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公开(公告)号：KR100436292B1
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：KR1020010074731
申请日：2001-11-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G11B11/26
CPC classification number: G11B7/1387 , B82Y10/00 , B82Y20/00 , G11B7/22 , Y10S29/016 , Y10T29/49032 , Y10T29/49165
Abstract: A method of manufacturing a head for recording and reading optical data. The method includes: providing a silicon substrate on which a silicon oxide film and a silicon deposition layer are stacked; etching the bottom of the silicon substrate by a given depth to form an opening; forming an aperture having a given slant angle in the silicon deposition layer located on the opening; etching the portion of the silicon oxide film, exposed through the opening; forming a dielectric layer on the silicon deposition layer including the aperture; removing an exposed portion of the bottom of the silicon deposition layer by a given thickness to expose a portion of the dielectric layer, forming a probe on the exposed portion of the dielectric layer and the silicon deposition layer exposed through the opening; and burying the aperture with a non-linear material.
Abstract translation: 制造用于记录和读取光学数据的磁头的方法。 该方法包括：提供其上堆叠有氧化硅膜和硅沉积层的硅基板; 将硅衬底的底部蚀刻给定深度以形成开口; 在位于开口上的硅沉积层中形成具有给定倾斜角的孔; 蚀刻通过开口暴露的部分氧化硅膜; 在包括所述孔的所述硅沉积层上形成电介质层; 将所述硅沉积层的底部的暴露部分移除给定厚度以暴露所述介电层的一部分;在所述介电层的所述暴露部分上形成探针并且通过所述开口暴露所述硅沉积层; 并用非线性材料掩埋孔径。
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公开(公告)号：KR100171023B1
公开(公告)日：1999-03-30
申请号：KR1019950053645
申请日：1995-12-21
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/28
Abstract: 본 발명은 반도체 위에 금속박막을 형성하는 방법에 관한 것으로 특히, 초고진공내에서 계면활성제로서 Sb나 As을 이용하여 Si과 같은 반도체 기판 위에 균일하게 금속 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 기판으로 사용될 반도체 단결정을 깨끗하게 진공 내에서 세척하여 오염되지 않고 균일한 면을 얻는 다음, 기판을 적절한 온도 정도로 가열하면서 계면활성제를 진공증착하는 제1단계; 및 상기 제1단계에서 형성된 계면활성제 박막 위에 금속을 진공 증착하는 제2단계로 수행되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR100160581B1
公开(公告)日：1999-02-01
申请号：KR1019950050512
申请日：1995-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명의 레이저 어블레이션(laser ablation) 방법으로 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성시 외부에서 기판 상에 원자 수소빔(atomic hydrogen beam)을 공급하여 양질의 다이아몬드 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법은, 엑시머 레이저(1)로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟(2)에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기(3) 위에 위치한 기판(4) 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단(5)을 사용하여 기판(4) 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019980044526A
公开(公告)日：1998-09-05
申请号：KR1019960062619
申请日：1996-12-06
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
고집적 반도체 소자.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
소자의 초고집적화를 위해 수 나노미터 사이즈를 가지며, 초고진공하에서 모든 공정이 수행되어 초고순도를 갖도록 하는 반도체 나노세선 형성 방법을 제공하는데 있음.
