公开(公告)号：CN215141551U

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202120211298.6

申请日：2021-01-26

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 安陪裕滋

IPC: B05C5/02

Abstract: 本实用新型使得在狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴的基板处理装置中，能够有效率地进行用于使吐出量在吐出口的中央部与端部之间均匀化的作业。本实用新型的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙地相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整吐出口的开口宽度，在一对唇部中的至少一个中，在与和另一个唇部相向的相向面为相反侧的面上与吐出口的长边方向平行地设置有槽，调整机构通过以增减喷嘴本体中的隔着槽而相向的部位的间隔的方式使喷嘴本体变形来调整开口宽度。调整机构具有沿长边方向排列的多个调整螺丝，调整螺丝与相向面的距离在与吐出口的端部对应的位置处比中央部大。

公开(公告)号：CN214440464U

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202021265579.1

申请日：2020-07-02

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 安陪裕滋 ,  塩田明仁

IPC: B05C5/02

Abstract: 本实用新型提供一种可在具有狭缝状的吐出口的狭缝喷嘴、及包括所述狭缝喷嘴并将处理液涂布在基板上的基板处理装置中，比以往更细致地调整吐出口的开口尺寸的技术。本实用新型的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过设置在第一唇部的第一平坦面与设置在第二唇部的第二平坦面隔着间隙相向，而形成呈狭缝状地开口的吐出口；多个第一调整机构，沿着吐出口的长边方向排列，分别使第一唇部相对于第二唇部朝接近方向及分离方向位移；以及多个第二调整机构，沿着长边方向、且使长边方向上的配设位置与第一调整机构不同来排列，分别使第二唇部相对于第一唇部朝接近方向及分离方向位移。