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公开(公告)号：KR100661176B1
公开(公告)日：2006-12-26
申请号：KR1020040107858
申请日：2004-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H1/5822 , H01H59/0009 , H01H2059/0054 , H01H2059/0063
Abstract: 개시된 MEMS 스위치는 기판과, 기판상의 양측에 형성되고 스위칭접점부를 갖는 복수의 신호라인과, 기판상에 형성되며 복수의 신호라인의 사이에 형성된 복수의 고정전극과, 기판의 중앙을 중심으로 시소 운동하는 이너작동부재와, 이너작동부재의 시소운동에 연동되어 시소운동하는 아우터작동부재와, 이너작동부재의 상면 양단에 형성되되 그 단부가 아우터작동부재의 상부에 오버랩되도록 돌출 형성된 가압로드, 및 가압로드가 가압되는 위치인 아우터작동부재의 하면에 형성되어 신호라인의 스위칭접점부와 접촉되는 접촉부재를 포함한다. 이러한 구성을 통해 스위칭접점부의 스위칭 동작성을 향상시켜 삽입손실이 발생되는 것을 줄이고, 스틱션을 효과적으로 해소함과 아울러서 저전압 구동이 가능하다.
MEMS, 스위치, 스틱션(Stiction), 삽입손실. 신호라인, 전극Abstract translation: 所公开的MEMS开关包括衬底和形成在衬底的两侧上的多个信号线被形成，具有围绕所述多个固定电极的开关接触跷跷板运动的基板，所述基板的所述多条信号线之间形成的中心 内致动构件，和外致动构件与内致动构件跷跷板运动的跷跷板运动联锁，它形成在上表面上突出，使得它们的端部重叠的外致动构件的压紧杆的上部的内侧致动件的两端，并且所述压力 并且形成在外部致动构件的下表面上的接触构件（其是杆被按压的位置）以接触信号线的开关接触部。 这种配置改进了开关接触部分的开关操作，以减少插入损耗的发生，有效地消除了粘连，并且使低电压驱动成为可能。
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公开(公告)号：KR1020060079909A
公开(公告)日：2006-07-07
申请号：KR1020050000314
申请日：2005-01-04
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H59/0009
Abstract: 개시된 MEMS 스위치는 기판; 기판의 상측에 형성되며 신호접촉부를 갖는 적어도 두개의 신호라인; 기판의 상측에 형성됨과 아울러서 신호라인의 사이에 소정의 간격을 두고 형성된 적어도 두개의 주전극; 주전극의 상부에 소정의 간격을 두고 시소 운동 가능하도록 설치되어 신호접촉부와 접촉하는 가동빔; 가동빔을 시소 운동하도록 지지하는 지지수단; 및 가동빔의 상부에 소정의 간격을 두고 설치됨과 아울러서 주전극과 대향되게 각각 설치되는 적어도 두개의 보조전극;을 포함한다. 가동빔은 제1절연층, 금속층, 제 2절연층이 차례로 적층된 3층 구조를 이룬다. 이러한 구성을 통해 저전압 구동이 가능하며, 구조물(가동빔)의 열적 신뢰성 및 전극간의 쇼트 현상을 방지할 수 있다.
