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公开(公告)号:CN104769500B
公开(公告)日:2018-07-31
申请号:CN201380043945.5
申请日:2013-08-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor: H·H·M·考克斯 , M·M·G·希伦 , P·M·S·M·海杰曼斯 , J·J·韦尔滕 , J·H·A·范德里杰特 , G·K·H·F·格伦 , A·凯克劳德
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7096 , G03F7/70758 , G03F2009/005 , H02K1/06 , H02K9/22 , H02K41/035 , H02K41/0356 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02K2213/12
Abstract: 描述了种电磁致动器,该致动器包括:线圈组件(350),包括线圈(355);磁体组件,包括第磁体单元和第二磁体单元(360、370),每个磁体单元包括磁轭(365、375)和被安装至磁轭的多个永磁体(366、376),第磁体单元和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路,并且在激励线圈时,产生在第方向上的力;以及保持器(600),用于保持磁体单元,其中磁体组件相对于线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。
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公开(公告)号:CN107437854A
公开(公告)日:2017-12-05
申请号:CN201710378195.7
申请日:2017-05-25
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: H02K41/00 , B60K7/0007 , B60K17/358 , H02K7/116 , H02K2201/18 , H02K1/12 , H02K1/22 , H02K1/27 , H02K3/28 , H02K11/30
Abstract: 本发明涉及多自由度电磁机器。一种可以作为马达、发电机、或马达-发电机操作的多自由度电磁机器包括第一结构和第二结构。第一结构包括第一导体、第二导体和第三导体,其中每一个均遵循不同的轨迹。第一、第二和第三导体一起形成表面的总体形状。第二结构邻近第一结构设置,且包括发射磁场的磁体。磁体使其磁极中的至少一个面朝所述表面。在从至少一个磁极发射的磁场与在电导体中的任一个内的电流相互作用时,洛伦兹力影响在第一结构和第二结构之间的相对运动。
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53.
公开(公告)号:CN103975515B
公开(公告)日:2017-02-08
申请号:CN201280042827.8
申请日:2012-07-10
Applicant: ABB有限公司
CPC classification number: H02K41/033 , H02K1/246 , H02K11/21 , H02K21/44 , H02K29/06 , H02K2201/18
Abstract: 用于电机的次级,例如线性驱动电机,具有高导磁材料的薄片,该薄片具有沿所述薄片的长度间隔开的、延伸穿过所述薄片的多个槽。所述槽限定所述薄片中的多个齿,并且使得当形成所述电机的所述次级时,所述薄片能与安装表面一致。所述薄片的顶面具有邻近多个槽所形成的多个凹槽。所述凹槽平行于所述薄片的宽度延伸,并沿所述薄片的长度间隔开。所述凹槽形成传感器,所述传感器有效地连接到所述电机的控制器。所述传感器可以是编码器,和/或所述传感器可以有效地连接到控制器,所述控制器用于:控
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公开(公告)号:CN105453397A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201480041732.3
申请日:2014-07-23
Applicant: 三美电机株式会社
CPC classification number: H02K35/00 , H02K7/1876 , H02K35/02 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02N1/08 , H02N2/185 , H02N2/188
Abstract: 发电装置(100)具有发电部(10)、和支撑发电部(10)的支撑部(20)。发电部(10)构成具有第一振动系统和第二振动系统的二自由度振动系统,第一振动系统具备线圈组件(40)、和连结线圈组件(40)与框体(20)的第一弹簧部(64),第二振动系统具备磁铁组件(30)、和连结磁铁组件(30)与线圈组件(40)的第二弹簧部(65),第一振动系统的第一固有振动频率(ω1)与第二振动系统的第二固有振动频率(ω2)为14Hz~42Hz的范围的值。
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公开(公告)号:CN105356709A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201510862138.7
申请日:2015-11-30
Applicant: 济宁环宇机电有限责任公司
Inventor: 张庆涵
CPC classification number: Y02T10/641 , H02K29/08 , H02K1/276 , H02K2201/18 , H02K2211/03
Abstract: 本发明公开一种纯电动车用永磁直流无刷电机,属于永磁直流电机技术领域,包括定子、转子、电机轴,定子包括内侧均匀分布定子槽的定子铁芯,定子铁芯的两端设有绝缘骨架,绝缘骨架上设有电路板组件,转子包括转子铁芯和其周围均匀分布的偶数个永磁体,采用径向式转子时,永磁体的形状包括:内外两边均为弧形的长条形、双面凸出的梭形和内边平齐,外边为弧形单面凸出的长条形,可以提高永磁体的工作点和增强电机的抗退磁能力和过载能力,采用切向式转子时,转子铁芯的内部靠近电机轴处设有扇形槽,扇形槽内设有可导磁移动滑块,采用可导磁移动滑块可降低电机反电势,提高电机最高转速,满足纯电动车低负载、高转速的特殊需求。
