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公开(公告)号：CN102185517B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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公开(公告)号：CN102388165B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201080008540.4
申请日：2010-02-18
Applicant: 卡佩拉光子学公司
Inventor： 罗伯特·奥斯特罗姆
IPC: B81C1/00
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/058 , B81B2207/096 , B81C1/00095 , G02B26/0866 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了MEMS器件和制造方法。具有夹在上层和下层之间的绝缘层的底部衬底可以粘合至器件层。可以选择性地去除上层的一个或多个部分，以形成一个或多个器件空腔。导电通路可以在位于所述一个或多个器件空腔之下的位置处穿过下层形成，并与下层电绝缘。器件可以由器件层形成。每个器件覆盖在对应的器件空腔上。每个器件可以通过由器件层形成的一个或多个对应的铰链连接至器件层的剩余部分。一个或多个电触点可以形成在下层的背侧。每个触点电连接至对应的导电通路。
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公开(公告)号：CN103336362A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236895.4
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN103336360A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310236708.2
申请日：2006-02-23
Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC classification number: G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。
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公开(公告)号：CN102844263A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201080049053.2
申请日：2010-10-27
Applicant: 莱莫普蒂克斯公司
CPC classification number: G02B26/085 , B81B3/0021 , B81B2201/045 , B81B2203/0181 , G02B26/023 , H02K26/00 , H02K33/18
Abstract: 本发明涉及一种电磁致动微控制器，包括：一块活动板(1)，该活动板可绕一个轴(11)旋转，由在该板的两侧上对齐到所述轴(11)的两个臂形件(7，9)连接到一个静止框架(3)上，并在其外围上包括一个导电环(13)；以及在由该静止框架和该活动板形成的组件下面，一组磁铁(51，53，55)具有相异磁定向，以关于该活动板在该框架的平面中创建相对于该旋转轴的倾斜的一个横向磁场(57)的方式排列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102388165A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080008540.4
申请日：2010-02-18
Applicant: 卡佩拉光子学公司
Inventor： 罗伯特·奥斯特罗姆
IPC: C23F1/00
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B2201/045 , B81B2203/058 , B81B2207/096 , B81C1/00095 , G02B26/0866 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明公开了MEMS器件和制造方法。具有夹在上层和下层之间的绝缘层的底部衬底可以粘合至器件层。可以选择性地去除上层的一个或多个部分，以形成一个或多个器件空腔。导电通路可以在位于所述一个或多个器件空腔之下的位置处穿过下层形成，并与下层电绝缘。器件可以由器件层形成。每个器件覆盖在对应的器件空腔上。每个器件可以通过由器件层形成的一个或多个对应的铰链连接至器件层的剩余部分。一个或多个电触点可以形成在下层的背侧。每个触点电连接至对应的导电通路。
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公开(公告)号：CN102354049A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110316870.6
申请日：2005-09-23
Applicant: 高通MEMS科技公司
CPC classification number: B81B7/0058 , B81B2201/045 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及在显示装置内的间隙中使用间隔物保护显示器阵列的微结构的系统和方法。足以使一电子装置700及/或用于所述电子装置700的封装变形的物理力可损害所述装置。在一装置中(例如，一微机电装置中及/或一干涉式调制器722中)的某些机械组件尤其易受到损害。因此，本文提供一种抵抗物理损害的封装系统和封装电子装置、一种用于制造其的方法和一种用于保护一电子装置700免受物理损害的方法。用于所述电子装置的所述封装系统包括一个或一个以上的间隔物730，其中所述一个或一个以上的间隔物730防止或减少由于与一背板750相接触而引起的对所述电子装置的损害。在某些实施例中，包含间隔物的所述封装电子装置比制造成没有间隔物的一可比较装置薄。
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公开(公告)号：CN102185517A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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公开(公告)号：CN100532248C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200480027286.7
申请日：2004-09-21
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G02B26/0816 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81C1/00484 , B81C2201/0109 , B81C2201/019 , G02B6/3516 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/3584 , H02N1/008
Abstract: 一种用于制造包括固定地支撑在底座上的固定元件和可动地支撑在所述底座上的可动元件的微机电系统(MEMS)的方法。所述方法采用与下衬底分离的上衬底。所述上衬底在其顶层被选择性蚀刻以在其中形成多个柱，所述柱从所述上衬底的底层一起突出。所述柱包括将被固定到所述下衬底的所述固定元件和仅弹性地支撑于一个或多个所述固定元件以相对于所述固定元件可移动的所述可动元件。所述下衬底在其顶表面形成有至少一个凹陷。然后所述上衬底颠倒结合到所述下衬底的顶部，使得把所述固定元件直接设置在所述下衬底上，并把所述可动元件设置在所述凹陷上方。最后，除去所述上衬底的底层，以从所述底层释放所述可动元件，从而把所述可动元件浮置在所述凹陷上，并允许它们相对于所述下衬底移动，同时保持所述固定元件固定到所述下衬底的顶部。
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公开(公告)号：CN101196613A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710195158.9
申请日：2007-11-30
Applicant: JDS尤尼弗思公司
Inventor： 阿卜杜·贾里尔·K.·穆伊杜
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/045 , B81B2203/058
Abstract: 一种用于关于两个垂直轴旋转二维微电机械微镜装置的混合静电致动器，包括用于关于倾斜轴旋转微镜的垂直梳齿驱动器和用于关于滚动轴旋转微镜的平行板驱动器。梳齿驱动器的转子梳齿指针从微镜的只关于倾斜轴可旋转的子框架延伸，而平行板电极中的一个固定在包围子框架的主平台的下面。垂直梳齿驱动器旋转关于倾斜轴子框架和主平台，而平行板驱动器只旋转关于滚动轴主平台。
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