MEMS, 스위치, 가동빔, 전극, 신호라인, 저전압Abstract translation: 所公开的MEMS开关包括衬底; 至少两条信号线形成在衬底上并具有信号触点; 至少两个主电极，形成在基板上并且在信号线之间以预定间隔形成; 可移动梁，其以预定间隔安装在主电极的上部中，以便与所述信号接触部分翘起并接触; 用于支撑可动梁以进行跷跷板运动的支撑装置; 并且至少两个辅助电极以预定间隔设置在活动梁的上部，并分别安装成面对主电极。 可动梁具有三层结构，其中第一绝缘层，金属层和第二绝缘层被顺序地堆叠。 由此，能够进行低电压驱动，能够防止构造物（可动梁）的热可靠性和电极间的短路现象。
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公开(公告)号：KR1020060068915A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：KR1020040107858
申请日：2004-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H1/5822 , H01H59/0009 , H01H2059/0054 , H01H2059/0063
Abstract: 개시된 MEMS 스위치는 기판과, 기판상의 양측에 형성되고 스위칭접점부를 갖는 복수의 신호라인과, 기판상에 형성되며 복수의 신호라인의 사이에 형성된 복수의 고정전극과, 기판의 중앙을 중심으로 시소 운동하는 이너작동부재와, 이너작동부재의 시소운동에 연동되어 시소운동하는 아우터작동부재와, 이너작동부재의 상면 양단에 형성되되 그 단부가 아우터작동부재의 상부에 오버랩되도록 돌출 형성된 가압로드, 및 가압로드가 가압되는 위치인 아우터작동부재의 하면에 형성되어 신호라인의 스위칭접점부와 접촉되는 접촉부재를 포함한다. 이러한 구성을 통해 스위칭접점부의 스위칭 동작성을 향상시켜 삽입손실이 발생되는 것을 줄이고, 스틱션을 효과적으로 해소함과 아울러서 저전압 구동이 가능하다.
MEMS, 스위치, 스틱션(Stiction), 삽입손실. 신호라인, 전극-
公开(公告)号：KR100571778B1
公开(公告)日：2006-04-18
申请号：KR1020030086274
申请日：2003-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판위에 설치된 최소한 하나의 신호선, 기판위에 설치된 최소한 하나의 정전 구동부, 기판에 설치되고 그라운드에 접지된 최소한 하나의 포스트, 그라운드에 접지된 최소한 하나의 피봇, 및 포스트를 수용하는 개구를 구비하고 정전 구동부의 동작에 따라 신호선과 접촉하거나 이격되도록 피봇에 지지된 도전성 스위치 패드를 구비한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치의 제조방법은 실리콘 기판을 준비하는 단계, 실리콘 기판위에 신호선, 정전 구동 전극, 및 그라운드를 형성하는 단계, 실리콘 기판위에 피봇과 도전성 스위치 패드를 형성하는 단계, 및 실리콘 기판 위에 그라운드와 접속하고 도전성 스위치 패드를 피봇에 관하여 시소운동을 하도록 지지하는 포스트를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치는 결합, 변형 및 복원 구조를 사용하지 않고 간단히 동작하는 시소운동 구조를 가지므로, 구동 전압을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.
RF, MEMS, 스위치, 시소, 패드, 포스트-
公开(公告)号：KR1020050052734A
公开(公告)日：2005-06-07
申请号：KR1020030086274
申请日：2003-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/00
Abstract: 본 발명에 따른 RF MEMS 스위치는 기판, 기판위에 설치된 최소한 하나의 신호선, 기판위에 설치된 최소한 하나의 정전 구동부, 기판에 설치되고 그라운드에 접지된 최소한 하나의 포스트, 그라운드에 접지된 최소한 하나의 피봇, 및 포스트를 수용하는 개구를 구비하고 정전 구동부의 동작에 따라 신호선과 접촉하거나 이격되도록 피봇에 지지된 도전성 스위치 패드를 구비한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치의 제조방법은 실리콘 기판을 준비하는 단계, 실리콘 기판위에 신호선, 정전 구동 전극, 및 그라운드를 형성하는 단계, 실리콘 기판위에 피봇과 도전성 스위치 패드를 형성하는 단계, 및 실리콘 기판 위에 그라운드와 접속하고 도전성 스위치 패드를 피봇에 관하여 시소운동을 하도록 지지하는 포스트를 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명의 RF MEMS 스위치는 결합, 변형 및 복원 구조를 사용하지 않고 간단히 동작하는 시소운동 구조를 가지므로, 구동 전압을 최소화할 수 있는 효과를 제공한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100413799B1
公开(公告)日：2004-01-03
申请号：KR1020010062077
申请日：2001-10-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: G02B7/18
CPC classification number: G02B26/0841 , G03B21/28
Abstract: A micro mirror device having a micro mirror that can slant with regard a plurality of rotation axes, and a projector employing such a micro mirror device, are provided. This micro mirror device includes a substrate; a plurality of address electrodes formed on the substrate, and a bias electrode for making the micro mirrors slant with regard to a plurality of rotation axes, together with the address electrodes; and a holding plate including a central portion for supporting a second post that supports the micro mirrors and at least one spring hinges transforming elastically when the micro mirrors slant with regard to the rotation axes, the holding plate held by first posts of predetermined numbers which are formed on the bias electrode. The projector includes a light source for illuminating light; a light separator for branching light output from the light source into several beams according to a wavelength region, and reflecting or transmitting the beams at different angles; a micro mirror device for forming an image by rotating a micro mirror, which slants with regard to a plurality of rotation axes, in a predetermined direction or at a predetermined angle, and by selectively reflecting the beams separated from the light separator; and a projection lens unit for magnifying and transmitting beams output from the micro mirror device, so that the beams travel toward a screen.
