Abstract:
본 발명은 반도체장치 금속 접속구의 불순물 영역과 금속배선을 연결하는 콘택 패드(contact pad) 형성 방법에 관한 것으로, 기판상에 게이트전극을 형성하는 공정과; 상기 기판상에 불순물 이온을 주입하여 소스/드레인 영역으로 작용되는 P형 불순물 영역을 형성하는 공정과; 상기 기판상에 T1을 포함한 P + 형 폴리실리콘막을 형성하고 패터닝하여 콘택패드를 형성하는 공정과; 상기 콘택패드 및 기판상에 층간절연막을 형성하는 공정과; 상기 층간절연막을 습식 및 건식식각하여 접속구를 형성하는 공정을 포함하고 있다.
Abstract:
금속 접촉구를 금속물질로 매몰하기 위한 반도체장치의 접촉구 매몰방법에 대해 기재되어 있다. 이는, 반도체기판 상에 형성된 접촉구에 TiNX으로 구성된 웨팅층을 형성하는 단계 및 웨팅층이 형성된 결과물 상에 배선형성을 위한 금속물질을 증착하여 접촉구를 매몰하는 단계를 포함하여 이루어진다. 따라서, 고단차 접촉구에서도 매몰특성이 양호할 뿐만 아니라, 저항, 신뢰성등에 영향을 미치지 않고 좋은 접촉특성을 얻을 수 있으며, 금속 배선층의 표면막질이 평탄하여, 후속 공정 진행이 용이한 이점이 있다.
Abstract:
PURPOSE: A method and an apparatus for repairing gene sequences using a probe map are provided to accurately repair target sequences. CONSTITUTION: A method for repairing gene sequences using a probe map comprises: a step of arranging a probe on a target sequence based on probe-hybridized result(1201); a step of determining representative value of each arranged site based on statistic distribution(1202); and a step of repairing target sequences using the probe map in which determined representative value and probe sequence information are mapped(1203).
Abstract:
웨이퍼에 직접 조사되는 레이저빔의 특정파장을 검출하여 레이저빔의 파장을 제어하는 시스템 및 그 제어방법에 대해 개시한다. 그 시스템 및 방법은 집속광학장치의 하부에 위치하여 스테이지를 향하는 레이저빔의 특정파장을 흡수하는 금속체를 구비하는 특정파장검출센서 및 레이저빔의 파장을 선택적으로 변하도록 동작하는 파장조절장치를 포함하여, 검출된 레이저빔이 최대흡수파장이 되기 위하여 파장조절장치를 제어한다. 레이저빔, 집속광학장치, 특정파장, 최대흡수파장
Abstract:
본 발명은 영상투사기의 광학조명장치를 개시한 것으로서, 방전재의 방전을 통해 광빔을 생성하여 출사하는 방전 램프와, 램프 주위에 마련되어 출사광의 경로를 변경시켜 주기 위한 반사경과, 램프의 점등상태에 따라 램프에 선택적으로 진동을 전달하여 방전재가 분산되도록 요동시켜 주는 액튜에이터를 포함하는 구성에 의해 램프의 점등 에러 방지기능을 부여하여 신뢰성을 보다 향상시킨 광학조명장치를 제공함. 조명(광학)장치, 광학계 광원, 방전램프, 영상투사기 광원
Abstract:
본 발명은 반도체 장치의 배리어 금속막 형성방법에 있어서, 상기 배리어 금속막은, 반도체 기판 상에 금속막을 형성하고, 상기 금속막의 표면에 질소 이온 주입 또는 질소 분위기에서 스퍼터 식각하여 상기 금속막의 입자 사이를 메울 수 있는 질화막을 형성하고, 상기 질화막 상에 타이타늄 질화막(TiN)으로 구성되는 금속 질화막을 형성하여 이루어진다. 본 발명의 반도체 장치의 금속 배리어막 형성방법에 의하면, 금속 배리어막이 치밀하고 후속 금속 배선층을 증착할 때 실리콘 기판과 금속 배선층의 반응을 억제하여 반도체 장치의 특성 변화을 방지할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 노광 설비의 웨이퍼 정렬 방법에 관한 것으로서, 최초 설정된 정렬 키에서 정렬 불량이 발생하더라도 자동으로 다음 정렬 키를 탐색함으로써 작업 손실을 최소화할 수 있다. 본 발명에 따른 웨이퍼 정렬 방법은, 노광 설비 안으로 웨이퍼를 공급하는 단계와, 웨이퍼를 선-정렬하는 단계와, 웨이퍼를 웨이퍼 스테이지 위에 탑재하는 단계와, 웨이퍼의 정렬 키 신호를 확인하는 단계와, 정렬 키 신호가 불량일 경우, 다음 정렬 키를 자동으로 탐색하는 단계와, 웨이퍼의 레벨링을 확인하는 단계와, 웨이퍼를 노광하는 단계, 및 웨이퍼의 오버레이값 이상 유무를 확인하는 단계를 포함한다.
Abstract:
개시된 임피던스 매칭회로를 갖는 멀티미디어 시스템은 소형 디스플레이 장치의 사용 유, 무에 따라 임피던스 매칭회로를 전환하여 사용할 수 있는 디-서브 커넥터의 출력단자를 이용하여 소형 디스플레이장치의 사용 유, 무에 관계없이 PC 본체의 임피던스와 시리얼로 연결된 복수의 디스플레이장치의 임피던스가 매칭되도록 하는 것에 관한 것이다. 본 고안은 PC 본체에 소형 디스플레이장치 및 대형 디스플레이장치가 동시에 연결되어 PC 본체로부터 출력되는 신호를 입력받아 동시에 또는 선택적으로 디스플레이되도록 하는 멀티미디어 시스템에 있어서, 대형 디스플레이장치에 구비되고, 상기 PC 본체로부터 입력되는 신호를 소형 디스플레이장치로 출력되도록 하기 위한 인터페이스 회로부와, 소형 디스플레이장치의 사용 유, 무에 대한 검출신호를 인터페이스 회로부로부터 입력받아 복수의 디스플레이장치의 임피던스가 PC 본체의 임피던스와 매칭되도록 하는 임피던스 매칭회로부로 구성된다. 따라서, 본 고안은 대형 디스플레이장치에 연결된 소형 디스플레이장치의 사용 유, 무에 따라 서로 다른 디스플레이장치에 구비된 저항을 이용하여 임피던스 매칭이 이루어지도록 하여 복수의 디스플레이장치가 시리얼로 연결될 경우 발생되던 임피던스 매칭문제를 해결할 수 있다는 효과를 제공하는데 있다.