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公开(公告)号：KR1020090024965A
公开(公告)日：2009-03-10
申请号：KR1020070089962
申请日：2007-09-05
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/0666 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N2021/653 , G01N2021/656
Abstract: A spectral analyzer for measuring the thickness and identification of chemicals of organic thin films using a CARS(Coherent Anti-stokes Raman Scattering) microscopy is provided to improve quality of product by measuring the wavelength and intensity of a CARS signal in order to measure the thickness and identification of chemicals. A spectral analyzer for measuring the thickness and identification of chemicals of organic thin films using a CARS(Coherent Anti-stokes Raman Scattering) microscopy comprises: a light source(10) generating stokes light or probe light; a light divider(20) dividing the light generated from the light source; a photonic crystal fiber(30) making stabilized beam distribution of broadband; a low-pass filter(40); a narrow band transmission filter(50) in which pump light is passed; a notch filter(60) which spatially combines the pump light and the stokes light; and a scan device(70) generating a CARS signal.
Abstract translation: 提供了使用CARS（相干反斯托克斯拉曼散射）显微镜测量有机薄膜的厚度和化学物质鉴定的光谱分析仪，以通过测量CARS信号的波长和强度来测量厚度来提高产品质量 并鉴定化学品。 用于使用CARS（相干抗 - 斯托克斯拉曼散射）显微镜测量有机薄膜的化学物质的厚度和鉴定的光谱分析仪包括：产生斯托克斯光或探针光的光源（10）; 分光器（20），分割从光源产生的光; 制造宽带光束分布稳定的光子晶体光纤（30） 低通滤波器（40）; 泵浦光通过的窄带透射滤光器（50）; 空心地组合泵浦光和火箭灯的陷波滤波器（60）; 和产生CARS信号的扫描装置（70）。
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公开(公告)号：KR1020080113770A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：KR1020070062646
申请日：2007-06-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: An apparatus for removing new vessels selectively using a ultra-high speed laser and a surgery operation method thereof are presented to be applied in various medical treatment of diseases related with new vessels, by minimizing damage of normal vessels. An apparatus for removing new vessels selectively using a ultra-high speed laser includes a laser system, an optical system, a stage and a monitoring device. The laser system generates a laser beam. The optical system focuses the laser beam from the laser source. The stage controls the position of a focusing target object including new vessels. The monitoring device monitors organizations including the new vessels. A laser control part controls laser beam fluence.
Abstract translation: 使用超高速激光器选择性地移除新血管的装置及其手术操作方法被应用于通过最小化正常血管的损伤来对与新血管相关的疾病进行各种治疗。 使用超高速激光器选择性地去除新血管的装置包括激光系统，光学系统，平台和监视装置。 激光系统产生激光束。 光学系统将来自激光源的激光束聚焦。 舞台控制包括新血管在内的聚焦目标对象的位置。 监控设备监控包括新船在内的组织。 激光控制部分控制激光束注量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100795526B1
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：KR1020060020143
申请日：2006-03-02
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B23K26/0613 , B23K26/0624 , H01S3/2375
Abstract: 본 발명은 기존의 뛰어난 가공 정밀도를 갖고 있는 펨토초 및 피코초등 초고속 레이저 초미세 공정 기술의 단점이었던 공정의 속도를 획기적으로 증가시키는 기술에 관한 것으로 본 발명에 의한 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공방법은 펄스의 폭이 피코초 이하인 초고속 레이저 빔 및 초고속 레이저 이외의 하나이상의 보조레이저의 빔을 이용하여 가공하되, 보조레이저 빔 단독으로는 공정대상 물질의 상태가 원래상태로 되돌아오는 가역적으로 변화시키며, 보조레이저 빔과 초고속 레이저의 빔이 시간상 및 공간상으로 동기화 되었을 경우에는 비가역적으로 물질의 상태를 변화시키는 것을 특징으로 한다.
아울러, 본 발명에 의한 물질상태변이 유발을 통한 레이저 가공장치는 펄스폭이 피코초 이하의 초고속 레이저 발진기와, 시간에 따른 레이저빔의 펄스를 변화시키는 동기화 전자장치를 구비한 보조 레이저 발진기와, 상기 초고속 레이저 발진기에서 발생된 초고속 레이저빔과 시간에 따른 동기화된 보조 레이저빔의 초점을 공간적으로 동기화시켜 집속하는 집속광학계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 본 발명은 나노초 레이저 등 기존의 상용화된 레이저와 초고속 레이저를 이용하여 공정 대상 물질의 내부 온도 등 물리적인 상태를 국소적, 과도기적으로 변화시키되, 상기 상태변화를 가역적으로 유발하고 시간-공간상으로 동기화를 함으로써 상대적으로 적은 량의 초고속 레이저 에너지를 이용하여 종래의 초고속 레이저 미세가공기술이 가지고 있는 가공속도의 한계를 극복하여 그 공정 속도를 획기적으로 증가시킬 수 있으며, 초고속 레이저 공정상 물질의 공정 표면에 발생하는 수십에서 수백 나노미터의 초미세 구조체들이 동기화 된 나노초 레이저 등에 의하여 획기적으로 감소할 수 있음으로써 표면의 거칠기를 획기적으로 감소할 수 있게 된다.
