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公开(公告)号：WO2012086986A2
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：PCT/KR2011/009804
申请日：2011-12-19
CPC classification number: B32B3/30 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/165
Abstract: 미세 패턴을 가지는 세라믹 템플릿의 제조 방법이 개시된다. 세라믹 템플릿의 제조 방법은 돌출부를 포함하는 유연 몰드를 제조하는 단계와, 기판 상에 금속-유기물 전구체 용액을 도포하여 코팅층을 형성하고, 유연 몰드로 코팅층을 가압한 상태에서 코팅층을 경화시킨 후 유연 몰드를 제거하여 제1 오목부를 포함하는 금속산화물 패턴을 형성하는 단계와, 적어도 2개의 반복 단위로 이루어진 블록 공중합체를 포함하는 블록 공중합체 코팅층을 제1 오목부에 채우는 단계와, 블록 공중합체 코팅층을 소결하여 반복 단위들을 미세 상 분리시킴으로써 복수의 고분자 블록으로 이루어진 자기 조립 구조를 형성하는 단계와, 복수의 고분자 블록 중 일부의 고분자 블록을 제거하여 제2 오목부를 포함하는 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种具有微图案的陶瓷模板的制造方法。 制造陶瓷模板的方法包括以下步骤：制造包括突起的柔性模具; 在基材上涂布金属有机前体以形成涂层，在涂层被柔性模具压制的状态下固化涂层，以及去除柔性模具以形成具有第一凹部的金属氧化物图案; 将由至少两个重复单元构成的聚合物块形成的聚合物嵌段涂层填充到所述第一凹部中; 烧结聚合物嵌段涂层以将重复的单元相互分离，从而形成由多个聚合物嵌段构成的自组装结构; 并且去除所述多个聚合物嵌段的一部分以形成具有第二凹部的微图案。
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公开(公告)号：WO2011027939A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/KR2009/006621
申请日：2009-11-11
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L33/44 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L2933/0083
Abstract: 본 발명의 일 구현예에 따른 나노임프린트를 이용한 금속 산화박막 패턴 형성방법은, 기판에 감광성 금속-유기물 전구체 용액을 코팅하는 단계와, 요철구조를 가지도록 패턴된 몰드로 상기 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층을 가압하는 단계와, 상기 가압된 감광성 금속-유기물 전구체 코팅층에 자외선을 조사하여 경화된 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 패턴된 몰드를 상기 금속 산화박막 패턴으로부터 제거하는 단계를 포함한다.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施方案，使用纳米压印形成金属氧化物薄膜图案的方法包括以下步骤：将光敏金属 - 有机前体溶液涂布在基材上; 通过使用已经被图案化以具有凹凸结构的模具来压缩感光的金属 - 有机前体涂覆层; 通过将紫外光照射到压缩的感光金属有机前体涂层上形成固化的金属氧化物薄膜图案; 以及从所述金属氧化物薄膜图案移除所述图案化的模具。
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公开(公告)号：KR101088359B1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：KR1020100026302
申请日：2010-03-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种图案形成方法，使用纳米压印，使用根据本发明的第一实施方式的纳米压印的图案形成方法被分解在基板上，由能量射线或热的金属元素中的至少一个可以 涂覆包含与其结合的有机配体的金属有机前体组合物; 将模具压在涂覆的金属有机前体组合物上; 使用加热和能量束照射中的至少一种在组合物上压印图案以在基板上形成金属氧化物薄膜图案; 并且通过干法蚀刻来蚀刻金属氧化物薄膜图案的整个表面，其中与金属氧化物薄膜图案一起蚀刻对应于凹部的金属氧化物薄膜图案的一部分， 由凹凸对应于横截面形状的薄膜图案的厚度方向的图案的特征在于，形成在基板本身。
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公开(公告)号：KR1020110107120A
公开(公告)日：2011-09-30
申请号：KR1020100026302
申请日：2010-03-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0274 , G03F7/0027
Abstract: 본 발명은 나노임프린트를 이용한 패턴형성방법에 관한 것으로서, 본 발명의 제1실시형태에 의한 나노임프린트를 이용한 패턴 형성방법은, 기판상에, 금속원소에 에너지선 또는 열 중 적어도 하나에 의하여 분해가능한 유기물 리간드가 결합하여 이루어진 금속-유기물 전구체 조성물을 코팅하는 단계; 몰드를 상기 코팅된 금속-유기물 전구체 조성물상에 가압하는 단계; 가열 또는 에너지선 조사 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 조성물에 패턴을 임프린팅하여, 상기 기판상에 금속 산화박막 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화박막 패턴의 전면을 건식 식각에 의하여 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭단계에 의하여 상기 금속 산화박막 패턴 중 오목부(凹部)에 해당하는 부분의 기판이 함께 식각됨으로써, 상기 금속 산화박막 패턴의 두께 방향으로의 단면 형상에 상응하는 요철로 이루어진 패턴이 상기 기판 자체에 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광 추출 효율이 극대화된 나노 패턴을 형성할 수 있고, 금속 산화물 이외에 정밀하고 미세한 패턴 형성이 요구되는 재질로 패턴을 형성할 수 있으며, 아울러, 나노막대의 정밀한 정렬 및 밀도 조절이 용이하게 수행될 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020120069292A
