由用以载置防护胶膜组件的容器本体、及覆盖防护胶膜组件且边缘部与容器本体互相嵌合固定的盖体所构成的防护胶膜组件收纳容器，将框架保持销插入设于防护胶膜框架外侧面的孔来保持防护胶膜组件。该容器本体为树脂、该容器本体接合着金属构件、对保持防护胶膜组件的该框架保持销进行定位的定位构件及组装于容器本体的该金属构件是以机械方式进行连结、以及保持防护胶膜组件的该框架保持销与防护胶膜框架的接触部设置着弹性体时为佳，此外，该容器本体及该盖体的材质为树脂且具有表面电阻值为1×1012Ω/□以下的防静电性能更佳。
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公开(公告)号：CN1737689A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200510092419.5
申请日：2005-08-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Inventor： 关原一敏
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/64
Abstract: 一种防护胶膜框架以及使用该框架的光刻用防护胶膜组件，其不仅能借由防护胶膜膜片的张力防止框架向内侧弯曲，使曝光面积减少，亦能得到尺寸精确度以及对光罩的贴附位置精确度良好的防护胶膜组件。本发明的框架，其特征为于框体至少一对的边，具有中央部分为朝外侧凸出的圆弧形状部分，其两侧为朝外侧凹入的圆弧形状部分，再更两外侧为直线形状部分。再者，朝外侧凹入圆弧形状部分的半径为朝外侧凸出圆弧形状部分的半径的1/3以上为宜。本发明特别适用于框架至少一对的边长为400mm以上的大型框架。
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