Abstract translation: 本发明提供一种微反射镜装置以及使用该微反射镜装置的投影仪，该微反射镜装置具有能够相对于多个旋转轴倾斜的微反射镜。 该微镜装置包括基板; 形成在基板上的多个地址电极以及用于使微镜相对于多个旋转轴倾斜的偏压电极以及地址电极; 以及保持板，其包括用于支撑支撑微反射镜的第二支柱的中央部分以及当微反射镜相对于旋转轴倾斜时弹性变形的至少一个弹簧铰链，保持板由预定数量的第一柱 形成在偏置电极上。 该投影仪包括用于照亮光的光源; 光分离器，用于根据波长区域将从所述光源输出的光分支成多个光束，并以不同的角度反射或透射所述光束; 微反射镜装置，用于通过旋转相对于多个旋转轴线倾斜的微反射镜沿预定方向或预定角度形成图像，并且通过选择性地反射从所述光分离器分离的光束; 以及投影透镜单元，用于放大并传输从微镜装置输出的光束，使得光束朝向屏幕行进。
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公开(公告)号：KR100400230B1
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：KR1020010073733
申请日：2001-11-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0005 , B81B2201/042 , B81C1/0096 , B81C2201/112
Abstract: The micro-mechanical structure includes an anti-stiction layer formed by plasma enhanced chemical vapor deposition. The anti-stiction layer is formed on only the area of a substrate other than the top of a movable structure and a part of an electrode that is subsequently bonded to a wire.
Abstract translation: 微机械结构包括通过等离子体增强化学气相沉积形成的抗粘滞层。 抗静摩擦层仅形成在除了可移动结构的顶部之外的基板的区域和随后接合到导线的电极的一部分上。
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公开(公告)号：KR1020030030226A
公开(公告)日：2003-04-18
申请号：KR1020010062078
申请日：2001-10-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신형재
IPC: G02B7/18
CPC classification number: H04N9/3108 , G02B26/0841
Abstract: PURPOSE: A movable mirror apparatus is provided to realize a color image without a color wheel by constructing a unit pixel using a micro mirror unit disposed so that driving shaft directions of the micro mirror are placed differently. CONSTITUTION: A light source(20) irradiates a ray of light. An optical divergence unit(25) diverges the light from the light source according to a wavelength region so as to be reflected and/or penetrated in different angles. A movable mirror device(30) forms a picture so as to reflect incident light passing the optical divergence unit selectively in predetermined direction and angle. The movable mirror device has micro mirror units repeatedly arranged. A projection lens unit(35) makes incident light from the movable mirror device directed to a screen(40).