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：KR1020100130785
申请日：2010-12-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B32B3/30
CPC classification number: B32B3/30 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/165
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of ceramics template having micro-pattern is provided to improve accuracy and density of the micro-pattern by eliminating defects due to disorder orientation. CONSTITUTION: A manufacturing method of ceramics template having micro-pattern comprises the following steps: manufacturing compliant mold which includes a protruded unit; forming a coating layer by spreading metal-organic precursor solution on a substrate(31); solidifying the coating layer as pressurizing the coating layer with the compliant mold; forming a metal oxide pattern(33) in which a first concave part is included by eliminating the compliant mold; filling a block copolymer coating layer which includes block copolymer in the first concave part(34); separating recurring units by sintering the block copolymer coating layer; forming a magnetism assembling structure which is composed of a plurality of high-molecule-blocks; and forming micro-patterns(43) which includes a second concave part by eliminating a part of the copolymer.
Abstract translation: 目的：提供具有微图案的陶瓷模板的制造方法，以通过消除由于无序取向引起的缺陷来提高微图案的精度和密度。 构成：具有微图案的陶瓷模板的制造方法包括以下步骤：制造包括突出单元的柔性模具; 通过将金属 - 有机前体溶液铺展在基材（31）上形成涂层; 使用所述柔性模具使所述涂层固化; 形成金属氧化物图案（33），其中通过消除柔性模具包括第一凹部; 在第一凹部（34）中填充包含嵌段共聚物的嵌段共聚物涂层; 通过烧结嵌段共聚物涂层来分离重复单元; 形成由多个高分子块组成的磁性组装结构; 以及通过消除所述共聚物的一部分而形成包括第二凹部的微图案（43）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101102012B1
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：KR1020100107872
申请日：2010-11-01
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275 , G03F7/2012
Abstract: PURPOSE: A fine structure formation method which uses a partial hardening process is provided to attach a target material by partial hardening a hardening polymer, thereby easily arranging various shapes of fine structures on a wide substrate. CONSTITUTION: A polymer pattern which includes a partial hardening layer is arranged on a first base substrate(S1). The first base substrate is installed in a target substrate in which a target material is coated in order to mutually connect the target material and partial hardening layer(S2). The partial hardening layer is completely hardened in order to attach the target material to the partial hardening layer(S3). The first base substrate is separated from the target substrate(S4).
