静电致动器
    51.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102185517B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN201010573402.2

    申请日:2010-11-29

    Abstract: 实施方式的静电致动器具备:设置在基板(100)上的电极部(2);与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3);设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4);以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4);构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器,在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个,在多个加载部(4)的各个之间,其刚性相互不同。

    具有集成通路和间隔的MEMS器件

    公开(公告)号:CN102388165B

    公开(公告)日:2013-12-04

    申请号:CN201080008540.4

    申请日:2010-02-18

    Abstract: 本发明公开了MEMS器件和制造方法。具有夹在上层和下层之间的绝缘层的底部衬底可以粘合至器件层。可以选择性地去除上层的一个或多个部分,以形成一个或多个器件空腔。导电通路可以在位于所述一个或多个器件空腔之下的位置处穿过下层形成,并与下层电绝缘。器件可以由器件层形成。每个器件覆盖在对应的器件空腔上。每个器件可以通过由器件层形成的一个或多个对应的铰链连接至器件层的剩余部分。一个或多个电触点可以形成在下层的背侧。每个触点电连接至对应的导电通路。

    具有集成通路和间隔的MEMS器件

    公开(公告)号:CN102388165A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201080008540.4

    申请日:2010-02-18

    Abstract: 本发明公开了MEMS器件和制造方法。具有夹在上层和下层之间的绝缘层的底部衬底可以粘合至器件层。可以选择性地去除上层的一个或多个部分,以形成一个或多个器件空腔。导电通路可以在位于所述一个或多个器件空腔之下的位置处穿过下层形成,并与下层电绝缘。器件可以由器件层形成。每个器件覆盖在对应的器件空腔上。每个器件可以通过由器件层形成的一个或多个对应的铰链连接至器件层的剩余部分。一个或多个电触点可以形成在下层的背侧。每个触点电连接至对应的导电通路。

    静电致动器
    58.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102185517A

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN201010573402.2

    申请日:2010-11-29

    Abstract: 实施方式的静电致动器具备:设置在基板(100)上的电极部(2);与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3);设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4);以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4);构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器,在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个,在多个加载部(4)的各个之间,其刚性相互不同。

Patent Agency Ranking