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公开(公告)号：KR101146982B1
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020090112796
申请日：2009-11-20
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/26 , C23C16/455 , C23C16/46 , H01L51/0008 , H01L51/5012 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 본 발명은, 증착 물질을 수용하는 도가니 및 가열부를 포함하는 증착원; 상기 증착원의 일 측에 제1 방향을 따라 배치되며, 기화된 증착 물질이 방사되는 복수 개의 노즐이 형성된 노즐부; 상기 증착원 내부에 상기 노즐부를 향하도록 배치되어, 상기 방사되는 증착 물질의 상기 노즐부 방향으로의 운동량을 증가시키는 방사계수 증가수단; 상기 노즐부와 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 복수개의 패터닝 슬릿들이 패치되는 패터닝 슬릿 시트; 및 상기 노즐부와 상기 패터닝 슬릿 사이에 상기 제1 방향을 따라 배치되고, 상기 노즐부와 상기 패터닝 사이의 공간을 복수개의 증착 공간들로 구획하는 복수개의 차단판들을 포함하는 차단판 어셈블리를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：KR101127576B1
公开(公告)日：2012-03-26
申请号：KR1020090074001
申请日：2009-08-11
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본 발명은 박막 증착 장치에 관한 것으로, 상세하게는 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있고, 제조 수율이 향상된 박막 증착 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 기판상에 박막을 형성하기 위한 박막 증착 장치에 있어서, 증착원; 상기 증착원의 일 측에 배치되며, 제1 방향을 따라 복수 개의 제1 슬릿들이 형성되는 제1 노즐; 상기 증착원과 대향되게 배치되고, 상기 제1 방향을 따라 복수 개의 제2 슬릿들이 형성되는 제2 노즐; 상기 제1 노즐과 상기 제2 노즐 사이의 공간을 구획하도록 상기 제1 방향을 따라 배치된 복수 개의 차단벽들을 구비하는 차단벽 어셈블리; 및 상기 제2 노즐과 상기 기판 사이의 얼라인(align)을 조절하는 얼라인 제어 부재를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.-
公开(公告)号：KR101107169B1
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：KR1020090079465
申请日：2009-08-26
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: G01F11/021 , G01F11/029 , G01F11/04
Abstract: 수지 유체 디스펜싱 장치는 수지(resin) 유체가 위치하는 저장부, 상기 저장부와 연결되어 있는 제1 연결부, 상기 제1 연결부를 통해 상기 수지 유체가 이동되어 위치하는 가압 챔버, 상기 수지 유체를 가압하는 가압부, 상기 가압 챔버와 연결되어 있는 제2 연결부 및 상기 제2 연결부를 통해 상기 수지 유체가 이동되어 위치하는 디스펜서를 포함한다.
수지 유체, 가압 챔버, 가압부-
公开(公告)号：KR101097340B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020100020403
申请日：2010-03-08
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 씰링부의특성을향상하도록본 발명은기판, 상기기판상에배치된표시부, 상기표시부와대향하는밀봉기판, 상기기판과상기밀봉기판사이에상기표시부와이격되도록배치되어상기기판과상기밀봉기판을접합하는씰링부및 상기씰링부의상기밀봉기판을향하는방향에상기씰링부의폭을벗어나지않도록형성되고, 상기밀봉기판으로입사되는광의소정의양을흡수하는반투과층을포함하는표시장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR101074793B1
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：KR1020090052359
申请日：2009-06-12
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
Abstract: 본발명은피 증착체상에박막을형성하기위한박막증착장치에있어서, 증착물질을방사하는증착원; 상기증착원의일 측에배치되며, 제1 방향을따라복수개의제1 슬릿들이형성되는제1 노즐; 상기증착원과대향되게배치되고, 상기제1 방향을따라복수개의제2 슬릿들이형성되는제2 노즐; 상기제1 노즐과상기제2 노즐사이에상기제1 방향을따라배치되어, 상기제1 노즐과상기제2 노즐사이의공간을복수개의증착공간들로구획하는복수개의차단벽들을구비하는차단벽어셈블리; 및상기제1 노즐과상기제2 노즐사이에배치되어상기증착원으로부터방사되는상기증착물질중 적어도일부를차단하는보정판을포함하고, 상기증착원, 상기제1 노즐, 상기제2 노즐, 상기보정판및 상기차단벽어셈블리는상기피 증착체에대하여상대적으로이동가능하도록형성되는것을특징으로하는박막증착장치를제공한다.
Abstract translation: 一种用于在沉积材料上沉积薄膜的薄膜沉积设备，包括：用于发射沉积材料的沉积源; 第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述蒸发源的一侧上并具有沿着第一方向形成的多个第一狭缝; 第二喷嘴，所述第二喷嘴与所述蒸发源相对设置并且沿所述第一方向具有多个第二狭缝; 以及沿第一方向布置在第一喷嘴和第二喷嘴之间并且将第一喷嘴和第二喷嘴之间的空间划分成多个沉积空间的多个阻隔壁， 组装; 以及补偿板，其设置在所述第一喷嘴和所述第二喷嘴之间并且阻挡从所述蒸发源发射的所述蒸发材料的至少一部分，其中所述蒸发源，所述第一喷嘴，所述第二喷嘴， 并且阻挡壁组件形成为相对于要被气相沉积的物体可相对移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101056435B1
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：KR1020090094384
申请日：2009-10-05
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: G02F1/1345
CPC classification number: C09J9/02 , C08K9/02 , C09J7/20 , C09J2203/326 , C09J2205/102 , H01L27/3276 , H01L2224/2929 , H01L2224/293 , H01L2224/81191 , H01L2224/81903 , H01L2224/83851 , H01L2224/9211 , H01L2924/12044 , H01L2924/1461 , Y10T428/25 , H01L2924/00
Abstract: 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film)은 필름, 상기 필름 상에 위치하는 접착층 및 상기 접착층 내에 분산되어 있는 하나 이상의 도전성 볼을 포함하며, 상기 도전성 볼은 제1 경도를 가지는 제1 코어부, 상기 제1 코어부를 감싸며, 상기 제1 경도 대비 더 단단한 제2 경도를 가지는 제2 코어부 및 상기 제2 코어부를 감싸는 도전부를 포함한다.