3. 발명의 해결 방법의 요지
실리콘기판에 실리콘나이트라이드 박막을 형성한 후 원자력현미경으로 패턴을 만든다음, 이 표면을 산화시켜 패턴된 부분만 선택적으로 실리콘옥사이드층을 형성한다. 다시 원자력현미경으로 실리콘나이트라이드 부분만 선택적으로 패턴한 다음 분자선에피탁시 방법으로 실리콘이나 게르마늄을 적층한 후, 열처리에 의한 화학적 반응으로 산화막 및 그 상부의 실리콘이나 게르마늄을 선택적을 제거한다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 소자 제조 공정-
公开(公告)号：KR100138857B1
公开(公告)日：1998-06-01
申请号：KR1019940029925
申请日：1994-11-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 초고진공내에서 반도체 및 도체의 시료를 이동하고 특정한 목적으로 열처리하는 집게 및 시료대에 관한 것으로, 기존의 조작기(Manipulator)가 가지고 있는 시료의 조작의 불편이나, 두발집게가 가지고 있는 시료대의 불안정성과 전자빔 가속에 의한 열처리의 난점 등을 극복한 네발집게와 시료대로서 본 발명 네발집게를 이용하면 외부에서 어떠한 크기나 형태를 가진 물건도 초고진공내에서의 조작과 이동이 가능하고, 반도체나 도체의 세척과정에서 필수적으로 수반되는 열처리의 과정이 훨씬 용이하게 된다
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019970052803A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950050512
申请日：1995-12-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/31
Abstract: 본 발명은 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명의 레이저 어블레이션(laser ablation) 방법으로 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성시 외부에서 기판 상에 원자 수소빔(atomic hydrogen beam)을 공급하여 양질의 다이아몬드 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법은, 엑시머 레이저(1)로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟(2)에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기(3) 위에 위치한 기판(4) 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단(5)을 사용하여 기판(4) 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1019960019644A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019940029925
申请日：1994-11-15
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/68
Abstract: 본 발명은 초고진공내에서 반도체 및 도체의 시료를 이동하고 특정한 목적으로 열처리하는 집게 및 시료대에 관한 것으로,기존의 조작기(Manipulator)가 가지고 있는 시료의 조작의 불편이나, 두발집게가 가지고 있는 시료대의 불안정성과 전자빔 가속에 의한 열처리의 난점 등을 극복한 네발집게와 시료대로서 본 발명 네발집게를 이용하면 외부에서 어떠한 크기나 형태를 가진 물건도 초고진공내에서의 조작과 이동이 가능하고, 반도체나 도체의 세척과정에서 필수적으로 수반되는 열처리의 과정이 훨씬 용이하게 된다.
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公开(公告)号：KR101725119B1
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：KR1020120092133
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은음장변화감지기반의화재감시방법및 시스템에관한것으로서, 정해진공간내에서입력전압에따라음파를출력하는음향발생장치; 상기정해진공간내에서음파를수신하고, 수신한음파로부터음압을얻는음향수신장치; 및준비모드에서상기음향발생장치의입력전압대비상기음향수신장치에의해얻어진음압의비율을나타내는음향전달함수를이용하여기준음압정보를계산하고, 감시모드에서상기음향전달함수를이용하여현재음압정보를계산한후, 상기기준음압정보와상기현재음압정보를비교하여화재발생여부를판단하는화재감시장치를포함한다.
Abstract translation: 本发明涉及用于监视声场变化检测器中的火灾的方法和系统，并且更具体地涉及用于根据预定空间中的输入电压输出声波的声音产生装置。 一种声音接收器，用于在预定空间内接收声波并从所接收的声波获得声压; 通过使用指示在准备模式中由声音接收设备获得的声压与发声设备的输入电压的比率的声学传递函数来计算参考声压信息， 并且将参考声压信息与当前声压信息进行比较以确定是否发生了火灾。
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公开(公告)号：KR1020130108033A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：KR1020120092133
申请日：2012-08-23
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G08B17/04 , G08B17/125 , G08B25/08 , G08B25/10 , G08B25/14
Abstract: PURPOSE: A fire monitoring method based on detection of sound field variations and a system thereof are provided to early detect a fire although a flame or smoke is not visible. CONSTITUTION: A fire monitoring system includes a sound generation device (210), a sound reception device (220) and a fire monitoring device (230). The sound generation device outputs a sound wave according to an input voltage within a given space. The sound reception device receives a sound wave within a given space and obtains a sound pressure from the received sound wave. The fire monitoring system calculates reference sound pressure information by using an acoustic transfer function representing the ratio of the input voltage of the sound generation device to the sound pressure obtained by the reception device in a standby mode. The fire monitoring device calculates current sound pressure information by using the acoustic transfer function in a monitoring mode and determines whether a fire occurs by comparing the reference sound pressure information and the current sound pressure information. [Reference numerals] (AA) Received sound signal; (BB) Generated sound signal; (CC) Fire; (DD) Normal situation; (EE) Fire
Abstract translation: 目的：提供一种基于声场变化检测的火灾监测方法及其系统，以尽早发现火焰，但火焰或烟雾不可见。 构成：消防监视系统包括声音产生装置（210），声音接收装置（220）和消防监视装置（230）。 声音产生装置根据给定空间内的输入电压输出声波。 声音接收装置在给定的空间内接收声波并从接收到的声波获得声压。 消防监视系统通过使用表示在待机模式下由声音产生装置的输入电压与由接收装置获得的声压的比率的声学传递函数来计算参考声压信息。 火灾监测装置通过在监视模式中使用声音传递函数来计算当前声压信息，并且通过比较参考声压信息和当前声压信息来确定是否发生火灾。 （附图标记）（AA）接收到的声音信号; （BB）生成的声音信号; （CC）火; （DD）正常情况; （EE）火
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