초고속 레이저 미세가공, 공정속도, 하이브리드 공정-
公开(公告)号：KR100762291B1
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：KR1020060044681
申请日：2006-05-18
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/78
CPC classification number: G03F7/2053 , G03F7/0387
Abstract: A microfabrication method for a polymer film is provided to add a small amount of a multiphoton absorptive compound for reducing a critical value of the process, so that the damages of the polymer film and a lower substrate can be reduced. A microfabrication method for a polymer film comprises following processes. A polymer film(15) is formed by adding a multiphoton absorptive compound(17). A microfabrication method is performed to the polymer film by using a laser beam(100). A process critical value of the polymer film about the laser beam is regulated by a density of multiphoton absorptive compound.
Abstract translation: 提供聚合物薄膜的微细加工方法以添加少量用于降低该工艺的临界值的多光子吸收化合物，从而可以降低聚合物膜和下基板的损伤。 聚合物膜的微细加工方法包括以下工序。 通过添加多光子吸收化合物（17）形成聚合物膜（15）。 通过使用激光束（100）对聚合物膜进行微细加工。 关于激光束的聚合物膜的过程临界值由多光子吸收化合物的密度调节。
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公开(公告)号：KR1020070090434A
公开(公告)日：2007-09-06
申请号：KR1020060020143
申请日：2006-03-02
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: B23K26/0613 , B23K26/0624 , H01S3/2375
Abstract: A laser processing method and a laser processing apparatus based on conventional laser-induced material changes are provided to change reciprocally a target object by synchronizing at least one auxiliary laser pulse with a high speed laser pulse. A laser processing apparatus based on conventional laser-induced material changes includes a high speed laser generator(1), an auxiliary laser generator(2), and a focusing optical system(4). The auxiliary laser generator includes a synchronizing electronic apparatus for changing a pulse of a laser beam as time elapses. The focusing optical system spatially synchronizes a focus of the high speed laser beam, which is generated at the high speed laser generator, with that of the auxiliary laser beam, as time elapses. The focusing optical system aligns the synchronized foci of the laser generators with one another.
Abstract translation: 提供基于常规激光诱导材料变化的激光加工方法和激光加工装置，以通过使至少一个辅助激光脉冲与高速激光脉冲同步来相互改变目标物体。 基于常规激光诱导材料变化的激光加工装置包括高速激光发生器（1），辅助激光发生器（2）和聚焦光学系统（4）。 辅助激光发生器包括用于随着时间流逝改变激光束的脉冲的同步电子装置。 随着时间的流逝，聚焦光学系统将在高速激光发生器产生的高速激光束的焦点与辅助激光束的焦点空间同步。 聚焦光学系统将激光发生器的同步焦点彼此对准。
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公开(公告)号：KR100724099B1
公开(公告)日：2007-06-04
申请号：KR1020050100555
申请日：2005-10-25
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 미세 유체 믹서장치에 관한 것으로, 서로 다른 성질을 띤 미세 유체를 혼합시키기 위한 장치를 일반 상용 유리기판에 펨토초(Femto second) 레이저를 이용하여 미세 가공하고 이를 접합시킴으로써 이루어지는 간단한 구조의 미세유체 믹서장치의 제조에 관한 것으로서, 신개념의 장치 제작 기술로써 의료 및 의학분야에서 응용하고 있는 미세유체공학(microfluidics) 기반 기술을 미세유체 믹서에 도입함으로써, 간단한 다중 미세채널을 이용하여 두 미세유체를 쉽게 혼합할 수 있도록 한 점이 특징이며, 본 발명에서는 펨토초 레이저를 이용하여 미세 가공된 다중 채널 믹서부와 시료를 주입하는 펌프와 믹서부를 연결시키는 모세관(capillary tube)으로 미세유체의 믹서장치를 구성한다.
다중채널, 미세유체, 펨토초 레이저, 믹서, 갈바노 스캐너, 유리기판-
公开(公告)号：KR1020060025792A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：KR1020040074608
申请日：2004-09-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 세균 수 검출이 가능한 수질 측정 시스템 및 그 핵심 디바이스 형성 방법이 개시된다.
본 발명 수질 측정 시스템은 유리기판을 펨토초 레이저로 미세가공하여 접합시킨 프로토타입의 디바이스를 중심으로 이루어지며, 가공된 검출용 디바이스에 시료를 주입하는 펌프(10)와, 세균 검출을 위한 광원으로 다이오드 레이저(11)를 사용하고 레이저 광원에 의한 세균의 신호을 측정하는 광검출기로서 PMT (Photo Multiplier Tube)(12)와 측정된 신호를 이용하여 연산을 수행하는 마이크로프로세서(13)를 구비하여 이루어진다.
본 발명은 의료분야에서 응용되고 있는 미세유체학(microfluidics) 기반 기술을 세균수 검출용 디바이스 개발에 도입함으로써, 측정시스템의 집적화로 인한 소형화 및 이동의 용이성을 가지며, 장시간 동안 성능을 유지한 체 동작할 수 있도록 유리 기판을 이용하는 장점이 있다.
펨토초 레이저, 수질 분석, 세균 검출
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