Abstract translation: 目的：提供可移动镜装置，通过使用微镜单元构造单元像素来实现没有色轮的彩色图像，微镜单元设置成使微镜的驱动轴方向不同地放置。 构成：光源（20）照射光线。 光发散单元（25）根据波长区域分离来自光源的光，以便以不同的角度被反射和/或穿透。 可动镜装置（30）形成图像，以便以预定方向和角度选择性地反射通过光发散单元的入射光。 可移动镜装置具有重复布置的微镜单元。 投影透镜单元（35）使来自可移动镜装置的入射光指向屏幕（40）。
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公开(公告)号：KR1020020070720A
公开(公告)日：2002-09-11
申请号：KR1020010010917
申请日：2001-03-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G02B26/02
Abstract: PURPOSE: An apparatus for driving a micro-mirror is provided to control simultaneously a resonance frequency and the amplitude of a micro-mirror by forming independently an electrode for controlling the resonance frequency and an electrode for controlling the amplitude of the micro-mirror. CONSTITUTION: The first electrode(115) controls the amplitude of a micro-mirror(110) by controlling the voltage for driving the micro-mirror(110). The second electrodes(120,121,122,123) controls a resonance frequency(f) of the micro-mirror(110). The micro-mirror(110) is formed with a reflective portion(110a) and a receiving groove(110b). A base electrode(113) is formed around the micro-mirror(110). The first and the second electrodes(115,120,121,122,123) interact with the base electrode(113) and electrostatic power is generated thereby. The micro mirror(110) is rotated by the electrostatic power.
Abstract translation: 目的：提供一种用于驱动微镜的装置，通过独立地形成用于控制谐振频率的电极和用于控制微镜振幅的电极同时控制微镜的谐振频率和振幅。 构成：第一电极（115）通过控制用于驱动微镜（110）的电压来控制微反射镜（110）的振幅。 第二电极（120,121,122,123）控制微反射镜（110）的共振频率（f）。 微反射镜（110）形成有反射部分（110a）和接收凹槽（110b）。 在微反射镜（110）周围形成基极（113）。 第一和第二电极（115,120,121,122,123）与基极电极（113）相互作用，从而产生静电力。 微反射镜（110）由静电力旋转。
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公开(公告)号：KR1020020018435A
公开(公告)日：2002-03-08
申请号：KR1020000051724
申请日：2000-09-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L23/02
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2924/16195 , H01L2924/00014
Abstract: PURPOSE: A semiconductor package is provided to overcome a defect of high cost and complicated process of a solder sealing method and to prevent a micro electro mechanical system(MEMS) device from being damaged by moisture penetration and outflow of gas product of an organic sealant sealing method, by using a solder preform having a low melting point and organic sealant. CONSTITUTION: A wall of a predetermined height is formed on the outer circumference of a package base(41) except a space inside the package base where a chip die(42) can be settled. A metal sealing ring(43) is positioned on the upper surface of the wall of the package base. The organic sealant(44a) is positioned on the upper surface of the metal sealing ring. The solder preform(45a) is positioned on the supper surface of the metal sealing ring, in parallel with the organic sealant. A metal layer(46) is stacked on the outer circumference of the lower surface of the metal sealing ring. The metal layer has a window lead(47) attached to the metal sealing ring by the organic sealant and the solder preform.
Abstract translation: 目的：提供半导体封装以克服焊接密封方法的高成本和复杂工艺的缺陷，并且防止微机电系统（MEMS）器件被有机密封胶密封件的气体产品的湿气渗透和流出损坏 方法，通过使用具有低熔点的焊料预制件和有机密封剂。 构成：除了芯片模具（42）能够沉降的封装基座之外的空间之外，在封装基座（41）的外周上形成预定高度的壁。 金属密封环（43）位于封装基座的壁的上表面上。 有机密封剂（44a）位于金属密封环的上表面上。 焊料预成型件（45a）与有机密封剂平行地定位在金属密封环的后表面上。 金属层（46）层叠在金属密封环的下表面的外周。 金属层具有通过有机密封剂和焊料预制件附着到金属密封环的窗口引线（47）。
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