公开(公告)号：KR100951355B1

公开(公告)日：2010-04-08

申请号：KR1020030044582

申请日：2003-07-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  이덕중 ,  김성봉 ,  오상우 ,  이정호 ,  강성철 ,  강호민

IPC: H01L21/027

Abstract: 기판이 장착되는 받침대, 받침대 위의 기판에 감광액을 도포하는 노즐, 노즐에 감광액을 공급하는 감광액 공급 장치, 기판을 따라 이동하며 감광액을 도포하는 방향을 스캔 방향이라 할 때, 노즐을 스캔 방향을 따라 이동시키는 노즐 이동 장치, 스캔 방향과 반대 방향으로 받침대를 이동시키는 받침대 이동 장치를 포함하는 도포 장치.
도포장치, 노즐, 받침대, 동시구동

公开(公告)号：KR1020060064813A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：KR1020040103471

申请日：2004-12-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심이섭 ,  남효락 ,  김병주 ,  조국래 ,  최진경 ,  김진석

IPC: G02F1/1339

CPC classification number: G02F1/13392 ,  G02F1/133512 ,  G02F1/136286

Abstract: 본 발명은, 액정 표시 패널에 관한 것으로서, 제 1 기판과, 제 1 기판과 대향 배치되는 제 2 기판과, 제 2 기판 상에 적층되며 소정의 패턴으로 형성된 함몰부를 갖는 블랙 매트릭스와, 제 1 기판과 제 2 기판 사이의 간격을 유지하며 함몰부에 적어도 일부가 수용되는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 스페이서의 위치가 제어되어, 휘도와 대비비의 감소 및 얼룩 불량의 발생을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR100580398B1

公开(公告)日：2006-05-15

申请号：KR1019990001787

申请日：1999-01-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락

IPC: G02F1/136

Abstract: 기판 위에 게이트선, 게이트 패드, 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선을 형성하고, 게이트 절연막, 반도체층, 접촉층 및 도전체층을 연속 증착한 다음 그 위에 리플로우가 가능한 유기막을 도포한다. 마스크를 이용한 패터닝 공정으로 유기막 패턴을 형성하고, 이를 마스크로 도전체층 및 접촉층을 식각하여 소스 전극과 드레인 전극, 데이터선 및 데이터 패드를 포함하는 데이터 배선 및 그 하부에 접촉층 패턴을 형성한다. 다음, 유기막 패턴을 리플로우시켜 소스 및 드레인 전극 사이 및 데이터 배선의 가장자리에 인접한 반도체층을 덮은 보호막을 형성한 다음, 보호막으로 가리지 않은 반도체층을 차례로 식각한다. 이어, 감광막을 사용한 사진 공정으로 드레인 전극, 게이트 패드 및 데이터 패드를 노출시킨 다음, 이들과 각각 연결되는 화소 전극, 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드를 형성한다.
단차, ITO, 유기막, 리플로우, 마스크

Abstract translation: 形成栅极布线包括栅极线，栅极焊盘，在衬底上的栅极电极，栅极绝缘膜，连续沉积半导体层，接触层和导电层，然后涂有有机膜可以在其上回流。 通过使用掩模的图案化工艺形成有机膜图案，并且使用该掩模蚀刻导体层和接触层以形成包括源电极和漏电极，数据线和数据焊盘以及其下的接触层图案的数据线 。 接下来，回流有机膜图案以形成覆盖源极和漏极以及与数据线的边缘相邻的半导体层的保护膜，然后依次蚀刻未被蚀刻掉的半导体层。 接下来，在光刻工艺中使漏电极，栅极焊盘和数据焊盘暴露，并且形成像素电极，辅助栅极焊盘和辅助数据焊盘。

公开(公告)号：KR1020060024129A

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：KR1020040073008

申请日：2004-09-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조국래 ,  백기범 ,  김병주 ,  남효락

IPC: G03F7/16

Abstract: 본 발명에 따른 도포 장치용 노즐은 박스 형상의 본체, 상기 본체 내부에 형성되어 있는 용액 토출부를 포함하고, 상기 본체의 정면 하부에 비드 형성부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 도포 장치용 노즐은 노즐 본체의 일 측면에 홈 형상의 비드 형성부를 형성함으로써 감광액 도포 시 필요한 비드의 유동을 최적화하여 균일한 높이로 비드를 형성한다는 장점이 있다.
감광액, 도포장치, 비드, 웨트라인, 홈

公开(公告)号：KR100521265B1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：KR1019980012774

申请日：1998-04-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  김치우 ,  이정호

IPC: G02F1/136

Abstract: 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 기판 위에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 박막 트랜지스터를 덮는 유기 절연막을 도포하는 단계, 유기 절연막에 접촉구를 형성하기 위한 제1 마스크를 사용하여 1차 노광하는 단계, 유기 절연막에 돌기를 형성하기 위한 제2 마스크를 사용하여 2차 노광하는 단계, 유기 절연막을 패터닝하는 단계, 유기 절연막 위에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함한다.

公开(公告)号：KR100516064B1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：KR1019980017508

申请日：1998-05-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락

IPC: G02F1/1345

Abstract: 두께가 0.3∼0.5 mm 정도인 유리 기판에 0.4∼0.7mm 정도의 두께를 가지는 더미 기판을 봉합재로 접착하여 전체 두께가 0.7∼1.2μm 정도인 공정용 기판을 제작한다. 더미 기판이 부착된 반대편 기판 면에 박막 트랜지스터 기판용 또는 컬러 필터 기판용 패턴을 형성하는 제조 공정을 실시하여, 각각의 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판을 완성한 다음, 패턴이 형성된 면 쪽에 제1 차 스크라이브를 실시한다. 스크라이브된 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 기판을 서로 마주보도록 대응시키고, 두 기판의 가장자리를 따라 봉합재를 둘러서 두 기판을 일체화한다. 이때, 봉합재는 기판과 각각의 더미 기판을 접착시키고 있는 봉지재보다 기판 안쪽에 위치하도록 한다. 마지막으로, 봉합재의 바깥쪽에 위치한 부분에서 더미 기판면에 제 2차 스크라이브를 실시한 다음, 브레이크를 실시하여 더미 기판과 기판을 분리한다.

