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公开(公告)号：CN109787535A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910120651.7
申请日：2019-02-18
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请公开了一种能量收集设备，包括动能收集部和静能收集部，所述静能收集部和动能收集部固结，所述静能收集部至少部分设置在光环境中，所述静能收集部和所述动能收集部与能量存储装置均连接，其中，所述静能收集部为光能发电机和热能发电机中的至少一种，所述动能收集部可以设置为摩擦发电机、电磁发电机或者压电发电机中的至少一种，通过上述技术方案，能够同时收集动态和静态的能量，提高了能量的收集效率，此外，在动能收集部或者静能收集部损坏后，不会影响另一部分的正常工作。
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公开(公告)号：CN109781087A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201811482396.2
申请日：2018-12-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y-X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
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公开(公告)号：CN107445136B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710539775.X
申请日：2017-07-05
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于气相TMAH的硅刻蚀系统，包括：控制系统、传送系统、刻蚀系统和水冷系统；其中，水冷系统用于冷凝TMAH气体；刻蚀系统用于产生TMAH气体以及输送刻蚀气体至刻蚀腔体刻蚀硅片，刻蚀硅片时刻蚀腔内使用的温度为高于TMAH沸点，使TMAH呈气态的状态下对硅进行刻蚀，并且实现了对硅片非刻蚀面上结构实现了有效的保护，保证了硅刻蚀工艺与以完成工艺之间的兼容性。传送系统用于传输以及清洗所刻蚀硅片；控制系统用于控制水冷系统、刻蚀系统、传送系统的协调工作。实验研究证明，该系统实现了硅高速刻蚀的同时得到了较为光滑刻蚀表面，以及达到了同干法刻蚀一样保护了非刻蚀面结构的效果。与此同时，气相刻蚀可以通过增大刻蚀腔体的气压以进一步提高刻蚀速率。
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公开(公告)号：CN109574658A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811493945.6
申请日：2018-12-07
Applicant: 中北大学
IPC: C04B35/48
Abstract: 本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用，首先，用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料，乙酸和乙酸酐为溶剂，制备铪锆氧前驱体溶液，然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请提供的铁电薄膜，具有良好的晶体结构和良好的铁电性能，与硅兼容性好，在氧化硅片上生长光滑致密，此外，避免了采用有毒的铅或者含铅的材料做原料，不会对环境造成污染。
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公开(公告)号：CN108521625A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810180317.6
申请日：2018-03-05
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种采空区温度监测方法，其基本构思是利用无线传感技术进行温度的实时监测。在采空区间隔一定距离埋放传感器形成传感器阵列，在巷道内设置一定数量的无线传输中继节点，通过低频无线传输技术将传感节点采集到的温度信息及传感节点本身的位置信息发送到地面的监控中心。为了防止顶板坍塌和积水对传感器件造成损坏，传感器件采用柔性封装，同时在布放时采取预埋方式，从而降低冲击力度。另外，考虑到高温点距离传感节点件较远时，传感节点不能正确预报高温点的温度，本发明利用数学计算的方法确定高温点的准确位置和温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107452867A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710839323.3
申请日：2017-09-18
Applicant: 中北大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/27
CPC classification number: H01L41/113 , H01L41/183 , H01L41/27