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公开(公告)号:CN105284039A
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201480028284.3
申请日:2014-03-11
Applicant: 核科学股份有限公司
Inventor: 蒂莫西·A·福丰诺夫 , 伊恩·W·汉特
CPC classification number: H02K7/06 , B64C27/32 , B64C2027/7216 , H02K7/075 , H02K7/125 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/18 , Y02T50/34
Abstract: 一种旋转驱动器包括:支撑结构;以及由所述支撑结构支撑的线性致动器。所述线性致动器包括:第一构件;第二构件,所述第二构件当驱动信号被施加于所述线性致动器时在相对于所述第一构件的线性方向上运动;以及轴承布置,所述轴承布置将所述第一构件和所述第二构件支撑在所述支撑结构内并且使得所述第一构件和所述第二构件能够相对于所述支撑结构独立运动。所述旋转驱动器还包括线性到旋转转换器,所述线性致动器的所述第二构件耦合至所述线性到旋转转换器。所述线性到旋转转换器包括具有旋转轴线的输出构件。在操作期间,所述线性到旋转转换器将所述线性致动器的所述第二构件的线性往复运动转换为所述输出构件围绕所述旋转轴线的旋转运动。
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公开(公告)号:CN103064256B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201210316513.4
申请日:2012-08-30
Applicant: ASML控股股份有限公司
Inventor: 皮特·C·康切尔斯伯格
CPC classification number: H02K41/03 , G03F7/70075 , G03F7/70091 , G03F7/70191 , G03F7/70825 , G05B19/402 , G05B2219/42231 , H02K2201/18 , H02P25/06
Abstract: 本发明公开了一种线性电机和包括线性电机的光刻布置。光刻设备包括均匀性校正系统。根据本发明的实施例,提供了一种光刻设备,包括:照射系统,配置成调节辐射束。照射系统包括定位在一平面处的均匀性校正系统,配置成在被用辐射束照射时容纳大致恒定的光瞳。所述均匀性校正系统包括配置成可移入与辐射束相交的位置和从与辐射束相交的位置移出的指状件,以便校正辐射束的相应部分的强度。线性电机致动器布置驱动指状件至它们相应的适合位置,用于补偿非均匀照射。由精确地操纵指状件的承载装置的控制系统来提供控制。
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公开(公告)号:CN101801817B
公开(公告)日:2015-07-22
申请号:CN200880108254.8
申请日:2008-07-17
Applicant: 布鲁克斯自动化公司
IPC: B65G1/00
CPC classification number: H02K41/03 , H01L21/67742 , H01L21/68707 , H02K2201/18
Abstract: 一种基片运输装置,包括:具有内表面的外周壁,限定了能够保持隔离环境的基片运输室;至少一个大致环形的电动机,具有至少一个定子模块和至少一个转子,该定子模块位于外周壁中,位于外周壁的内表面和邻近的外表面之间,该转子大致不接触地悬挂在运输室内,使得被环形的电动机包围的外周壁的表面配置成将预定的设备附接到其上;以及至少一个基片运输臂,连接于至少一个转子,并具有至少一个配置成保持至少一个基片的末端执行器。
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公开(公告)号:CN104769500A
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201380043945.5
申请日:2013-08-15
Applicant: ASML荷兰有限公司
Inventor: H·H·M·考克斯 , M·M·G·希伦 , P·M·S·M·海杰曼斯 , J·J·韦尔滕 , J·H·A·范德里杰特 , G·K·H·F·格伦 , A·凯克劳德
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F9/7096 , G03F7/70758 , G03F2009/005 , H02K1/06 , H02K9/22 , H02K41/035 , H02K41/0356 , H02K2201/18 , H02K2213/03 , H02K2213/12
Abstract: 描述了一种电磁致动器,该致动器包括:线圈组件(350),包括线圈(355);磁体组件,包括第一磁体单元和第二磁体单元(360、370),每个磁体单元包括磁轭(365、375)和被安装至磁轭的多个永磁体(366、376),第一磁体单元和第二磁体单元形成用于接收线圈组件的磁路,并且在激励线圈时,产生在第一方向上的力;以及保持器(600),用于保持磁体单元,其中磁体组件相对于线圈组件的重量比小于在力相对于电功率的比被最大化时磁体组件相对于线圈组件的重量比。
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公开(公告)号:CN101931280B
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201010206200.4
申请日:2010-06-17
Applicant: ASML荷兰有限公司
CPC classification number: G03F7/70758 , H01F5/00 , H01F2027/2857 , H02K3/04 , H02K3/40 , H02K9/22 , H02K11/01 , H02K41/02 , H02K41/0354 , H02K2201/18
Abstract: 本发明公开了一种线圈、定位装置、致动器以及光刻设备。所述定位装置包括具有定子和平移动子的平面电机,所述定子和所述平移动子中的一个包括周期性的磁铁结构,所述定子和所述平移动子中的另一个包括适合于携带电流的至少一个线圈,其中所述线圈包括片状导电材料的缠绕条带,其中所述线圈的边缘设置有被圆化的轮廓。
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