Abstract translation: 目的：提供使用局部硬化处理的精细结构形成方法，通过部分硬化固化聚合物来附着目标材料，从而容易地在宽的基板上排列各种形状的精细结构。 构成：包括部分硬化层的聚合物图案设置在第一基底（S1）上。 为了使目标材料和部分硬化层（S2）相互连接，将第一基板安装在目标基板中，在其中涂覆目标材料。 为了将目标材料附着到部分硬化层，部分硬化层被完全硬化（S3）。 第一基底与目标基底分离（S4）。
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公开(公告)号：KR1020140073622A
公开(公告)日：2014-06-17
申请号：KR1020120137154
申请日：2012-11-29
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: H01L51/502 , H01L51/504 , H01L51/56 , H01L2251/56
Abstract: A method for manufacturing a light emitting device according to an embodiment of the present invention comprises the steps of: forming a first photonic crystal layer having a photonic crystal structure with a nano-structure pattern on a substrate; forming a second photonic crystal layer having the photonic crystal structure with the nano-structure pattern on the first photonic crystal layer; and forming a first electrode layer, a light emitting layer, and a second electrode layer sequentially on the second photonic crystal layer.
Abstract translation: 根据本发明实施例的制造发光器件的方法包括以下步骤：在衬底上形成具有纳米结构图案的光子晶体结构的第一光子晶体层; 在第一光子晶体层上形成具有纳米结构图案的具有光子晶体结构的第二光子晶体层; 以及在所述第二光子晶体层上依次形成第一电极层，发光层和第二电极层。
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公开(公告)号：KR101294835B1
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：KR1020130000090
申请日：2013-01-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L31/042 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/042 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A quantum dot solar cell and a method for manufacturing the same are provided to increase photoelectric conversion efficiency two times compared with existing one by forming protrusion parts on a metal oxide layer. CONSTITUTION: A metal oxide layer is formed on a transparent electrode. A quantum dot layer (140) includes quantum dots. A transition metal oxide layer (150) is formed on the quantum dot layer. An opposing electrode (160) is formed on the transition metal oxide layer. The opposing electrode faces the transparent electrode.
Abstract translation: 目的：提供一种量子点太阳能电池及其制造方法，通过在金属氧化物层上形成突起部分，将光电转换效率提高了两倍。 构成：在透明电极上形成金属氧化物层。 量子点层（140）包括量子点。 在量子点层上形成过渡金属氧化物层（150）。 在过渡金属氧化物层上形成对置电极（160）。 相对电极面对透明电极。
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公开(公告)号：KR101235360B1
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：KR1020100130785
申请日：2010-12-20
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B32B3/30
CPC classification number: B32B3/30 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/165
Abstract: 미세 패턴을 가지는 세라믹 템플릿의 제조 방법이 개시된다. 세라믹 템플릿의 제조 방법은 돌출부를 포함하는 유연 몰드를 제조하는 단계와, 기판 상에 금속-유기물 전구체 용액을 도포하여 코팅층을 형성하고, 유연 몰드로 코팅층을 가압한 상태에서 코팅층을 경화시킨 후 유연 몰드를 제거하여 제1 오목부를 포함하는 금속산화물 패턴을 형성하는 단계와, 적어도 2개의 반복 단위로 이루어진 블록 공중합체를 포함하는 블록 공중합체 코팅층을 제1 오목부에 채우는 단계와, 블록 공중합체 코팅층을 소결하여 반복 단위들을 미세 상 분리시킴으로써 복수의 고분자 블록으로 이루어진 자기 조립 구조를 형성하는 단계와, 복수의 고분자 블록 중 일부의 고분자 블록을 제거하여 제2 오목부를 포함하는 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101471089B1
公开(公告)日：2014-12-12
申请号：KR1020120137154
申请日：2012-11-29
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의일 실시예에따른발광소자제조방법은, 기판상에나노구조물패턴의광결정구조를갖는제1 광결정층을형성하는단계와, 상기제1 광결정층상에나노구조물패턴의광결정구조를갖는제2 광결정층을형성하는단계, 및상기제2 광결정층상에제1 전극층, 발광층, 제2 전극층을순차적으로형성하는단계를포함한다.
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