公开(公告)号：JP2017126498A

公开(公告)日：2017-07-20

申请号：JP2016005367

申请日：2016-01-14

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規

IPC: H01J37/29 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01L21/66 ,  H01J37/244

Abstract: 【課題】 感度の高い電子像追従式の検査装置を提供する。 【解決手段】 検査装置は、試料を載置して連続的に移動するステージ装置と、電子光学装置と、制御装置と、を備える。電子光学装置は、1次光学系と、2次光学系と、検出器と、を有している。2次光学系は、ステージ装置の移動に同期して、ステージ装置の移動によって試料が移動している間に、試料の同じ部分から発生した二次ビームが二次元センサの同じ部分に入射するように、多極子によって重畳電界を発生させることで前記二次ビームを偏向する偏向器を含む。二次元センサは、二次ビームの電子を光に変換することなく直接検出して画像信号を出力するEB半導体センサである。 【選択図】 図3

公开(公告)号：JP2016183976A

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：JP2016127848

申请日：2016-06-28

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規 ,  吉川 省二 ,  村上 武司 ,  渡辺 賢治 ,  内藤 儀彦 ,  當間 康 ,  狩俣 努 ,  林 丈英 ,  塚本 究 ,  小濱 達也 ,  小林 登

IPC: H01L21/66 ,  G01N23/227

Abstract: 【課題】検査精度を向上させ、5〜30nmのデザインルールにも適用できる検査方法及び検査装置を提供すること。 【解決手段】本発明の検査装置は、荷電粒子又は電磁波の何れか一つをビームとして発生させるビーム発生手段と、ワーキングチャンバ内に保持した検査対象に前記ビームを導き照射する1次光学系と、可動式のニューメリカルアパーチャ、および前記検査対象から発生して当該ニューメリカルアパーチャを通過した二次荷電粒子を検出する第1検出器を有する2次光学系と、前記第1検出器によって検出された二次荷電粒子に基づいて画像を形成する画像処理系と、前記可動式のニューメリカルアパーチャと前記第1検出器の間に設けられ、前記検査対象から発生する二次荷電粒子のクロスオーバ位置における位置及び形状を検出する第2検出器とを備える。 【選択図】図58

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种检测方法和检查装置，其能够提高应用于5至30nm的设计规则的检查精度。解决方案：检查装置包括：束产生装置，用于产生带电粒子和 电磁波作为光束; 用于将光束引入保持在工作室中的检查对象物以照射检查对象物的主光学系统; 具有可动型数值孔径的次级光学系统，以及用于检测从检查对象物产生的并通过数值孔径的二次带电粒子的第一检测器; 图像处理系统，用于基于由第一检测器检测到的二次带电粒子形成图像; 以及第二检测器，设置在可移动型数值孔径和第一检测器之间，并且用于检测从检查目标产生的二次带电粒子的交叉位置处的位置和形状。选择的图示：图58

公开(公告)号：JP5969336B2

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：JP2012203379

申请日：2012-09-14

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 吉川 省二 ,  塚本 究 ,  畠山 雅規

IPC: H01J37/285 ,  H01J37/29 ,  H01J37/09 ,  H01L21/66 ,  H01J37/20

公开(公告)号：JP2015132623A

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：JP2015050598

申请日：2015-03-13

Applicant: 株式会社荏原製作所 ,  株式会社東芝

Inventor： 畠山 雅規 ,  太田 拓見

IPC: G01N23/225

Abstract: 【課題】除電作業を簡素化して除電に要する時間を低減し、一つの検査装置で複数種類の検査を行うことができるスループットを向上した荷電粒子ビーム検査技術を提供する。 【解決手段】荷電粒子ビーム検査装置71は、試料Sを搭載するステージ29と、荷電粒子ビームを試料Sに照射する電子銃41と、試料Sから得られる信号を検出する検出器47と、検出器47からの信号から像を形成する画像処理部61と、試料Sへ照射する荷電粒子ビームのビームエネルギーを制御するエネルギー制御部65と、検査中の試料Sを真空状態に保持するメインチャンバ11と、メインチャンバ11へ試料Sを搬送する搬送ロボット27と、搬送ロボット27を真空状態に保持する搬送チャンバ9と、搬送チャンバ9内に設けられた除電装置73とを備える。 【選択図】図7

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带电粒子束检查技术，其被配置为简化静电消除操作，以减少静电消除所需的时间，并且允许使用一个检查装置进行多种检查，同时提高吞吐量。解决方案：带电粒子 光束检查装置71包括：载置试样S的载物台29; 电子枪41，其向带电粒子束照射样品S; 检测器47，其检测从样本S获得的信号; 图像处理部61，其根据来自检测器47的信号形成图像; 控制照射在样品S上的带电粒子束的能量的能量控制部65; 在真空状态下将样品S保持在检查状态的主室11; 将样品S输送到主室11的输送机器人27; 将输送机器人27保持在真空状态的输送室9; 以及布置在输送室9中的静电消除装置73。

公开(公告)号：JP2015062200A

公开(公告)日：2015-04-02

申请号：JP2014246164

申请日：2014-12-04

Applicant: 株式会社荏原製作所

Inventor： 畠山 雅規 ,  渡辺 賢治 ,  内藤 儀彦 ,  村上 武司

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/22 ,  H01L21/66 ,  G01N23/203 ,  G01N23/22 ,  G01N23/225 ,  H01J37/29

Abstract: 【課題】観察目的箇所を迅速かつ正確に特定し得る試料観察方法の提供 【解決手段】本発明の試料観察方法は、写像投影型観察装置と該写像投影型観察装置とは別のSEM型観察装置と光学顕微鏡により同一のステージ上に載置された試料を観察するための複合型の試料観察方法である。本発明の試料観察方法では、光学顕微鏡による試料観察、ミラー電子画像による試料観察、及び、SEM画像による試料観察で得られた各画像が観察対象試料のどの位置に対応しているのかを相互に対応付けることができる。これにより、上記3つの観察方法のうちのある方法で特定された観察目的個所を他の観察方法で観察しようとした場合でも、上記観察目的箇所を迅速かつ正確に特定することができる。 【選択図】図21

Abstract translation: 要解决的问题：提供可以快速准确地识别观察对象位置的样本观察方法。解决方案：本发明的样本观察方法是用于观察放置在单个阶段上的样本的复合型样本观察方法 具有映射投影型观察装置和SEM型观察装置以及与映射投影型观察装置分离的光学显微镜。 在本发明的样本观察方法中，通过用光学显微镜观察样品，通过镜像电子图像观察样品，并通过SEM图像观察样品，可以获得观察对象样品的图像。 并且对应于图像的观察目标样本上的位置可以彼此相关联。 利用这种结构，即使通过其他观察方法观察到由上述三种观察方法中的一种识别的观察对象位置，也能够快速准确地识别观察对象位置。