公开(公告)号：KR101756228B1

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：KR1020110071547

申请日：2011-07-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호 ,  안성준 ,  권민철

IPC: G06F12/00 ,  G06F12/08

CPC classification number: G06F12/0246 ,  G06F2212/7202 ,  G06F2212/7208 ,  G11C29/82

Abstract: 메모리장치가개시된다. 본발명의실시예에따른메모리장치는, 제1 메모리칩과제2 메모리칩 및글로벌유보영역, 상기제1 메모리칩에대한제1 가상영역및 상기제2 메모리칩에대한제2 가상영역을관리하는제어부를포함하고, 상기제1 가상영역은제1 사용자영역및 제1 유보영역을포함하고, 상기제2 가상영역은제2 사용자영역및 제2 유보영역을포함하고, 상기글로벌유보영역은상기제1 유보영역에대응되는제1 복수의유보블록및 상기제2 유보영역에대응되는제2 복수의유보블록을포함하고, 상기제어부는, 상기제1 사용자영역에포함되는제1 가상블록을불량블록으로검출하면, 상기글로벌유보영역에포함되는제2 가상블록을상기제1 사용자영역으로할당한다.

公开(公告)号：KR1020080065481A

公开(公告)日：2008-07-14

申请号：KR1020070002649

申请日：2007-01-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F1/82 ,  G01N2021/95676 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/7085

Abstract: A semiconductor exposure system and a controlling method thereof are provided to enhance swiftly a yield and productivity by preventing transition of an overlay error to a post process. A reticle stage(2) absorbs a reticle(1) in a vacuum-absorbing manner. A reticle height measurement unit(10) measures a reticle height difference in order to sense contaminants between the reticle stage and the reticle. A control unit(20) receives data related to the reticle height difference from the reticle height measurement unit in order to determine a level state of the reticle. The control unit generates a reticle tilt signal when detecting a reticle tilt. The reticle height measurement unit includes an interferometer laser for measuring a level and a distance of a target by using interference of light.

Abstract translation: 提供一种半导体曝光系统及其控制方法，以通过防止重叠错误转换到后期处理来迅速提高产量和生产率。 标线片台（2）以真空吸收的方式吸收光罩（1）。 标线高度测量单元（10）测量标线高度差，以便检测标线片台与掩模版之间的污染物。 控制单元（20）从掩模版高度测量单元接收与标线高度差有关的数据，以便确定掩模版的电平状态。 当检测到掩模版倾斜时，控制单元产生光罩倾斜信号。 标线高度测量单元包括用于通过使用光的干涉来测量目标的水平和距离的干涉仪激光器。

公开(公告)号：KR100571783B1

公开(公告)日：2006-04-18

申请号：KR1020040078365

申请日：2004-10-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: G03B21/20 ,  G03B21/14

Abstract: 본 발명은 영상투사기의 광학조명장치를 개시한 것으로서, 방전재의 방전을 통해 광빔을 생성하여 출사하는 방전 램프와, 램프 주위에 마련되어 출사광의 경로를 변경시켜 주기 위한 반사경과, 램프의 점등상태에 따라 램프에 선택적으로 진동을 전달하여 방전재가 분산되도록 요동시켜 주는 액튜에이터를 포함하는 구성에 의해 램프의 점등 에러 방지기능을 부여하여 신뢰성을 보다 향상시킨 광학조명장치를 제공함.
조명(광학)장치, 광학계 광원, 방전램프, 영상투사기 광원

公开(公告)号：KR1020010017681A

公开(公告)日：2001-03-05

申请号：KR1019990033337

申请日：1999-08-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  박영호 ,  신동화

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: An exhaust method used in a semiconductor device fabricating equipment is provided to release photoresist fumes from a chamber by periodically or automatically exhausting the chamber. CONSTITUTION: The fabricating equipment includes the chamber(2) having an exhaust pipe(7) and a door(3), the first and second arms(8,9) for transferring a wafer, sensors(10,11) for detecting the wafer, a sensor(12) for detecting the position of the arms(8,9), and a controller(21). To exhaust the chamber(2) by force, the exhaust method begins with determining a way of exhaust. If the expected time of exhaust and the exhausting time are set in the controller(21), a forced exhaust will progress periodically. However, in case of no time set, the forced exhaust will progress automatically whenever an absence of the wafer is ascertained. The wafer detecting sensors(10,11) ascertain whether the wafer is or not in the chamber(2). If the absence of the wafer is ascertained, the first and second arms(8,9) stop operating with the door(3) kept shutting. Thereafter, the exhaust pipe(7) is opened, and then the forced exhaust progresses.

