公开(公告)号：KR1020170125245A

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：KR1020160055480

申请日：2016-05-04

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최준혁 ,  성상근 ,  최대근 ,  정주연 ,  전소희 ,  이응숙 ,  정준호

IPC: H01L21/311 ,  H01L29/06 ,  H01L21/033 ,  H01L21/308 ,  H01L21/768 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/31144 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308 ,  H01L21/76811 ,  H01L29/0665

Abstract: 고세장비나노패턴제조방법에서몰드패턴이형성된전사기판상에에치마스크를증착한다. 상기몰드패턴에대하여측벽식각을수행한다. 상기몰드패턴의상면에금속을증착한다. 타겟기판상에전사용접착층을도포한다. 상기몰드패턴에증착된금속을상기전사용접착층으로전사한다.

Abstract translation: 在高科技设备纳米图案制造方法中，蚀刻掩模沉积在其上形成模型图案的转印基板上。 在模具图案上执行侧壁蚀刻。 金属沉积在模具图案的上表面上。 可转印的粘合剂层被涂覆在目标基板上。 沉积在模具图案上的金属被转移到可转印的粘合剂层。

公开(公告)号：KR1020170017615A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：KR1020150111795

申请日：2015-08-07

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최대근 ,  정소희 ,  이지혜 ,  정주연 ,  전소희 ,  최준혁 ,  정준호

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/017 ,  G02F1/1333

Abstract: 본발명은같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킨디스플레이에사용되는양자점집합체의집합방법에관한것으로, 내측튜브와외측튜브로구성된이중튜브를제조하는단계; 콜로이드분산액에양자점이분산된양자점잉크를상기내측튜브에수용시키는단계; 상기외측튜브에계면활성제를포함하는물 수용액을수용시키는단계; 상기내측튜브및 외측튜브에압력을가하여각각수용된양자점잉크및 물을분사하여상기양자점잉크를액적으로생성하는단계; 및상기액적형태의양자점잉크를자외선영역을통과시켜경화시키는단계;를포함하여구성되어, 같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킴으로서양자점들의에너지가색의간섭에의해분산되지않아에너지효율이향상되며간섭을최소화시킴으로서양자점들의색이간섭에의해발생하는깜박거림현상을감소시키는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020160118820A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：KR1020150047589

申请日：2015-04-03

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김윤갑 ,  이지혜 ,  김한중 ,  최대근 ,  최준혁 ,  정주연 ,  전소희 ,  정준호 ,  이응숙

IPC: H01H59/00 ,  H01H1/00

Abstract: 본발명의실시예에따른 RF MEMS 스위치는서로마주하는제1 기판및 제2 기판, 제1 기판과상기제2 기판사이에위치하며상기제1 기판과상기제2 기판사이에밀봉된공간을형성하는절연부재, 공간내의상기제1 기판위에위치하는제1 전극, 공간내의상기제2 기판위에위치하며상기제1 전극과마주하는제2 고체전극, 제1 전극위에위치하는액체금속층, 제2 전극위에위치하는나노전극을포함하고, 액체금속층과상기나노전극은이격되어위치한다.

公开(公告)号：KR101635138B1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：KR1020140119082

申请日：2014-09-05

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 정연호 ,  최준혁 ,  이지혜 ,  전소희 ,  정준호 ,  정주연 ,  이응숙

IPC: B29C33/38 ,  B29C33/42 ,  B29C59/02

Abstract: 다단복합스탬프의제작방법및 다단복합스탬프를이용한위조방지필름의제작방법에서, 상기다단복합스탬프의제작방법은트랜치(trench)를포함하는몰드패턴을형성하는단계, 상기몰드패턴상에금속을증착하는단계, 상기몰드패턴의트랜치에만금속을잔류시키는단계, 상기잔류한금속을클러스터링(clustering)시키는단계, 상기클러스터링된금속으로상기트랜치상에미세홀을형성하는단계, 및상기클러스터링된금속을제거하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR1020160029480A

公开(公告)日：2016-03-15

申请号：KR1020140119083

申请日：2014-09-05

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 최준혁 ,  이지혜 ,  정주연 ,  정준호 ,  전소희 ,  성상근 ,  이응숙

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H01L21/0274

Abstract: 금속나노패턴제조방법에서기판의상면에금속층을형성한다. 개구부가형성된템플릿(template)을상기기판상에고온, 고압으로합착시킨다. 상기템플릿이상기기판의금속층에고온, 고압으로합착함에따라, 상기금속층의금속을클러스터링(clustering)시킨다. 상기개구부에대응되는위치의금속이클러스터링되며상기기판상에잔류하여, 금속패턴을형성한다.

Abstract translation: 本发明涉及金属纳米图案的制造方法。 金属层形成在基板的上表面上; 具有形成在其上的开口部的模板在高温高压下紧固在基板上; 允许金属层的金属聚集，同时模板在高温高压下紧固在基板的金属层上; 并且在与开口部分对应的位置处的金属聚集并保留在基板上以形成金属图案。 根据本发明的一个实施例，模板的开口部分可以以各种方式布置，从而容易地形成金属图案的布置和点结构。

公开(公告)号：KR1020120069292A

公开(公告)日：2012-06-28

申请号：KR1020100130785

申请日：2010-12-20

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 김사라 ,  정준호 ,  최대근 ,  최준혁 ,  이지혜 ,  김기돈 ,  정주연 ,  전소희 ,  박성제 ,  김상욱 ,  신동옥

IPC: B32B3/30

CPC classification number: B32B3/30 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/165

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of ceramics template having micro-pattern is provided to improve accuracy and density of the micro-pattern by eliminating defects due to disorder orientation. CONSTITUTION: A manufacturing method of ceramics template having micro-pattern comprises the following steps: manufacturing compliant mold which includes a protruded unit; forming a coating layer by spreading metal-organic precursor solution on a substrate(31); solidifying the coating layer as pressurizing the coating layer with the compliant mold; forming a metal oxide pattern(33) in which a first concave part is included by eliminating the compliant mold; filling a block copolymer coating layer which includes block copolymer in the first concave part(34); separating recurring units by sintering the block copolymer coating layer; forming a magnetism assembling structure which is composed of a plurality of high-molecule-blocks; and forming micro-patterns(43) which includes a second concave part by eliminating a part of the copolymer.

Abstract translation: 目的：提供具有微图案的陶瓷模板的制造方法，以通过消除由于无序取向引起的缺陷来提高微图案的精度和密度。 构成：具有微图案的陶瓷模板的制造方法包括以下步骤：制造包括突出单元的柔性模具; 通过将金属 - 有机前体溶液铺展在基材（31）上形成涂层; 使用所述柔性模具使所述涂层固化; 形成金属氧化物图案（33），其中通过消除柔性模具包括第一凹部; 在第一凹部（34）中填充包含嵌段共聚物的嵌段共聚物涂层; 通过烧结嵌段共聚物涂层来分离重复单元; 形成由多个高分子块组成的磁性组装结构; 以及通过消除所述共聚物的一部分而形成包括第二凹部的微图案（43）。