집적 회로 칩, 패드부, 이방성 도전 필름, 도전성 볼Abstract translation: 各向异性导电膜包括膜，设置在所述膜上的粘合剂层和分散在所述粘合剂层中的至少一个导电球，其中所述导电球具有第一芯部分，所述第一芯部分具有第一硬度， 围绕核心部分并具有比第一硬度更硬的第二硬度的第二核心部分以及围绕第二核心部分的导电部分。
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公开(公告)号：KR1020110033587A
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：KR1020090091140
申请日：2009-09-25
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/243 , F28D15/0233 , F28D15/0275 , F28F21/08 , H01L51/0008 , H01L51/56
Abstract: PURPOSE: A deposition source and method of manufacturing organic light emitting device are provided to improve the uniformity and property of a deposition film. CONSTITUTION: A deposition source comprises a heating source, a heat transfer plate(120), a planarization layer and a coil part(110). The heating source is formed to supply heats to the peripheral region of the heat transfer plate. The heat transfer plate is transmitted the heat generated from the heating source. The coil part is arranged in entire heat transfer plate.
Abstract translation: 目的：提供沉积源和制造有机发光器件的方法，以改善沉积膜的均匀性和性能。 构成：沉积源包括加热源，传热板（120），平坦化层和线圈部分（110）。 形成加热源以向传热板的周边区域供应热量。 传热板传递从加热源产生的热量。 线圈部分布置在整个传热板上。
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公开(公告)号：KR1020110016034A
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：KR1020090073523
申请日：2009-08-10
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12
Abstract: PURPOSE: A thin film deposition device with a deposition screen panel is provided to minimize deposition materials accumulated in a nozzle unit in a deposition standby mode. CONSTITUTION: A thin film deposition device(100) comprises a deposition source(110), first and second nozzle units(120,150), a barrier wall assembly(130), a screen panel assembly(140). The deposition source accepts vaporized deposition materials. Multiple first slits(121) of the first nozzle unit are formed along a first direction of a substrate(160). The second nozzle unit is arranged between the first nozzle unit and the substrate. The barrier wall assembly is arranged between the first and second nozzle units. The screen panel assembly is arranged between the barrier wall assembly and the second nozzle unit.
Abstract translation: 目的：提供具有沉积屏幕面板的薄膜沉积装置，以最小化在沉积待机模式下在喷嘴单元中累积的沉积材料。 构成：薄膜沉积装置（100）包括沉积源（110），第一和第二喷嘴单元（120,150），阻挡壁组件（130），屏幕面板组件（140）。 沉积源接受蒸发的沉积材料。 第一喷嘴单元的多个第一狭缝（121）沿着基板（160）的第一方向形成。 第二喷嘴单元布置在第一喷嘴单元和基板之间。 阻挡壁组件布置在第一和第二喷嘴单元之间。 屏幕面板组件布置在阻挡壁组件和第二喷嘴单元之间。
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公开(公告)号：KR1020100137179A
公开(公告)日：2010-12-30
申请号：KR1020090055473
申请日：2009-06-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/208
CPC classification number: C23C14/044 , C23C14/24
Abstract: PURPOSE: An apparatus for a thin layer deposition is provided to accurately align the gap between a second shielding wall and a second nozzle by improving production yield and deposition efficiency. CONSTITUTION: A first nozzle(120) is arranged in one side of an evaporation source(110). A first nozzle has a plurality of first slits along one direction. A second nozzle(150) is opposite to a target to be deposited. A second nozzle has a plurality of second slits along one direction.
Abstract translation: 目的：提供一种用于薄层沉积的装置，通过提高产量和沉积效率来精确地对准第二屏蔽壁和第二喷嘴之间的间隙。 构成：第一喷嘴（120）布置在蒸发源（110）的一侧。 第一喷嘴沿着一个方向具有多个第一狭缝。 第二喷嘴（150）与待沉积的靶相对。 第二喷嘴沿着一个方向具有多个第二狭缝。
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公开(公告)号：KR1020100126124A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：KR1020090045198
申请日：2009-05-22
Applicant: 삼성모바일디스플레이주식회사
IPC: H01L21/208
CPC classification number: C07D209/88 , C07D209/08 , C07D209/86 , C07D405/04 , C07D405/14 , C07D409/04 , C07D409/14
Abstract: PURPOSE: An apparatus for thin layer deposition is provided to reduce the manufacturing cost by increasing the recycling ratio of deposition material and improving the deposition efficiency. CONSTITUTION: A substrate(160) is arranged within a chamber. A deposition source(110) is arranged on a side opposing the substrate. A first nozzle(120) is arranged on a side facing the substrate in the deposition source. A first shield wall assembly(130) comprising a first shielding wall(131) is arranged on one side of the first nozzle.
Abstract translation: 目的：提供薄层沉积设备，通过提高沉积材料的回收率和提高沉积效率来降低制造成本。 构成：衬底（160）布置在腔室内。 沉积源（110）布置在与衬底相对的一侧上。 第一喷嘴（120）布置在沉积源中面向衬底的一侧。 包括第一屏蔽壁（131）的第一屏蔽壁组件（130）布置在第一喷嘴的一侧上。
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