公开(公告)号：KR1020050018688A

公开(公告)日：2005-02-24

申请号：KR1020030054905

申请日：2003-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이덕중 ,  강성철 ,  남효락 ,  김성봉 ,  이정호

IPC: G02F1/13

Abstract: PURPOSE: A photoresist coater is provided to uniformly coat photoresist on a substrate and easily control the thickness of the photoresist coated on the substrate. CONSTITUTION: A photoresist coater includes a photoresist coating unit for coating photoresist on a substrate. The photoresist coating unit includes a main body(10) and a nozzle part(50). The main body has a photoresist container for containing photoresist. The nozzle part includes a plurality of nozzle holes(51) connected to the photoresist container to spray the photoresist. Each of the nozzle holes has a diameter of 1.5 to 50 micrometer.

Abstract translation: 目的：提供光致抗蚀剂涂布机以均匀地涂覆基材上的光致抗蚀剂并且容易地控制涂覆在基材上的光致抗蚀剂的厚度。 构成：光致抗蚀剂涂布机包括用于在基板上涂覆光致抗蚀剂的光致抗蚀剂涂层单元。 光致抗蚀剂涂布单元包括主体（10）和喷嘴部（50）。 主体具有用于容纳光致抗蚀剂的光致抗蚀剂容器。 喷嘴部分包括连接到光致抗蚀剂容器以喷射光致抗蚀剂的多个喷嘴孔（51）。 每个喷嘴孔的直径为1.5至50微米。

公开(公告)号：KR1020050004414A

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：KR1020030044582

申请日：2003-07-02

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락 ,  이덕중 ,  김성봉 ,  오상우 ,  이정호 ,  강성철 ,  강호민

IPC: H01L21/027

Abstract: PURPOSE: A spreading apparatus is provided to improve productivity by simultaneously moving a nozzle and a supporting plate in opposite directions. CONSTITUTION: A substrate(10) is loaded on a supporting plate(100). A nozzle(500) is used for spreading a photoresist solution(20) onto the substrate. A photoresist solution supply unit supplies the photoresist solution to the nozzle. A nozzle moving unit moves along the substrate in order to shift the nozzle in a scanning direction. A supporting plate moving unit(600) shafts the supporting plate in the direction opposite to the scanning direction.

Abstract translation: 目的：提供扩展装置以通过同时沿相反方向移动喷嘴和支撑板来提高生产率。 构成：衬底（10）装载在支撑板（100）上。 喷嘴（500）用于将光致抗蚀剂溶液（20）铺展到基底上。 光致抗蚀剂溶液供应单元将光致抗蚀剂溶液供应到喷嘴。 喷嘴移动单元沿着基板移动，以便在扫描方向上移动喷嘴。 支撑板移动单元（600）沿与扫描方向相反的方向轴支撑支撑板。

公开(公告)号：KR100315911B1

公开(公告)日：2002-09-25

申请号：KR1019970051971

申请日：1997-10-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락

IPC: G02F1/136

Abstract: PURPOSE: A liquid crystal display panel, a method for fabricating the liquid crystal display panel and a method for aligning the panel are provided to arrange an alignment key at a shot to be aligned and accurately align the alignment key with a mask to reduce the number of poor LCD panel production. CONSTITUTION: A liquid crystal display panel includes a substrate(100), a gate pattern composed of a gate line formed on the substrate and a gate electrode(210) connected to the gate line, and a gain insulating layer(300) covering the gate pattern. The liquid crystal display panel further includes a semiconductor layer(400) formed on the gate insulating layer, and a data pattern composed of a data line that is formed on the gate insulating layer and intersects the gate line, a source electrode(610) connected to the data line and formed on the semiconductor layer and a drain electrode(620) isolated from the source electrode and formed on the semiconductor layer. The liquid crystal display also has an overcoat film(700) covering the semiconductor layer, an alignment key(410) formed within a pixel region defined by the gate line and the data line, and a pixel electrode(800) formed at the pixel region and connected to the drain electrode.

公开(公告)号：KR1020000008338A

公开(公告)日：2000-02-07

申请号：KR1019980028106

申请日：1998-07-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 남효락

IPC: G02F1/1341

CPC classification number: G02F1/1339 ,  G02F2001/133354

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating liquid crystal display is provided to reduce thickness of liquid crystal display. CONSTITUTION: The method comprises the steps of: deposing a first liquid RTV silicon rubber sealant on a first substrate, bonding the sealant deposed on the first substrate with a second substrate, performing a thin film process in opposite surface of the second substrate does not bonded with the sealant, and removing the first substrate from the second substrate. The sealant is deposited by dispensing method in centipoise of 10,000 ¯ 40,000 cp.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造液晶显示器的方法以减小液晶显示器的厚度。 该方法包括以下步骤：将第一液体RTV硅橡胶密封剂置于第一衬底上，将第一衬底上放置的密封剂与第二衬底接合，在第二衬底的相对表面进行薄膜处理， 并且从第二衬底移除第一衬底。 密封剂通过分配方式沉积在10,000-40,000cp的厘泊中。