Abstract: 本发明公开了一种柔性可拉伸一体式压电橡胶，包括电极复合层A（1）、电极复合层B（2）和压电复合层（3），所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）位于压电复合层（3）两侧。所述电极复合层A（1）和电极复合层B（2）均是通过将导电颗粒填充到柔性聚合物材料中制得；所述压电复合层（3）是通过将压电材料填充到柔性聚合物材料中制得。构成压电复合层和电极复合层中的柔性聚合物材料相同，即为硫化后具有柔性和和拉伸性的混炼硅橡胶。本发明能够在拉伸情况下保持良好的电信号输出能力，在多次拉伸后具有稳定的电性能输出，进而使得该压电橡胶具有良好的可拉伸性能，为人体的可穿戴设备以及大形变应用提供了更多的选择。
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公开(公告)号：CN107352501A
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201710539774.5
申请日：2017-07-05
Applicant: 中北大学
CPC classification number: B81C1/00539 , B81C1/00619 , H01L21/67075
Abstract: 本发明公开一种TMAH硅雾化气相刻蚀系统，包括：水冷系统用于冷凝TMAH气体；刻蚀系统用于刻蚀单晶硅以及达到相关刻蚀条件，刻蚀硅片时刻蚀腔内使用的温度高于TMAH沸点，使TMAH呈气态的状态下对硅进行刻蚀；传送系统用于传输以及清洗刻蚀硅片；雾化系统用于产生及输送TMAH液滴至刻蚀腔，通过将TMAH溶液雾化方式，提供浓度更加稳定的TMAH气体，保证刻蚀稳定性；控制系统用于控制水冷系统、刻蚀系统、雾化系统及传送系统协调工作。该系统实现硅高速刻蚀，同时刻蚀表面较为光滑；气相刻蚀通过增大刻蚀腔体的气压以进一步提高刻蚀速率。该系统实现了对硅片非刻蚀面上结构实现了有效的保护，保证了硅刻蚀工艺与以完成工艺之间的兼容性。
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公开(公告)号：CN105846641A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610243462.5
申请日：2016-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: H02K35/02
CPC classification number: H02K35/02
Abstract: 本发明提供一种磁铁悬浮型振动驱动电磁式能量采集器，包括上下平面螺旋线圈保护外壳、主磁铁腔、磁柱放置环、圆形永磁铁、圆柱形永磁铁和上下平面螺旋线圈，所述圆形永磁铁处于中心悬浮状态，并具有自动快速归位功能，通过感应外界振动，自身起振，从而引起上下螺旋线圈的磁通量的改变，继而可循环反复地将外界振动能量转化为电能，这种设计具有对外界振动的高敏感性，能量转化过程中的低损耗性，既可采集微小振动能量，也可采集剧烈振动能量，动态范围大，结构稳定性高，在实现便携式电子产品的自供电工作模式上具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN114665006B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202210276198.0
申请日：2022-03-21
Applicant: 中北大学
IPC: H10N30/30 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C16/40 , C23C16/50 , C23C16/56 , H10N30/85 , H10N30/093
Abstract: 本申请提供了一种d15模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法，通过将底电极/二氧化硅层/硅基底与铌酸锂晶片进行键合，再依次进行减薄、化学机械抛光和清洗，得到铌酸锂单晶薄膜；在晶圆表面采用磁控溅射、离子束刻蚀剥离工艺制备对准标记及表面电极，接着采用离子束刻蚀法刻蚀铌酸锂单晶薄膜使其图形化，采用反应离子刻蚀法刻蚀二氧化硅层使其图形化，随后采用离子束刻蚀法刻蚀底电极使其图形化，最后采用深硅刻蚀工艺从硅基底正面制备悬臂梁与质量块并从其背部完成器件的释放。本申请能够将铁电单晶铌酸锂薄膜与硅片很好键合，并在此基础上采用标准的MEMS工艺制备传感器件，工艺可行性和重复率高，制得的器件具有宽频带及很高的输出电压。
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公开(公告)号：CN118654788B
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411132284.X
申请日：2024-08-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及测量值、控制信号或类似信号的传输技术领域，尤其涉及一种压阻式柔性压力触须传感器，解决了现有触须传感器只能检测单一方向上的力以及灵敏度较低的技术问题，其包括圆形底座、圆形顶盖、纤毛和针锥，针锥固定至圆形底座的顶部，针锥的顶部插入圆形顶盖底部的凹槽中，圆形顶盖的顶部中心固定连接有支撑圆筒，纤毛插入支撑圆筒并与支撑圆筒固定连接，圆形顶盖的直径小于圆形底座，圆形顶盖和圆形底座之间连接覆盖有柔性薄膜，柔性薄膜上粘贴有多组敏感栅，多组敏感栅沿柔性薄膜的周向均匀布置。本发明采用了柔性传感阵列、纤毛和转矩放大机构的组合设计，以实现传感器的高灵敏度、微弱应变感知能力，并显著提升其可靠性。
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