증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법
    3.
    发明公开
    증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 失效
    沉积装置及使用其制造有机发光装置的方法

    公开(公告)号:KR1020110061242A

    公开(公告)日:2011-06-09

    申请号:KR1020090117833

    申请日:2009-12-01

    CPC classification number: H01L51/0008

    Abstract: PURPOSE: A deposition device and method for manufacturing organic light emitting element using the same are provided to improve the deposition property and deposition film uniformity by using a vacuum deposition method. CONSTITUTION: A deposition device comprises a base(101), a thermal insulating layer(102), a heating layer(103) and a partition wall(104). The thermal insulating layer is formed on the base. A heating layer is formed on the thermal insulating layer as stripe pattern in order to heat the depositing target material. The partition wall is formed on the thermal insulating layer and performs patterning the space which can arrange the depositing material on the heating layer. The thermal insulating layer comprises one selected from the group consisting of ZrO2, SiO2 and Al2O3. The thermal insulating layer is formed on the surface of which the base faces to the heating layer. The heating layer has a plurality of stripe patterns.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造使用其的有机发光元件的沉积装置和方法,以通过使用真空沉积方法来提高沉积性能和沉积膜均匀性。 构成:沉积装置包括基底(101),绝热层(102),加热层(103)和分隔壁(104)。 绝热层形成在基座上。 在绝热层上形成加热层作为条纹图案,以加热沉积靶材。 分隔壁形成在绝热层上,并且对可以将沉积材料布置在加热层上的空间进行图案化。 绝热层包括选自ZrO 2,SiO 2和Al 2 O 3的一种。 绝热层的基面朝向加热层的表面形成。 加热层具有多个条纹图案。

    증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법
    5.
    发明授权
    증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 失效
    使用该有机发光装置的沉积装置和制造方法

    公开(公告)号:KR101156431B1

    公开(公告)日:2012-06-18

    申请号:KR1020090117833

    申请日:2009-12-01

    CPC classification number: H01L51/0008

    Abstract: 증착 특성 및 증착막 균일성을 향상할 수 있도록, 본 발명은 베이스, 상기 베이스 상에 형성된 열차단층, 증착할 증착 재료를 가열하도록 상기 열차단층 상에 스트라이프 형태로 형성되는 발열층 및 상기 열차단층 상에 형성되고 상기 발열층 상에 증착 재료를 배치할 수 있는 공간을 한정하도록 패터닝된 격벽을 포함하는 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법을 제공한다.

    증착 소스 및 유기 발광 소자 제조 방법
    6.
    发明公开
    증착 소스 및 유기 발광 소자 제조 방법 有权
    沉积源和制造有机发光装置的方法

    公开(公告)号:KR1020110033587A

    公开(公告)日:2011-03-31

    申请号:KR1020090091140

    申请日:2009-09-25

    Abstract: PURPOSE: A deposition source and method of manufacturing organic light emitting device are provided to improve the uniformity and property of a deposition film. CONSTITUTION: A deposition source comprises a heating source, a heat transfer plate(120), a planarization layer and a coil part(110). The heating source is formed to supply heats to the peripheral region of the heat transfer plate. The heat transfer plate is transmitted the heat generated from the heating source. The coil part is arranged in entire heat transfer plate.

    Abstract translation: 目的:提供沉积源和制造有机发光器件的方法,以改善沉积膜的均匀性和性能。 构成:沉积源包括加热源,传热板(120),平坦化层和线圈部分(110)。 形成加热源以向传热板的周边区域供应热量。 传热板传递从加热源产生的热量。 线圈部分布置在整个传热板上。

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