Abstract translation: 目的：提供一种在半导体器件制造设备中使用的排气方法，以通过周期性地或自动地排出腔室来从腔室释放光致抗蚀剂烟雾。 构成：制造设备包括具有排气管（7）和门（3）的腔室（2），用于传送晶片的第一和第二臂（8,9），用于检测晶片的传感器（10,11） ，用于检测臂（8,9）的位置的传感器（12）和控制器（21）。 为了用力排出腔室（2），排气方法从确定排气方式开始。 如果在控制器（21）中设定排气预期时间和排气时间，则强制排气将周期性地进行。 然而，在没有时间设定的情况下，当确定不存在晶片时，强制排气将自动进行。 晶片检测传感器（10,11）确定晶片是否在室（2）中。 如果没有确定晶片，则第一和第二臂（8,9）停止操作，门（3）不断关闭。 此后，排气管（7）打开，然后强制排气进行。

公开(公告)号：KR200142000Y1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR2019960042150

申请日：1996-11-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H05F1/00

Abstract: 본 고안은 전자제품의 정전기보호회로에 관한 것으로서, 특히 외부 접속단자가 설치되는 기판 상에 형성된 제 1 접지패턴; 내부 회로가 설치되는 기판상에 형성된 제 2 접지패턴; 및 상기 제 1 및 제 2 접지패턴 사이에 연결된 적어도 하나 이상의 순방향 및 역방향 다이오드쌍을 구비하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019980068035A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970004467

申请日：1997-02-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H01L27/10

Abstract: 커패시터의 제조방법이 개시되어 있다. 이 방법은 하부전극을 형성하는 단계, 상기 하부전극이 형성된 결과물 상에 유전체막을 형성하는 단계, 및 상기 유전체막이 형성된 결과물 상에 상부전극을 형성하는 단계를 포함하는 커패시터의 제조방법에 있어서, 상기 상부전극을 형성하는 단계 전에 상기 유전체막 상에 도전성 산화막을 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 후속 열공정시 유전체막 및 도전성 산화막 사이의 계면에 산화막이 추가로 형성되는 현상을 방지할 수 있으므로 커패시턴스가 감소하거나 누설전류 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019980067108A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970002980

申请日：1997-01-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H01L21/203

Abstract: 콘택홀 내부에 균일한 금속박막을 형성할 수 있는 반도체 장치의 스퍼터링 방법에 관하여 개시하고 있다. 이를 위하여 본 발명은, 스퍼터링 챔버의 내부에서 자계를 인가하기 위한 마그네트론과, 증착되는 박막의 소스가 되는 타겟과, 상기 타겟으로부터 방출된 원자를 양(+)으로 이온화시키는 무선주파수(RF) 전원과, 증착하고자 하는 웨이퍼를 위치시키면서 소정의 전원을 웨이퍼에 인가할 수 있는 히터블럭 및 불활성 가스를 이용하여 웨이퍼에 박막을 형성하는 반도체 장치의 스퍼터링 방법에 있어서, 상기 히터블럭에 인가하는 소정의 전원의 양(+)의 실효전압과 음(-)의 실효전압 비율(+V/-V)을 변화시켜 증착용 타겟으로부터 튀어나온 이온화된 원자의 1차 증착(sputtering) 및 2차 증착(resputtering) 비율을 조절함으로써 증착되는 박막의 균일도 및 단차도포성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 스퍼터링 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1019980006116A

公开(公告)日：1998-03-30

申请号：KR1019960025265

申请日：1996-06-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H01L21/765

公开(公告)号：KR1019970003417A

公开(公告)日：1997-01-28

申请号：KR1019950019034

申请日：1995-06-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤종순 ,  박영호 ,  박순종

IPC: H01L21/027

Abstract: 스테이지와 관련되는 에러를 줄일 수 있는 스테퍼얼라이너모니터는 스테퍼신호를 입력하는 수단, 상기 스테퍼신호 상태에 따라 웨이퍼에 스테이지 관련 에러발생 여부를 소정의 기준신호와 비교하여 판단하는 수단, 및 에러가 감지되면 그 즉시 스테퍼를 정지시킨 후, 상기 판단수단과, 스테퍼에 연결되어 있으며 불량이 발생한 스테퍼를 표시하기 위한 수단으로 구성되어 있어, 스테이지관련 웨이퍼불량 및 리워크를 줄일 수 있고 에러에 대한 전압값과 시간 및 그 위치를 하드디스크에 저장하므로, 추후 에러의 추적이 용이하다.

公开(公告)号：KR1019960039892A

公开(公告)日：1996-11-25

申请号：KR1019950010185

申请日：1995-04-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박영호

IPC: H04N5/445

Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
텔레비젼의 예약방송프로그램
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
텔레비젼 시청시 사용자가 원하는 방송프로그램이 방영될시 정확한 시작시간에 시청할 수 있도록 함.
3. 발명의 해결 방법의 요지
텔레비젼에서 원하는 방송프로그램의 방영을 표시하는 방법에 있어서 상기 원하는 방송프로그램을 확인코드로 저장하는 과정과, 상기 확인코드와 채널을 변경하며 수신되는 코드를 비교하는 과정과, 상기 확인코드와 상기 수신코드가 동일할시 상기 해당 프로그램이 방영중임을 표시하는 과정으로 이루어짐.
4. 발명의 중요한 용도
시청자가 원하는 방송프로그램을 방송시작시간에 정확히 시청하고자 함.